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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]等离子体沉积源和用于沉积薄膜的方法-CN201080023248.X有效
发明人：尼尔·莫里森;安德烈·赫佐格;斯特凡·海因;彼得·斯库克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2010-05-25 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明描述了用于在真空腔室内将沉积气转变成等离子体相并且用于通过该等离子体相在沿基底输送方向移动的基底上沉积薄膜的等离子体沉积源，该等离子体沉积源包括多区域电极设备和RF功率生成器，该多区域电极设备适于配置在该真空腔室中并且包括被配置为与移动基底相对的至少一个RF电极；该RF功率生成器适于向该RF电极供应RF功率。该RF电极具有被配置在该RF电极的一个边缘处的至少一个气体入口和被配置在该RF电极的相对边缘处的至少一个气体出口。归一化等离子体容积由被界定在电极表面与相对基底位置之间的等离子体容积除以电极长度来提供。该归一化等离子体容积被调整到沉积气的耗尽长度。
等离子体沉积用于薄膜方法

[发明专利]用于汽化材料的装置-CN200510051962.0无效
发明人：斯蒂芬·海因;冈特·克莱姆;彼得·斯库克 -专利权人：应用薄膜两合公司
申请日： 2005-02-23 - 公布日： 2006-05-24 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有汽化坩锅的用于汽化材料的装置。待汽化的材料放置在汽化坩锅中。在汽化坩锅周围安放汽化器管道。从其纵向角度观察，该汽化器管道包括至少两个上下依次放置的加热回路，并且分别进行电控。每个加热回路均包括至少两个加热支路，分别安放在汽化器管道的两侧。汽化器管道具有带有自己的加热回路的顶部。
用于汽化材料装置

[发明专利]用于更换卷筒的装置-CN200510003684.1无效
发明人： 彼得·斯库克;卡尔－海因里希·文克;理查德·克劳斯 -专利权人：应用薄膜有限公司
申请日： 2005-01-10 - 公布日： 2006-01-18 - 主分类号： B65H19/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于更换网布形式的材料的涂布设备的收卷或解卷室中的卷筒的装置。这样的装置设置在涂布室的两侧，一个装置作为收卷卷筒并且另外一个作为解卷卷筒。该装置包括两个用于接收卷筒端轴承的导轨，该导轨包括两部分，其中一部分是固定的，另外一部分是可枢转的。该装置位于有门的机架中。如果要替换卷筒，打开门并且向外打开导轨的可枢转的部分从而它们从机架中凸出。现在就能在凸出的导轨部分上放置卷筒，随后向内滑动并停止卷筒。
用于更换卷筒装置

[发明专利]用于测量镀覆的衬底的光学性质的测量装置-CN200410075195.2无效
发明人：汉斯－格奥尔格·洛茨;彼得·索尔;斯特凡·海因;彼得·斯库克 -专利权人：应用薄膜有限公司
申请日： 2004-09-02 - 公布日： 2005-11-23 - 主分类号： G01N21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种测量装置，其包括几个依次设置的镀覆腔，用于测量镀覆的衬底的光学性质。这些镀覆腔相互之间被隔离壁隔开，隔离壁的自由端安装在靠近衬底的上方。衬底最好是连续的薄膜。通过在各个镀覆腔之间测量衬底的反射、透射等，使得在仅仅部分完成的层系统中实现测量成为可能。这就实现了对镀覆过程的技术操作进行控制的优点。
用于测量镀覆衬底光学性质装置

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