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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]烘烤处理装置-CN202123409413.X有效
  • 尹安和 - 慧竹开发有限公司
  • 2021-12-31 - 2022-08-23 - B05D3/02
  • 本实用新型涉及一种烘烤处理装置，用于半导体工序中的烘烤制程，包括：冷却单元、烘烤单元及传送单元，冷却单元包含有制冷板，该制冷板设置在机板上，制冷板环形设有受第一动力源驱动可上升凸出于该制冷板表面的第一升降柱，烘烤单元包含烤板，该烤板设置在机板上并与制冷板相邻，烤板的表面邻近其外周环形排列有多个支撑凸部可支撑一晶圆，该烤板设受第二动力源驱动可上升凸出于该烤板表面的第二升降柱，第二升降柱上升于该烤板时高出于该多个支撑凸部，该传送单元受一第四动力源的驱动输送晶圆于烤板的上方与制冷板的上方。
  • 烘烤处理装置
  • [实用新型]微流量喷吐监测控制系统-CN200820110559.X有效
  • 尹安和 - 慧竹开发有限公司
  • 2008-06-05 - 2009-03-04 - G05B19/048
  • 一种微流量喷吐监测控制系统，该监测控制系统包括：一微流量感测器，配设在前述控制阀与喷嘴之间，是用以监测液体的流量；一监控装置，用以接收并记录该微流量感测器传来的信号，并将该信号做流量演算及显示流量状态，通过流量状态与内部参考数比对，并发出控制信号对该泵浦与控制阀进行必要的调整；以及一警示装置，用以接收该监控装置的信号，当计算结果偏离正常范围时发出警示讯息。可实现即时通过警示装置发出的设备异常号的信号，实时监控每次的流量/喷吐量，精确的控制每次液态物的喷吐量，控制制程品质与制造成本。
  • 流量喷吐监测控制系统
  • [实用新型]光阻供应系统-CN200820009966.1有效
  • 尹安和 - 慧竹开发有限公司
  • 2008-04-28 - 2009-01-28 - G03F7/16
  • 本实用新型为一种光阻供应系统，其包括：一供给槽用以装设光阻液，一送液泵用以将所述的供给槽内的光阻液通过一送液线至一喷嘴，以及一脱气装置设在所述的送液在线，用以接入所述的送液泵送出的光阻液，且分离除去光阻液内的气体成分，再将除去气体的光阻液送出，用以提供已脱气泡的光阻液可由喷嘴喷吐出，通过良好质量的光阻液，可提高微影加工中光阻覆盖在芯片的良率与可靠度。
  • 供应系统
  •  1 
  • 共 4 条
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