本发明属于复杂微纳结构和器件的微加工技术领域,涉及一种基于聚焦离子束(Focused ion beam,FIB)技术的微刀具加工方法,该方法是将FIB技术的应用扩展到微型刀具的加工中,在设计组建的聚焦离子束系统与高精度的旋转器相结合的实验平台上,利用聚焦离子束的铣削功能对不同材料的刀具毛坯进行复杂三维结构的微刀具加工。通过设定恰当的聚焦离子束加工参数以及精确控制刀具毛坯与离子束入射方向之间的方位,输入不同的灰度图像精确控制FIB铣削,能够加工各种复杂几何形状的微刀具。与其他传统的刀具加工方法相比,本发明提出的方法具有精度高、可重复性强、应力应变小、可在线观测、适用于各种材料和几何形状等优点。