专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件、半导体器件的制造方法及天线开关模块-CN201310533560.9有效
  • 本山理一;恒见大树;山县秀夫 - 索尼公司
  • 2013-10-31 - 2018-03-27 - H01L23/66
  • 本发明涉及半导体器件、半导体器件的制造方法及天线开关模块,具体公开了一种具有射频开关的半导体器件。还公开了一种天线开关模块和半导体器件的制造方法。该半导体器件包括与硅基板接合的金属布线绝缘膜。在该半导体器件中,晶体缺陷层从硅基板的表面延伸到硅基板中。晶体缺陷遍及整个晶体缺陷层。该半导体器件和集成电路位于天线开关模块中。天线开关模块中的集成电路安装有射频开关器件和硅基板。该半导体器件的制造方法包括遍及整个硅基板形成晶体缺陷的步骤。辐射或扩散被用于形成晶体缺陷。在形成晶体缺陷的步骤之后,该方法包括将离子注入硅基板的表面中以形成晶体缺陷层的步骤。
  • 半导体器件制造方法天线开关模块

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