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[发明专利]一种浅沟槽隔离结构的制备方法-CN202310844653.7有效
发明人：徐陈明;屠小龙;张跃;彭泰彦;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本申请公开了一种浅沟槽隔离结构的制备方法，所述制备方法包括：提供一半导体基底；在半导体基底表面形成第一膜层结构；在第一膜层结构背离半导体基底的一侧形成刻蚀阻挡层；在刻蚀阻挡层背离第一膜层结构的一侧形成第二膜层结构；在第二膜层结构上刻蚀形成第一凹槽，以露出刻蚀阻挡层；基于第一凹槽，刻蚀所述刻蚀阻挡层以及第一膜层结构形成第二凹槽，以露出半导体基底；基于第一凹槽和第二凹槽，刻蚀半导体基底，在半导体基底的表面内形成第三凹槽，以在半导体基底表面内形成浅沟槽隔离结构。在该制备方法中，在第一膜层结构的表面形成刻蚀阻挡层，且刻蚀阻挡层与刻蚀气体反应速度较低，以使得形成的浅沟槽隔离结构的沟槽底部的平坦度提高。
一种沟槽隔离结构制备方法

[实用新型]刹车调整臂-CN201320210323.4有效
发明人：屠胜光;屠小龙 -专利权人：屠胜光
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： F16D65/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种刹车调整臂，它包括壳体，壳体内带有相互配合的蜗轮、蜗杆，蜗杆轴上设有齿圈；壳体在靠近齿圈的内缘处开有至少一个凹口，所述的凹口和齿圈之间设有一片状的阻挡端，阻挡端与其外侧的壳体内缘间设有弹簧。本实用新型的阻挡端，一端卡入壳体内缘的凹口中，另一端卡入齿圈中，从而使齿圈无法转动，锁定蜗轮蜗杆；当需要调整刹车间隙时，将该阻挡端向外推，弹簧压缩，阻挡端的一端脱离齿圈，使得齿圈可以自由转动，从而可以旋转蜗轮蜗杆来进行调节。可见，本实用新型方便可靠，使用寿命长。
刹车调整