专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]压电传感探针及其制作方法-CN202010729556.X有效
  • 赵亮兵 - 广州中源仪器技术有限公司
  • 2020-07-27 - 2023-07-28 - G01Q60/40
  • 本申请涉及一种压电传感探针及其制作方法。上述压电传感探针的制作方法,包括提供基底,利用半导体微纳加工工艺制备传感针尖。根据所述传感针尖的尺寸参数,确定音叉的尺寸参数和平衡调节装置的尺寸参数。将所述传感针尖固定于所述音叉的第一叉臂的自由端,并将所述平衡调节装置固定于所述音叉的第二叉臂的自由端,所述第一叉臂的自由端与所述第二叉臂的自由端正相对设置。本申请采用半导体微纳加工工艺制备传感针尖,同时通过对称结构提高其Q值,从而得到振动特性优良的原子力显微镜探针。
  • 压电传感探针及其制作方法
  • [发明专利]扫描探针显微镜系统及其测量方法-CN202110245433.3有效
  • 杨天保;陈建;丁喜冬;赵亮兵;罗永震;付青 - 中山大学;广州中源仪器技术有限公司
  • 2021-03-05 - 2023-04-07 - G01Q60/38
  • 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统及其测量方法,首先根据实际工作模式向导电针尖自感应探针发送对应的探针激发信号使其振动,之后采集导电针尖自感应探针工作振动时的压电响应信号进行分析,得到探针本征机械振动频率变化量。最终进行反馈分析得到实际检测时所需的样品偏压信号和扫描控制信号发送至样品扫描组件,实现待测样品的测量操作。上述方案,采用带导电针尖的自感应探针来实现大气环境的扫描探针显微镜测量成像功能,并且在测量过程中利用探针本征机械振动频率变化量实现频率调制,可提高导电针尖自感应探针测量成像时的机械振动的稳定性,有利于减小导电针尖自感应探针与样品的间距,因而可用于提高静电力成像的空间分辨率。
  • 扫描探针显微镜系统及其测量方法
  • [实用新型]扫描探针显微镜系统-CN202121925137.X有效
  • 罗永震;赵亮兵;肖章武 - 广州中源仪器技术有限公司
  • 2021-08-17 - 2022-02-01 - G01Q60/00
  • 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统包括多个探针架、主机探头、主机底座以及测控装置。每一个探针架被配置为安装一个传感探针。主机探头包括前置电路和定位导槽。定位导槽被配置为可拆卸的安装多个探针架。探针架与前置电路电气连接。主机底座被配置为支撑主机探头,并与传感探针信号连接。测控装置与主机底座信号连接。使用时,选择其中的一个探针架安装在主机探头的定位导槽中,测控装置通过主机底座与相应的传感探针实现信号交互,以使得扫描探针显微镜系统可以实现任意测量成像功能即选即用,实现了多种传感探针的兼容使用。
  • 扫描探针显微镜系统
  • [实用新型]扫描探针显微镜系统-CN202121925143.5有效
  • 肖章武;赵亮兵;卢孔林;罗永震 - 广州中源仪器技术有限公司
  • 2021-08-17 - 2022-02-01 - G01Q60/00
  • 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统,包括探针架、主机探头、音叉型传感探针、主机底座、测控装置以及光学显微镜系统。主机探头包括探针架安装位。探针架被配置为安装于探针架安装位。音叉型传感探针的针尖与音叉型传感探针的音叉垂直。音叉型传感探针被配置为安装于探针架时,主机探头与音叉型传感探针之间具有一个容置区。主机底座被配置为支撑主机探头,并与主机探头信号连接。测控装置与主机底座信号连接。工作时,光学显微镜系统部分置于容置区。光学显微镜系统与测控装置信号连接。本申请基于音叉型自感应型探针设计了可与光学显微镜系统的联用扫描探针显微镜系统。
  • 扫描探针显微镜系统
  • [发明专利]扫描探针显微镜系统-CN202110942200.9在审
  • 肖章武;赵亮兵;卢孔林;罗永震 - 广州中源仪器技术有限公司
  • 2021-08-17 - 2021-10-26 - G01Q60/00
  • 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统,包括探针架、主机探头、音叉型传感探针、主机底座、测控装置以及光学显微镜系统。主机探头包括探针架安装位。探针架被配置为安装于探针架安装位。音叉型传感探针的针尖与音叉型传感探针的音叉垂直。音叉型传感探针被配置为安装于探针架时,主机探头与音叉型传感探针之间具有一个容置区。主机底座被配置为支撑主机探头,并与主机探头信号连接。测控装置与主机底座信号连接。工作时,光学显微镜系统部分置于容置区。光学显微镜系统与测控装置信号连接。本申请基于音叉型自感应型探针设计了可与光学显微镜系统的联用扫描探针显微镜系统。
  • 扫描探针显微镜系统
  • [发明专利]扫描探针显微镜系统-CN202110941769.3在审
  • 罗永震;赵亮兵;肖章武 - 广州中源仪器技术有限公司
  • 2021-08-17 - 2021-10-01 - G01Q60/00
  • 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统包括多个探针架、主机探头、主机底座以及测控装置。每一个探针架被配置为安装一个传感探针。主机探头包括前置电路和定位导槽。定位导槽被配置为可拆卸的安装多个探针架。探针架与前置电路电气连接。主机底座被配置为支撑主机探头,并与传感探针信号连接。测控装置与主机底座信号连接。使用时,选择其中的一个探针架安装在主机探头的定位导槽中,测控装置通过主机底座与相应的传感探针实现信号交互,以使得扫描探针显微镜系统可以实现任意测量成像功能即选即用,实现了多种传感探针的兼容使用。
  • 扫描探针显微镜系统
  • [发明专利]原子力显微镜系统-CN202011556763.6在审
  • 赵亮兵;陈天赐;尹明魁 - 广州中源仪器技术有限公司
  • 2020-12-24 - 2021-04-16 - G01Q60/24
  • 本申请涉及一种原子力显微镜系统,原子力显微镜系统将第一电极作为导电针尖的引出电极,不需要采用单独的细金属线或新增的金属膜电极即可将导电针尖的电信号引出,可简化石英音叉型探针引线结构,显著降低导电探针制备的难度。为了克服两个电极之间的信号干扰,将激励信号转变为对于针尖和样品的共模信号,即:将激励信号同时施加到第一电极和样品上。由于电极共用,激励信号信号实际上也施加到了导电针尖上。这样,导电针尖和样品之间的电势差等于第一样偏压信号,而不会受到激励信号的影响。另外,导电针尖的偏压信号为零,因此可以避免导电针尖的偏压信号对激励信号的影响,进而克服了偏压电信号和激发信号之间的串扰。
  • 原子显微镜系统

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