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[发明专利]蒸汽循环再生系统-CN201680027280.2有效
发明人：田中润也;山村正道;北桥邦宽 -专利权人：中外炉工业株式会社
申请日： 2016-03-04 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： C01B19/02 文献下载
摘要：提供一种循环并再生地使用蒸汽的蒸汽循环再生系统。至少包括：液化再生装置(3)，其具有对被加热物的蒸汽进行液化的液化空间及用于保持液状物的形态的加热部；汽化装置(5)，其在加热部对液状物进行加热来生成蒸汽；连通部(40)，其将液化再生装置和汽化装置连通；处理装置(9)，其采用蒸汽对被处理物进行处理；返回管(11)，其使在处理装置中使用过后的蒸汽返回至液化再生装置；液化再生温度控制部，其对液化再生装置的温度进行控制；以及汽化温度控制部，其对汽化装置的温度进行控制，被加热物在常温时以固体的形态存在，在液化再生装置中以蒸汽以及液状物的形态存在，在连通部中以液状物的形态存在，在汽化装置中以液状物以及蒸汽的形态存在，在处理装置以及返回管中以蒸汽的形态存在。
蒸汽循环再生系统

[发明专利]面板处理用排气推车-CN200610110909.8有效
发明人：新谷昌德;山村正道 -专利权人：中外炉工业株式会社
申请日： 2006-07-31 - 公布日： 2007-08-22 - 主分类号： H01J9/385 文献下载
摘要：一种面板处理用排气推车，包括：将面板(P)多层状层叠在推车本体(10)上后进行保持的面板保持构架(20)、以及设有对进行各面板内的密封排气处理的端管(33)进行保持的排气头(34)的排气处理构件，在面板保持构架的附近配设的隔热箱(35)内设有冷却水集合导入管(37)和冷却水集合排出管(38)，在各排气头上分别连接有从冷却水集合导入管和冷却水集合排出管引出的引导管(37a、38a)，另一方面，在隔热箱外设有用于进行各面板内的排气的各排气管(36d)和对用于使端管保持在排气头上的压缩空气进行引导的各高压空气引导管(36c)。由此，可使将多层状层叠的面板导入处理炉并对各面板内进行密封排气处理的面板处理用排气推车小型化，并可减少各种成本。
面板处理排气推车