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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[外观设计]等离子处理装置用离子屏蔽板-CN202130700777.X有效
发明人：中谷侑亮;田中一海;山冈正作;园田靖;岩濑拓 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：等离子处理装置用离子屏蔽板。2.本外观设计产品的用途：本产品为一种等离子处理装置用离子屏蔽板，其应用在半导体制造中用于等离子处理装置中，并安装在真空室的气体流路中，用于屏蔽等离子体中的离子并允许自由基（中性活性物种）通过。3.本外观设计产品的设计要点：在于如立体图所示内容最能体现本外观设计产品的设计要点。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.在使用状态及标示出各部名称参考图中，C‑石英顶板，D‑真空室，E‑石英环，F‑本外观设计产品，G‑带小孔的淋浴板（气体喷射板），H‑晶圆侧。
等离子处理装置离子屏蔽

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