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[发明专利]一种MEMS氢气传感器及其制备方法-CN202310854684.0在审
发明人：张伟;荣钱;杨正;陈江军;杨冉 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS氢气传感器及其制备方法，制备方法包括：将制备的Au掺杂SnO2气敏材料与溶剂混合后球磨，然后与分散剂混合，干燥后加载到MEMS芯片上，300‑500℃烧结得到MEMS敏感芯片，封装后得到封装的MEMS敏感芯片；将吸气剂填充在封帽内，与封装的MEMS敏感芯片粘接密封得到MEMS氢气传感器。本发明所述氢气传感器对氢气具有较高的响应值，对150ppm的氢气响应值可达94。同时，能够抵御高浓度硅氧烷的冲击以及空气中的粉尘颗粒、PM2.5、水气干扰，具有较高的稳定性，对乙醇、硫化氢、二氧化氮等气体检测，表现出极高的选择性，对10ppm氢气具有较高灵敏度。
一种 mems 氢气传感器及其制备方法

[发明专利]一种气体流量计的MEMS芯片封装结构-CN202210864868.0有效
发明人：宁文果;方明东;周小勇;许磊;陈栋梁;谢东成;张岩;李志华;周睿颖;邹子纯;王传伟;马云龙;陈宾;陈陈;夏玉 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司;深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请实施例期望提供一种气体流量计的MEMS芯片封装结构，MEMS芯片封装结构包括：主管材，内部形成有主气路，主管材的管壁设置有第一气流口和第二气流口，主管材的外表面一体成型有封装侧壁，第一气流口和第二气流口位于封装侧壁围设的区域内，封装侧壁的远离管壁的一端具有开口；壳盖，封闭封装侧壁的开口，壳盖和封装侧壁在主管材的外表面构造出具有安装腔的支气路封装体，安装腔连通第一气流口和第二气流口并形成支气路；用于检测气体流量的MEMS芯片，设置于安装腔中。本申请实施例，装配比较简单；可以通过模具来有效控制结构尺寸的精确性，产品的批量一致性较好；封装结构更加紧凑和小型化。
一种气体流量计 mems 芯片封装结构

[发明专利]一种检测食物新鲜度方法及系统-CN202211376507.8在审
发明人：谢东成;许磊;陈栋梁;宁文果;刘睿晨;张岩;胡华冲;李旭;姚冬婷 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明提供一种检测食物新鲜度方法及系统，方法包括：根据检测需求设定预置传感器数目，在冷冻容纳装置内设置预设传感器数目的传感器，利用传感器电阻变化状态数据处理得到传感器状态参数，根据传感器状态参数，利用预置食物成分区间判定食物种类；根据传感器状态参数，利用预置权重处理逻辑确定传感器的权重值；根据权重值以及传感器状态参数，利用预置逻辑计算得到新鲜度指数；根据预置食品新鲜度等级阈值组，分级处理新鲜度指数，以得到食物新鲜度等级，据以判断食物的新鲜度。解决了新鲜度检测效率低以及检测准确度不高的技术问题。
一种检测食物新鲜方法系统

[实用新型]一种氢气传感器-CN202222241981.1有效
发明人：吴秋菊;谢东成;荣钱;姚冬婷;杨正;陈江军 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01N27/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氢气传感器，包括：衬底，其部分表面内凹，形成隔热腔体；下绝缘层，悬浮于所述隔热腔体之上；电极层，位于所述下绝缘层之上；上绝缘层，位于所述电极层之上，且部分所述电极层在所述上绝缘层中裸露；催化材料层，位于所述上绝缘层之上，且覆盖部分所述上绝缘层；载体材料层，位于所述上绝缘层之上，且覆盖于另一部分所述上绝缘层。通过本实用新型公开的氢气传感器，能够提高检测精度。
一种氢气传感器

[发明专利]氧化铝滤层的制备方法、制得的滤层及其在传感器中的应用-CN202111313654.6有效
发明人：张伟;荣钱;陈栋梁;杨正;吴秋菊;姚冬婷;张慧慧;项小婷;高陈;张静文;陈江军 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： C04B38/06 文献下载
摘要：本发明公开氧化铝滤层的制备方法，涉及过滤材料技术领域。本发明包括以下步骤：(1)将氧化铝粉置于球磨罐中，加入去离子水、聚乙二醇，球磨，然后加入聚乙烯醇缩丁醛树脂、邻苯二甲酸二辛酯继续球磨；(2)将球磨后的浆料取出，排除浆料中的气泡，过筛后，置于模具中干燥；(3)将干燥后的块体从模具中脱离，然后进行烧结。本发明还提供采用上述方法制得的氧化铝滤层及其应用。本发明的有益效果在于：制得的氧化铝滤层固体间颗粒相互键联，晶粒长大，孔隙和晶界逐渐减少，体积收缩，密度增加，力学性能提高，使滤层表面密实，改善孔结构，降低气孔率，极大的提高了滤层的气体选择性能，尤其是针对乙醇等挥发性气体。
氧化铝制备方法及其传感器中的应用

[发明专利]一种基于MEMS低功耗气体传感器的制备方法及制备的传感器-CN202210792953.0在审
发明人：吴秋菊;荣钱;谢东城;陈栋梁;高陈;张伟;杨正;姚冬婷;项小婷 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS低功耗气体传感器的制备方法及制备的传感器，涉及传感器技术领域。本发明采用一种水热合成方法制备稀土元素Ce、Zr掺杂的Al2O3载体材料，浸渍法负载贵金属制备催化材料，将制备的载体材料和催化材料分别负载于MEMS微热板上，封装制得MEMS甲烷催化燃烧气体传感器。有益效果：本发明提出了一种x CeO2‑yZrO2‑Al2O3载体材料，并以该载体材料制作催化材料，用该载体材料、催化材料与MEMS微热板稳定的结合在一起的，制成MEMS传感器，使得该MEMS传感器具有灵敏度高的同时功耗低的技术效果。本发明制备的传感器具备低功耗、灵敏度的优势，在矿山物联网中的无线传感器网络系统上有很大的应用潜力。
一种基于 mems 功耗气体传感器制备方法

[发明专利]一种氧化锌基气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用-CN202011170541.0有效
发明人：杨正 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开一种氧化锌基气敏材料的制备方法，涉及MEMS气体传感器技术领域，包括以下步骤：(1)锌源溶液的配制；(2)取有机碱溶液滴加到锌盐溶液中，搅拌，超声分散，得到浊液；(3)将浊液置于50‑90℃烘箱中静置反应1‑24h，即制得氧化锌基气敏材料。本发明还提供上述制备方法制得的氧化锌基气敏材料及其应用。本发明的有益效果在于：本发明制备方法简单，无昂贵的设备投入，易批量化生产，制备方法绿色能耗低。制得的化锌基气敏材料、MEMS敏感芯片、MEMS气体传感器用于对硫化氢气体的检测具有灵敏度高、选择性好，响应恢复时间短、检测范围宽的优点。
一种氧化锌基气敏材料制备方法及其应用

[实用新型]一种MEMS气体质量流量传感器及装置-CN202221932027.0有效
发明人：宁文果;方明东;周小勇;许磊;陈栋梁;谢东成;张岩;李志华;周睿颖;邹子纯;王传伟;马云龙;陈宾;陈陈;夏玉 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司;深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01F1/76 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种MEMS气体质量流量传感器，包括具有检测腔体的封装体以及设置于检测腔体内的MEMS芯片，封装体具有气流入口以及气流出口，气流从气流入口流入检测腔体，并从气流出口流出检测腔体；封装体包括基板、封装侧壁和能够透过可见光或红外光的盖板，MEMS芯片贴装于基板上，基板具有与MEMS芯片电气连接的外端子；封装侧壁固定于基板上且环绕MEMS芯片，外端子位于封装侧壁围设的区域之外；盖板封闭封装侧壁远离基板的一端。本申请实施例，当MEMS气体质量流量传感器封装完成后，可以在生产线上采用光学测量仪对封装侧壁的高度、周向长度等尺寸进行非接触式测量，保障MEMS气体质量流量传感器的批量一致性。
一种 mems 气体质量流量传感器装置

[发明专利]一种SnO2-CN202010826092.4有效
发明人：姚冬婷 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开一种SnO2基气敏材料，涉及气体传感器技术领域，发明中的气体传感器在SnO2的基础上同时掺杂Pd、Si和Sb元素。本发明还提供SnO2基气敏材料的制备方法、MEMS敏感芯片的制备方法、制得的MEMS敏感芯片、MEMS气体传感器的制备方法及制得的MEMS气体传感器。本发明的有益效果在于：本发明以SnO2为基础材料，同时掺杂Pd、Si和Sb元素后，传感器的稳定性显著改善，同时保持较高的灵敏度。
一种 sno base sub

[发明专利]一种WO3-CN202110212084.5有效
发明人：吴秋菊;高陈;胡文利;荣钱;姚冬婷;杨正;张伟;项小婷 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开一种WO3气敏材料的制备方法，涉及MEMS气体传感器技术领域，本发明包括以下步骤：将钨酸钠进行酸化处理，酸化处理时采用的酸浓度为1‑8mol/L，控制溶液的H+浓度为0.001‑3mol/L，然后将混合反应体系进行稳定处理，稳定处理结束后，将产物进行清洗、干燥，然后进行热处理，即获得WO3气敏材料。本发明还提供采用上述方法制得的WO3气敏材料及其应用。本发明的有益效果在于：本发明制得的WO3气敏材料对三甲胺具有较高的响应值，对50ppm的三甲胺响应值最高可达到83，相对于常见的气体检测，具有很好的选择性。对10ppm浓度的三甲胺具有较高的灵敏度。
一种 wo base sub

[发明专利]MEMS气体传感器晶圆微加工及测试系统、方法-CN202210703836.2在审
发明人：杨正;荣钱;马云龙;周睿颖;陈江军;张伟;陈栋梁 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS气体传感器晶圆微加工及测试系统、方法，系统包括机架，所述机架上设置有操作平台、点样系统、测试系统、划片系统、点样工位、测试工位、划片工位、驱动装置、视觉系统、控制单元；所述点样系统、测试系统、划片系统、驱动装置、视觉系统分别与控制单元电连接；所述驱动装置能够驱动所述操作平台分别移动至点样工位、测试工位、划片工位。方法包括晶圆位置矫正、形成Maping图、点样、测试、划片。本发明的优点在于：能够兼顾MEMS气体传感器晶圆涂敷气敏材料、检测、切割，且整体成本较低。
mems 气体传感器晶圆微加工测试系统方法

[实用新型]MEMS催化燃烧传感器微加热芯片及传感器-CN202122652368.4有效
发明人：杨正;薛峰;荣钱;陈栋梁;吴秋菊;张伟;高陈;项小婷 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01N31/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种MEMS催化燃烧传感器微加热芯片，包括加热测量层，加热测量层包括加热元件、热电堆；所述热电堆包括热电堆冷结材料、热电堆热结材料；所述加热元件、热电堆冷结材料、热电堆热结材料同层错位布设。本实用新型将加热与测量分离，可消除传统加热与测量一体时在催化燃烧过程中出现的信号抑制，催化燃烧传感器响应提高响应。
mems 催化燃烧传感器加热芯片

[发明专利]一种In2O3基气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用-CN202010834696.3有效
发明人：吴秋菊 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开一种In2O3基气敏材料的制备方法，涉及MEMS气体传感器技术领域，本发明包括以下步骤：(1)将InCl3溶于醋酸中；(2)将柠檬酸溶于乙醇、乙二醇、水和丙三醇溶液中，然后将柠檬酸溶液逐滴加入步骤(1)的InCl3醋酸溶液中，搅拌，制得In2O3基前驱溶液，即为In2O3基气敏材料。本发明还提供由上述制备方法制得的敏感芯片、气体传感器。本发明的有益效果在于：制得的气体传感器具有很好的一致性、重复性，对多种有毒有害气体有着不同程度的灵敏度，具有较好的选择性。
一种 in2o3 基气敏材料制备方法及其应用

[实用新型]一种冷媒传感器-CN202122721568.0有效
发明人：张伟;荣钱;陈栋梁;杨正;吴秋菊;姚冬婷;张慧慧;项小婷;高陈;张静文;陈江军 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B01D46/12 文献下载
摘要：本实用新型公开一种冷媒传感器，涉及传感器技术领域，本实用新型包括壳体、传感器元件和滤层，传感器元件和滤层均位于壳体内；壳体上设有进气口，滤层包括第一滤层、第二滤层和第三滤层，气体进入进气口、依次经过第一滤层、第二滤层和第三滤层后导入传感器元件，第一滤层、第二滤层、第三滤层用于过滤从所述进气口处进入的水气、杂质和挥发性气体。本实用新型的有益效果：在于本实用新型通过设置多层滤层，防止水气、杂质和挥发性气体进入对传感器元件造成损害，提高冷媒传感器的长期稳定性和灵敏度。
一种冷媒传感器

[发明专利]一种MEMS气体传感器及其阵列、制备方法-CN202010222310.3有效
发明人：许磊;谢东成;陈栋梁 -专利权人： 微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种MEMS气体传感器及其阵列、制备方法，该MEMS气体传感器包括：设有第一腔体的第一衬底，设置于第一腔体开口处的N个气体检测组件；每个气体检测组件包括：支撑臂以及设置于支撑臂上的气体检测部；气体检测部包括依次叠设的条形加热电极部、绝缘层、条形检测电极部以及气敏材料部，条形检测电极部包括之间设置有第一开口的第一检测电极部和第二检测电极部，气敏材料部设置于第一开口处，气敏材料部的第一端与第一检测电极部连接，气敏材料部的第二端与第二检测电极部连接；每个所述气体检测组件中的条形加热电极部顺序连接，构成一个加热器。该实施例方案降低了功耗，减少了加热器数量。
一种 mems 气体传感器及其阵列制备方法

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