专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]密封膜形成装置和密封膜形成方法-CN201680043453.X有效
  • 山下雅充;中北和德;山本清人 - 东丽工程株式会社
  • 2016-07-19 - 2020-07-24 - C23C16/50
  • 本发明提供密封膜形成装置和密封膜形成方法,能够稳定地形成阻隔性高的密封膜。具体而言,该密封膜形成装置具备:第一减压腔室4,其对基材W进行容纳;覆盖膜形成部2,其利用湿法工艺将覆盖膜材料供给至第一减压腔室4内所容纳的基材W而形成覆盖膜93;第二减压腔室5,其对基材W进行容纳;被减压的减压输送路6,其是基材W从第一减压腔室4到第二减压腔室5的输送路径;以及密封膜形成部3,其利用干法工艺将密封膜材料供给至形成在第二减压腔室5内所容纳的基材W上的覆盖膜93而形成密封膜90。
  • 密封形成装置方法

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