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- [发明专利]激光处理装置和激光处理方法-CN201280003296.1有效
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小林直之;山口芳广;清野俊明;工藤利雄
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株式会社日本制钢所
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2012-06-04
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2013-06-12
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H01L21/268
- 本发明能够用低成本的装置结构、以较高的控制性能对晶圆等被处理体照射可见激光和近红外激光，能以较高的生产率对被处理体进行激光处理。激光处理装置包括：输出可见激光的可见激光光源（G1）；传导可见光激光的可见光光学系统（GS）(光纤（G2）和准直透镜（G3）)；输出近红外激光的近红外激光光源（R1）；传导近红外激光的近红外光光学系统RS(光纤（R2）、聚光透镜（R3）、光纤（R4）和准直透镜（R5）)；以及使由可见光光学系统GS传导的可见激光和由近红外光光学系统（RS）传导的近红外激光进行合波，并将其传导至被处理体（1）的合波光学系统（MS）(分色镜（M1）、电流计镜（M2）和fθ透镜（M3）)。
- 激光处理装置方法
- [发明专利]铁路车辆用电力变换装置-CN01117060.3无效
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山口芳广;吉成博昭;桥本隆
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株式会社东芝
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2001-03-09
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2001-09-19
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B60K11/06
- 铁路车辆用电力变换装置,在吊挂设置在车辆的底板下的箱体的内部,设置长边侧沿轨道方向的L字形的分隔板(2d),形成风洞6。在该分隔板(2d)的一侧,沿着轨道方向容纳高速断路器(13A)、继电器单元(13B)、接口单元(13C)与控制装置(13D)。在分隔板(2d)的另一侧,相对于L字形的分隔板(2d)的短边侧容纳一对平滑电抗器(8A)及(8B)。半导体单元(7)的放热部(7a)突出地设置于风洞(6)的进风口(2e)侧。平滑电抗器(8A)及(8B)上,固定有位于风洞(6)内侧的电动送风机(9A)及(9B)。
- 铁路车辆用电变换装置
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