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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有多层隔膜的微机电系统结构-CN201510971269.9在审
发明人：雷诺·罗宾;尼古拉斯·洛尔弗兰;卡里姆·赛格尼 -专利权人：德尔福芒斯公司
申请日： 2015-12-22 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及制造尤其是MEMS开关的MEMS设备的方法，其包括在基板上方形成柱与传导(传输)线以及在柱与传导线上方形成隔膜的步骤，形成隔膜步骤包括形成第一隔膜层和在柱中的一个上方的区域和/或传导线上方的区域中在第一隔膜层上方形成第二隔膜层使得第一隔膜层具有第二隔膜层未形成在其中的区域，该区域邻近第二隔膜层形成于其中的区域。此外，提供了尤其是MEMS开关的MEMS设备，其包括形成在基板上方的柱与传导(传输)线以及在柱与传导线上方的隔膜。隔膜包括第一隔膜层与在柱中的一个上方的区域和/或传导线上方的区域中形成在第一隔膜层上方的第二隔膜层，使得第一隔膜层具有第二隔膜层未形成在其中的区域，该区域邻近第二隔膜层形成于其中的区域。
具有多层隔膜微机系统结构

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