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- [发明专利]炉管镀膜设备-CN202210962951.1有效
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朱双双;康旭
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2022-08-11
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2023-10-13
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C23C16/455
- 本发明提供了一种炉管镀膜设备。本发明的炉管镀膜设备包括炉体、供气装置和反射单元;所述炉体中空密封设置,所述炉体用于承载待镀膜对象,所述炉体并用于对所述镀膜对象进行加热,所述供气装置与所述炉体的中空处连通,所述供气装置用于所述镀膜对象提供镀膜所需原料;所述反射单元设置于所述炉体内,所述反射单元用于反射热量。本发明的炉管镀膜设备通过所述炉体对待镀膜的对象进行承载和加热,通过所述供气装置对所述炉体进行供气,提供镀膜用原料,并通过在所述炉体内设置所述反射单元,对所述炉体内的热量进行反射,能够提升所述炉体内的温度均匀性,进而解决温度炉体两端镀膜均匀性差的问题,能够在保证产能的同时保证镀膜均匀性。
- 炉管镀膜设备
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