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[发明专利]一种用于测定围绕三个相互垂直的坐标X、Y与Z中至少一个坐标旋转运动的微陀螺仪-CN201080023084.0有效
发明人： H·哈默 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2010-05-20 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于测定围绕三个相互垂直的坐标X、Y与Z中至少一个坐标旋转运动的微陀螺仪，所述微陀螺仪具有一个衬底（1）、多个驱动元件（4a，4b）与多个传感器元件，在所述衬底上设置有多个可以在x-y平面中平行于衬底（1）平面振动的质量块（2x，2y，9），其中几个振动质量块（2x，2y）通过弹簧与紧固销固定在衬底（1）上，所述驱动元件用于维持质量块（2x，2y，9）的线性振动，当衬底（1）围绕任意一个坐标旋转时，这些质量块会受到科氏力的作用，所述传感器元件可以测定由于产生的科氏力所导致的质量块（2x，2y，9）的偏转，一些x-振动质量块（2x）还可以沿着垂直于衬底（1）的z-坐标偏转，从而测定围绕x-坐标的旋转率，和/或，一些y-振动质量块（2y）还可以沿着垂直于衬底（1）的z-坐标偏转，从而测定围绕y-坐标的旋转率，和/或，其它z-振动质量块（9）还可以在x-y平面中垂直于各自的驱动方向偏转，从而测定围绕z-坐标的旋转率。
一种用于测定围绕三个相互垂直坐标至少一个旋转运动陀螺仪

[发明专利]微机械传感器-CN201080018950.7有效
发明人： H·哈默 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2010-04-27 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器，所述微力学传感器具有一个衬底（5）以及至少一个设置在衬底（5）上并且可以相对于衬底（5）移动的质量块（6）。质量块（6）与衬底（5）和/或两个相向移动的质量块可以借助至少一个弯曲弹簧装置（1）相互连接在一起用于进行相对旋转运动。为了提高弯曲弹簧装置在旋转运动时的线性弹簧特性，所述弯曲弹簧装置（1）具有多个优选两个基本相互平行走向的弹簧条（2），以及至少在一个优选在每个弹簧条（2）上具有至少一个曲折段（3）。
微机传感器

[发明专利]微机械传感器-CN201080018949.4有效
发明人： H·哈默 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2010-04-27 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：一种具有一个衬底（2）和至少一个设置在衬底（2）上且相对衬底（2）运动的质量块的微机械传感器（1），用于感测基于同时所出现的加速力或科氏力引起的传感器（1）运动。所述质量块和衬底和/或两个相互运动的质量块通过至少一个弯曲弹簧装置（6）相互连接。该弯曲弹簧装置（6）具有弹簧臂(9)以及设置在其上的扭曲（Maeander）（10），该扭曲具有在扭曲内侧的曲率中心（MP1；MP6；MP8；MP9；MP11）和曲率半径（r1；r6；r8；r9；r11）的曲率圆（K1；K6；K8；K9；K11）。为减少出现的应力，所述扭曲（10）除具有内曲率中心（MP1；MP6；MP8；MP9；MP11）的曲率半径（r1；r6；r8；r9；r11）外，还有至少另外一个在扭曲（10）外侧的曲率中心（MP2；MP3；MP4；MP5；MP7；MP10）的曲率半径（r2；r3；r4；r5；r7；r10）。所述的至少另外一个曲率半径（r2；r3；r4；r5；r7；r10）设置在扭曲（10）和弹簧臂（9）之间。
微机传感器

[发明专利]一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器-CN201080014830.X有效
发明人：亚历桑德鲁·罗基 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2010-02-22 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： G01C19/5677 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机电传感器和一种用来检测加速度和旋转速度的方法，至少其中一个，尤其涉及借助微机电传感器（1）检测相互垂直的空间三轴X,Y和Z方向中的两个方向，其中微机电传感器包括移动安装在基板（2）上的至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）和至少一个感应模块（5），至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）相对于至少一个感应模块（5）以一个驱动频率作振动式运动，当传感器的外部加速度产生时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个加速度频率偏离，当传感器的外部旋转速度产生时，该驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个旋转速度频率偏离，该加速度频率和旋转速度频率是不同的。微机电传感器的驱动模块和感应模块通过至少一个固定部（3）固定安装在基板上。在驱动模式中，当驱动模块相对于至少一个固定部振动时，在驱动模块和感应模块之间相对于至少一个固定部产生一种不平衡，感应元件检测驱动模块和感应模块的偏离，要取决于以加速度频率和/或旋转速度产生的扭矩和科里奥利力（Coriolisforce）。
一种用于检测加速度旋转速度方法微机传感器

[发明专利]用于测定绕三个相垂直空间轴x、y和z的旋转运动的微陀螺-CN201080013525.9有效
发明人： H·哈默 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2010-03-08 - 公布日： 2012-02-29 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种微陀螺，用于测定绕三个相垂直空间轴x、y和z的旋转运动，其具有一衬底（1），所述衬底上设有多个质量块（2，3），所述质量块沿切向围绕垂直于所述衬底（1）的z轴振荡。所述振荡质量块（2，3）借助弹簧（5，6，8）和锚件（7，9）固定在所述衬底（1）上。多个驱动元件（11）用于保持所述质量块（2，3）的绕z轴切向振摆，从而使所述质量块（2，3）在所述衬底（1）绕任一空间轴旋转时受到科氏力的作用并发生由此引起的偏斜。多个传感器元件用于检测所述质量块（2，3）被所产生的科氏力引发的偏斜。所述绕z轴振荡的质量块（2，3）中的部分质量块以主要可绕平行于所述衬底（1）的x轴倾斜的方式进行安装。所述绕z轴振荡的质量块（2，3）中的其他质量块以主要可绕平行于所述衬底（1）的y轴倾斜的方式进行安装。所述振荡质量块（2，3）中的至少一个其他振荡质量块至少部分还能在平行于所述衬底（1）所在平面的x-y平面内主要沿相对于z轴的径向进行偏斜。所述这个还能进行径向偏斜的z向质量块（3）配有一传感器元件（12），所述传感器元件同样能进行相对于z轴的径向偏斜，但并不绕z轴振荡。
用于测定三个垂直空间旋转运动陀螺

[发明专利]用于测定绕x轴和/或y轴及z轴的旋转运动的微陀螺-CN201080009213.0有效
发明人：伏尔克·坎普 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2010-02-22 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：一种用于测定绕一x轴和/或y轴及z轴的旋转运动的微陀螺，其具有一衬底、多个振荡质量块（4，5）、多个用于将所述振荡质量块（4，5）固定在所述衬底上的弹簧、多个驱动元件和多个感测元件，所述驱动元件用于使所述质量块（4，5）中的至少个别质量块在x-y平面内发生振摆，以便在所述衬底旋转时产生科氏力，所述感测元件用于检测所述质量块（4，5）被所产生的科氏力引发的偏斜。所述质量块（4，5）中的至少个别质量块分两组布置。所述两组质量块（4，5）都能在所述驱动元件的作用在所述x轴和y轴所定义的平面内共同做振荡初级运动。所述第一组质量块（4）在所述衬底上的布置方式使其可以做偏离所述x-y平面的运动。所述第二组质量块（5）在所述衬底上的布置方式使其可以做与所述x-y平面内的振荡初级运动相垂直的运动。
用于测定旋转运动陀螺

[发明专利]用于测定绕x轴、y轴和/或z轴的旋转运动的MEMS陀螺仪-CN201080009207.5有效
发明人：亚历桑德鲁·罗基 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2010-02-11 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：一种用于测定绕一x轴、y轴和/或z轴的旋转运动的MEMS陀螺仪，所述MEMS陀螺仪尤其实施为三维传感器，包括一衬底、多个（至少两个，优选四个）可沿径向朝一中心运动的驱动质量块（2）和多个用于使所述驱动质量块（2）发生振摆的驱动元件（7），以便在所述衬底绕所述x轴、y轴和/或z轴旋转时产生作用于所述驱动质量块（2）的科氏力。所述振荡驱动质量块（2）与至少一个其他的感测质量块（3）相连，所述感测质量块不振荡，但可与所述振荡驱动质量块（2）一起在所述衬底上绕所述x轴、y轴和/或z轴旋转。多个感测元件（9，10）用于检测所述感测质量块（3）和/或所述驱动质量块（2）被所产生的科氏力引发的相对于所述衬底的偏斜。至少两个（优选四个）锚件（5）用于借助弹簧（4）将所述感测质量块（3）可旋转地固定在所述衬底上。
用于测定旋转运动 mems 陀螺仪

[发明专利]微机电传感器-CN201080009206.0有效
发明人：伏尔克·坎普 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2010-02-03 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明提出一种微机电传感器（MEMS）（1），包含多个在一x-y平面内受线性驱动的驱动元件（2，3，4），所述驱动元件布置在一衬底上，用于测定所述衬底的转速矢量的至少两个（优选三个）分量，其中，存在两组驱动元件（2，3；4），其大体在多个相互成直角的方向上受驱。本发明的微机电传感器（MEMS）（1）的特征在于，相互间成直角受驱的所述驱动元件（2，4；3，4）借助一耦合装置（6，7）彼此相连，以实现同步运动，所述耦合装置以可旋转的方式安装在所述衬底上。
微机传感器

[发明专利]微陀螺仪-CN200980124429.9有效
发明人：亚历桑德鲁·罗基 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2009-06-25 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于确定关于x、y或z轴的旋转运动的微陀螺仪。至少一个锚固定在基底上。几个（特别是四个）相对于锚径向振荡的质量块通过弹簧固定到锚上。使用驱动元件，以振荡方式在x轴或y轴方向上摆动至少单个质量块，以在基底偏斜时产生科里奥利力。使用传感器元件感测质量块因科里奥利力发生的偏斜。振荡质量块连接到至少一个远处的非振荡质量块，该非质量块能与基底上的振荡质量块一起围绕至少一个锚进行旋转。该远处质量块与传感器元件相连。
陀螺仪

[发明专利]将亚微米技术用于时分多址通讯中隐性方向控制的射频发送接收器前端-CN200980107212.7有效
发明人：拉希姆·阿克巴里 -专利权人： 感应动力股份公司
申请日： 2009-01-30 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： H04B1/48 文献下载
摘要：将亚微米技术用于时分多址通讯中隐性方向控制的射频发送接收器前端。这个方案是射频发送和接收前端的一种新设计。发送接收器的输出级的为采用n沟道CMOS晶体管开漏设置的叠接式电路的功率放大器(PA)。所述叠接晶体管作为共栅晶体管，通过控制其栅极来阻断发送(TX)通道。所述低噪放大器(LNA)采用共栅设置的p沟道MOS晶体管，通过衬底端的电势控制。将PMOS晶体管的衬底电势提高到高于其源极电势来切断接收(RX)通道。这个设计是TDMA，特别是蓝牙的低成本实现方案。外置构件的数量减少了。无需TX/RX转换开关。用于与天线带宽相适应的同一个匹配构件和端口可同时用于TX通道和RX通道。
微米技术用于时分多址通讯隐性方向控制射频发送接收器前端

[发明专利]使用定向跟踪无接触地感测旋转和角度位置的方法和设备-CN200780101242.8有效
发明人：亚内兹·特龙特里 -专利权人： 感应动力股份公司;亚内兹·特龙特里
申请日： 2007-10-25 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： G01D5/14 文献下载
摘要：使用方向跟踪来无接触地感测旋转和角度位置的方法和设备。为了提高磁性定位系统的精确度和可能的分辨率，提出了使用特殊跟踪技术的方法和设备。该方法和设备在磁性目标下的不同位置处使用多个磁场感测元件。所感测的信号用于选择或组合感测元件，以最佳地接近磁铁的实际方向。这允许产生有关的接近方向作为粗略值和剩余位移作为精确值。使用该方法的设备允许角度位置的高度精确的测量，其控制或容忍作为输入源的磁铁的位移。
使用定向跟踪接触旋转角度位置方法设备

[发明专利]利用振动传感器测量旋转速率的装置-CN200780036478.8有效
发明人：洛塔尔·吉尔;福尔克尔·肯佩;德拉戈·施特勒 -专利权人：大陆汽车有限责任公司;感应动力股份公司
申请日： 2007-09-13 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种利用振动传感器测量旋转速率的装置，借助多个电容性驱动元件激发和测量该传感器的振动，并借助科里奥利力通过在另一轴线上的旋转激发该传感器在一条轴线上的旋转，且借助电容性测量元件来测量该旋转，其中可将激励电压输送至驱动元件的固定电极，该电压的频率与振动传感器的谐振频率或谐振频率的分谐波相对应，将具有高于激励频率的第一测量频率的交流电压输送至用于测量被激发的振动的电容性元件和将具有不同于第一测量频率且高于激励频率的第二测量频率的交流电压输送至测量元件的固定电极，和/或将激励电压输送至在一个方向上基于该激励电压引起振动激励的驱动元件，该激励电压与可输送至其它驱动元件在其它方向引起激励的激励电压逆相。
利用振动传感器测量旋转速率装置

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