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[发明专利]气体传感器-CN201911295917.8在审
发明人： A.德赫;J.胡贝尔;F.约斯特;S.科尔布;H.托伊斯;W.魏德迈尔;J.韦伦施泰因 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。
气体传感器

[发明专利]气体传感器-CN201610174975.5有效
发明人： A.德赫;J.胡贝尔;F.约斯特;S.科尔布;H.托伊斯;W.魏德迈尔;J.韦伦施泰因 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。
气体传感器

[发明专利]用于借助于激光辐射剥除脆硬材料的方法-CN201480030334.1有效
发明人： W.舒尔茨;U.埃佩尔特 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会;德国亚琛工业大学
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于借助激光辐射剥除脆硬材料的方法，其中通过剥除在材料中形成具有剥除凹陷的侧壁的侧壁角（w）的剥除凹陷（1），并且具有入射边缘（4），所述入射边缘被定义成材料表面的空间上伸展的区域，在所述区域处，材料表面的未被改变并因此未被剥除的部分过渡到剥除凹陷中，并且在所述入射边缘处，激光辐射的功率的空间分量被折射和聚焦到未被剥除的材料的体积中。调整激光辐射的分布，使得入射边缘具有小的空间伸展，使得激光辐射的由入射边缘的聚焦作用所检测的功率分量不足以在材料体积中产生电子密度的阈值ρ_损伤并且因此避免材料的损伤。
用于借助于激光辐射剥除材料方法

[发明专利]用于借助于激光辐射剥除脆硬材料的方法-CN201480030330.3有效
发明人： W.舒尔茨;U.埃佩尔特 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会;德国亚琛工业大学
申请日： 2014-03-20 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于借助于激光辐射剥除脆硬材料的方法，其中通过剥除来在材料中形成剥除凹陷，该剥除凹陷的亦称侧壁的面对所引入的激光辐射产生衍射和折射作用，并且由此该激光辐射的辐射分量在剥除凹陷内生成干涉‑衍射图案，所述干涉‑衍射图案一旦在这些辐射分量又射到剥除凹陷的面上并且侵入到材料体积中时就在那里造成沿着所述面在空间上可变的剥除，并且作为结果使表面粗糙化并且在材料体积中引起裂缝。作为用于剥除的激光辐射使用由至少两个波长构成的波长混合，所述至少两个波长被选择成，使得干涉‑衍射图案由于衍射和折射既沿着所述剥除凹陷的面出现又出现在材料体积中，使得一（些）波长的干涉最大值的空间位置落入另一（些）波长的干涉最小值中。
用于借助于激光辐射剥除材料方法

[发明专利]提供裂纹检测用预测模型的方法和检测半导体结构上的裂纹的方法-CN201280038885.3有效
发明人：马西亚斯·德玛;S·瑞恩;乔纳斯·克里施 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会;弗赖堡阿尔伯特-路德维格大学
申请日： 2012-06-15 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及方法提供用于在半导体结构上的裂纹检测的预测模型的方法，该半导体结构是光伏太阳能电池、制造过程中的光伏太阳能电池的前级物，尤其是用于制造太阳能电池的半导体材料，该方法包括以下方法步骤A）提供具有至少一个裂纹的参照半导体结构；B）提供关于至少一个裂纹的裂纹数据，裂纹数据包含与裂纹在参照半导体结构上的位置有关的几何位置数据；C）空间分辨式测量在半导体结构中所产生的光致发光的多个局部测量点和/或通过空间分辨测量该半导体结构的IR吸收来空间分辨测量该参照半导体结构，D）通过依据在方法步骤C中求出的空间分辨测量数据并且依据在方法步骤B中提供的裂纹数据进行学习算法的训练来建立预测模型，其中，学习算法的训练包括以下方法步骤D1）通过下述方式建立用于至少一个局部描述符点的至少一个描述符，即，针对描述符点设定或确定一检查区，并且依据检查区内的测量数据建立该描述符，该描述符是特征矢量和/或特征分布和/或特征直方图，和D2）利用该描述符号和裂纹数据训练学习算法。本发明还涉及用于裂纹检测的方法和装置。
提供裂纹检测预测模型方法半导体结构

[发明专利]用于借助于激光辐射剥除脆硬材料的方法-CN201480030380.1有效
发明人： W.舒尔茨;U.埃佩尔特 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会;德国亚琛工业大学
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于借助于激光辐射剥除脆硬材料的方法，其中通过剥除在材料中形成剥除凹陷，所述剥除凹陷具有剥除凹陷的侧壁的侧壁角w，其中所述侧壁角w被定义成剥除凹陷的侧壁上的表面法线与材料的未被剥除的表面上的表面法线之间的角度，其中在剥除期间，侧壁角w超过材料特定的极限角wmax。小地调整激光辐射在剥除凹陷的入口处的射束半径，使得侧壁角w几乎达到90角度，并且可实现的剥除深度至少为针对以下较大射束半径情况的2倍，在所述较大射束半径的情况下侧壁角小于材料特定的极限角wmax。
用于借助于激光辐射剥除材料方法

[发明专利]激光加工设备-CN201310586004.8有效
发明人：李道炯;李忠浩;尹盛湜;朴东真 -专利权人：三星显示有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2013-11-20 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工设备。所述激光加工设备包括激光发生器，用于产生激光束；衍射光学元件，用于将由所述激光发生器产生的激光束分为多束子激光束；光束间距调节器，用于调节所述多束子激光束中的相邻子激光束之间的间距。因此，通过安装用于将由所述激光发生器产生的激光束分为多束子激光束的衍射光学元件和用于调节所述多束子激光束之间的间距的光束间距调节器，所述激光加工设备可在荫罩中形成各种分辨率的加工图案，同时提高所述荫罩的加工速率。
激光加工设备

[发明专利]用于使板材材料成型的方法及有关的分割装置和成型模具-CN201410043204.3有效
发明人： H.瓦尔特尔;R.诺伊格鲍尔;S.波尔斯特;M.纳格尔 -专利权人：大众汽车有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2017-06-23 - 主分类号： B21D22/20 文献下载
摘要：本发明涉及用于在与压力机有关的成型模具（200）如特别是深冲模具中使板材材料（110）成型的方法，其可以在成型过程期间有针对性地局部地影响材料流。规定利用至少一个装在成型模具（200）中的传感器（400）来检测进而监视成型过程，在识别到关键状态时在成型模具（200）中的至少一个规定的位置引入板材材料（110）的有针对性的分割线（T），以便由此在后续成型过程期间能实现局部增强的材料流。本发明还涉及用于在成型过程期间在成型模具（200）中引入板材材料（110）的有针对性的分割线（T）的分割装置以及特别是用来实施本发明的方法的用于使得板材材料（110）成型的与压力机有关的成型模具（200），其包括至少一个本发明的分割装置（300）。
用于板材材料成型方法有关分割装置模具

[发明专利]用于制造抗反射层的方法-CN201480034915.2有效
发明人： U.舒尔茨;P.芒策特;F.里克尔特;N.凯泽 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2014-06-02 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： G02B1/118 文献下载
摘要：说明一种用于在衬底（10）上制造抗反射层的方法，所述方法包括以下方法步骤‑ 在第一材料中借助第一等离子体蚀刻工艺产生第一纳米结构（11），其中所述第一材料是所述衬底（10）的材料或者是施加到所述衬底（10）上的由第一有机材料制成的层（1）的材料；‑ 施加由第二材料制成的层（2）到所述第一纳米结构（11）上，其中所述第二材料是有机材料；以及‑ 在由所述第二材料制成的层（2）中借助第二等离子体蚀刻工艺产生第二纳米结构（12），其中所述第二材料在所述第二等离子体蚀刻工艺的执行中相比所述第一材料具有较大的蚀刻速率。
用于制造反射层方法

[发明专利]用于连接太阳能电池的方法以及太阳能模块-CN201280042259.1有效
发明人： H.冯坎佩;R.德勒斯勒;Y.加森鲍尔;F.海尔;A.梅茨;J.D.莫施纳 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2012-09-03 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： H01L31/05 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于连接太阳能电池以制造太阳能模块的方法。为了获得高效率而提出，连接器在前侧设有对射束反射的材料和/或对射束反射的结构。
用于连接太阳能电池方法以及太阳能模块

[发明专利]制造太阳能电池的方法-CN201380010618.X有效
发明人： J.D.莫施纳;H.纳格尔;A.拉霍维奇;M.菲德勒 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明涉及制造具有硅衬底的太阳能电池的方法，其中在所述衬底的表面上存在氧化硅层以及在其上施加的抗反射层，该层在加工间中沉积在所述介电钝化层上。为了实现相应的太阳能电池或由其制成的太阳能电池模块针对电位诱导退化（PID）的稳定性，提议将所述介电钝化层由衬底的表面在加工间中借助含有氧化气体的等离子体而形成。
制造太阳能电池方法

[发明专利]用于金属化半导体元件背面的基于激光的方法和加工台-CN201380043573.6有效
发明人： H·豪泽;J·内卡尔达;R·普罗伊;B·布拉西 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2013-08-08 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明涉及将半导体元件的背面金属化的方法，该半导体元件是光伏太阳能电池的一部分或在光伏太阳能电池制造工艺中的前体，包括以下方法步骤A、将至少一个至少单层的金属箔膜施加到半导体元件背面；B、局部加热至少金属箔膜，从而在局部区域暂时实现金属箔膜熔化。重要的是，在金属箔膜和半导体元件背面之间至少在局部形成空隙，该空隙填充有填料，该填料具有小于1.4的光学折射率。本发明还涉及尤其采用这种方法而制造的太阳能电池以及用于执行这种方法的加工台。
用于金属化半导体元件背面基于激光方法加工

[发明专利]激光加工装置-CN201310418771.8有效
发明人：李道炯;李忠浩;尹盛湜;朴东真 -专利权人：三星显示有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2013-09-13 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：根据本发明一实施例的激光加工装置可包括：激光发生器，用于产生激光束；衍射光学元件，将从所述激光发生器产生的激光束分为多个子激光束；激光束数量调整器，调整所述多个子激光束的数量。因此，根据本发明一实施例的激光加工装置通过设置将从激光发生器产生的激光束分为多个子激光束的衍射光学元件和调整多个子激光束的数量的激光束数量调整器，可提高加工对象物的加工速度，同时还可以迅速调整激光束的数量而在加工对象物上迅速形成多种多样的图案。
激光加工装置

[发明专利]太阳能电池模块和用于太阳能电池的接线的方法-CN201280026117.6有效
发明人： H.冯坎佩;H.福尔茨;G.格里斯;B.梅德尔;K.许内曼 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2012-05-29 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： H01L31/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种太阳能电池模块，其包括布置在载体（14）上的太阳能电池（13,15），所述太阳能电池（13,15）借助于连接器（24,26）接线。为了能够低成本地制造太阳能电池模块并且最小化由于连接器造成的电损耗，提出了载体具有凹陷（22），连接器至少分段地在所述凹陷内延伸，并且太阳能电池在凹陷以外平面地或者基本上平面地布置在载体上或在载体上延伸的层上。
太阳能电池模块用于接线方法

[发明专利]用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置-CN201610062121.8在审
发明人： H.莫尔格纳;C.梅茨纳;L.德克;T.韦尔纳;H.弗拉斯克 -专利权人： 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
申请日： 2016-01-29 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： H05H1/48 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，包括两个相对布置的空心阴极（11、12），其中空心阴极（11、12）被连接到脉冲发生器（15）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（11、12）之间产生双极脉冲电压。在此，两个空心阴极（11、12）之间的空间沿着延长的空心阴极轴线（13）被挡板（14）包围并且两个空心阴极（11、12）至少部分地被挡板（14）包围，其中挡板面具有至少一个开口（18）。
用于产生空心阴极电弧放电等离子体装置

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