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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]金属W/非晶NiTiNbFe纳米多层膜及制备方法-CN202110938876.0有效
发明人：王涛涛;张干;饶响响;张展瑄 -专利权人：陕西理工大学
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明公开了金属W/非晶NiTiNbFe纳米多层膜，包括金属W层和非晶NiTiNbFe合金层，纳米多层膜的总厚度为1000‑3000纳米，金属W层和非晶NiTiNbFe合金层的单层厚度均为2‑50纳米；非晶NiTiNbFe合金层的化学式为Ni50‑bTi50‑aNbaFeb，2≤a≤5，5≤b≤8。本发明还公开了该纳米多层膜的制备方法。通过调控磁控溅射工艺制备高硬度金属W/非晶NiTiNbFe纳米多层膜，该晶体/非晶纳米多层膜的最大硬度为13GPa，呈现优异的力学性能，显著优于以往金属纳米多层膜。同时，该制备工艺简单且重复性好，操作简单，可应用于微机电系统中的高硬度薄膜和连接膜。
金属 nitinbfe 纳米多层制备方法

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