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- [发明专利]激光-划线工具架构-CN200980146287.6无效
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安托尼·P·马内斯;徐维勇
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应用材料股份有限公司
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2009-11-17
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2011-10-12
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H01L21/78
- 本发明涉及用于激光划线垂直定向工件的设备和系统。在许多实施例中,激光划线设备(30、60)包括框架、耦接所述框架的第一夹具(32)、耦接所述框架的第二夹具(34)、可操作以产生能够从所述工件(36)的至少一部分移除材料的输出的激光(96、100)及耦接所述激光(96、100)和所述框架的扫描装置(106)。所述第一夹具(32)配置为用于啮合所述工件(36)的第一部分。所述第二夹具(34)配置为用于啮合所述工件(36)的第二部分。当所述工件(36)由所述第一夹具及所述第二夹具啮合时,所述工件(36)实质上垂直定向。所述扫描装置(106)可操作以控制来自所述激光(96、100)的输出相对于所述工件(36)的位置。
- 激光划线工具架构
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