专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]使用超高耐热性正型感光组合物的图案形成方法-CN200380104283.4无效
  • 井川昭彦;山本敦子 - AZ电子材料(日本)株式会社
  • 2003-11-14 - 2006-01-04 - G03F7/004
  • 在对于光致抗蚀图案需要高耐热性的工艺中,如制备TFT活性基质基板工艺中,通过使用正型感光组合物可形成一种超高耐热性的正型图案。本发明的图案形成方法包括以下步骤:涂敷一种感光组合物到基板材料之上以形成感光层的步骤,该感光组合物含有(a)碱溶性树脂、(b)具有醌二叠氮基的感光剂、(c)光酸产生剂、(d)交联剂和(e)溶剂;接着透过掩模使基板曝光的步骤;通过显影除去曝光区域以形成正型图像的步骤;使该正型图像的整个区域曝光的步骤;和(如果需要)后烘焙处理。对于使用1,2-萘醌-4-磺酰化合物作为具有醌二叠氮基的感光剂的情形,以上成分(c)可以省略,这是由于该化合物还充当着成分(c)光酸产生剂的作用。
  • 使用超高耐热性感光组合图案形成方法

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