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[实用新型]一种旋转式阴极系统-CN202222967808.X有效
发明人：刘宁杰;上官建兴;上官小兴 -专利权人：常州比太科技有限公司;常州卓旻精密机械科技有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及旋转式磁控溅射技术领域，具体涉及一种旋转式阴极系统。本实用新型提供了一种旋转式阴极系统，包括冷水机、靶管、磁棒管、一进水轴和一出水轴；进水轴的外壁呈环状开设有若干第一分水孔；出水轴的外壁呈环状开设有若干第二分水孔；其中，冷水机的冷却水经过若干第一分水孔向靶管内壁环状喷射；靶管内的冷却水经过若干第二分水孔汇流。进水轴的设置，使得冷却水经冷水机进入靶管和磁棒管之间的间隙时，冷却水能够环状均匀沿冷水机进入靶管和磁棒管之间的间隙流动，不易在局部存留气泡，从而达到高效冷却换热的目的，减少用水量，使磁控溅射达到更加稳定运行的效果，避免靶材局部高温引起的破裂。
一种旋转阴极系统

[发明专利]一种旋转式阴极系统-CN202211392396.X在审
发明人：刘宁杰;上官建兴;上官小兴 -专利权人：常州比太科技有限公司;常州卓旻精密机械科技有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明专利涉及旋转式磁控溅射技术领域，具体涉及一种旋转式阴极系统。本发明专利提供了一种旋转式阴极系统，包括冷水机、靶管、磁棒管、一进水轴和一出水轴；进水轴的外壁呈环状开设有若干第一分水孔；出水轴的外壁呈环状开设有若干第二分水孔；其中，冷水机的冷却水经过若干第一分水孔向靶管内壁环状喷射；靶管内的冷却水经过若干第二分水孔汇流。进水轴的设置，使得冷却水经冷水机进入靶管和磁棒管之间的间隙时，冷却水能够环状均匀沿冷水机进入靶管和磁棒管之间的间隙流动，不易在局部存留气泡，从而达到高效冷却换热的目的，减少用水量，使磁控溅射达到更加稳定运行的效果，避免靶材局部高温引起的破裂。
一种旋转阴极系统

[实用新型]一种可调节的旋转阴极磁棒-CN202123167816.8有效
发明人：庄正军;刘宁杰;上官泉元;上官建兴;上官小兴 -专利权人：常州比太科技有限公司;常州卓旻精密机械科技有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射镀膜领域，具体涉及一种可调节的旋转阴极磁棒。本实用新型涉及一种可调节的旋转阴极磁棒，包括：芯管、条形磁体、第一调节部和第二调节部，芯管呈空心圆柱状，芯管外壁沿芯管轴方向开设有一定位槽，定位槽贯穿芯管两端；条形磁体可滑动的设置在定位槽内，条形磁体适于固定磁棒；第一调节部可伸缩的设置在芯管内部，第一调节部垂直固定在条形磁体内底壁；第二调节部可转动的设置在芯管端部；其中调节第一调节部能够调节磁棒和靶材的间距；转动第二调节部能够调节磁棒的旋转角度。通过设置的第一调节部来调节磁棒和靶材的间距，而通过设置的第二调节部来实现磁棒的旋转角度；本实用结构简单，操作简便。
一种调节旋转阴极