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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法-CN201680001594.5有效
发明人：着能真;鬼头佑典;渊上真一郎;小佐野善秀 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2016-03-15 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：对于用一组分将铜层和钼层的多层膜蚀刻的蚀刻液而言，与蚀刻后的边缘的截面形状没有底切而形成正锥形的形状上的要求同样地，蚀刻液中不会产生析出物在批量生产时使用时是重要的。含有过氧化氢、无机酸、酸性有机酸、中性有机酸、胺化合物和过氧化氢分解抑制剂的包含铜层和钼层的多层膜用蚀刻液由于不含有唑化合物，因此在与过氧化氢之间不会生成反应物，蚀刻液中不会产生析出物。并且，蚀刻后的边缘的截面形状可以形成优选的正锥形形状。进而，由于也不含有磷化合物、氟化合物，因此废弃时环境负荷也轻。
多层蚀刻浓缩方法

[发明专利]包含钼和铜的多层膜用蚀刻液、蚀刻浓缩液以及蚀刻方法-CN201580021009.3有效
发明人：着能真;渊上真一郎;鬼头佑典;小佐野善秀 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2018-03-20 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：在利用1种液体对钼和铜的多层膜进行蚀刻的蚀刻液中，期望在过水中混合有机酸来使用。然而，过水使有机酸氧化分解而生成草酸，因此存在蚀刻液中产生大量草酸铜的析出物的课题。包含钼和铜的多层膜用蚀刻液通过铝离子与草酸结合从而抑制草酸铜的生成，因此，蚀刻液中不会产生析出物，所述包含钼和铜的多层膜用蚀刻液的特征在于，含有过氧化氢、酸性有机酸、胺化合物、过氧化氢分解抑制剂、唑类和包含铝盐的防析出剂。而且，蚀刻后的边缘的截面形状可以形成理想的正锥形状。
包含多层蚀刻浓缩以及方法

[发明专利]多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法-CN201380081154.1有效
发明人：着能真;小佐野善秀;渊上真一郎 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2013-11-25 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：对于将以1种液体对铜层和钼层的多层膜进行蚀刻的蚀刻液用于量产时而言重要的是形状方面要求蚀刻后的边缘的截面形状是正锥而不是凹槽，并且蚀刻液中不产生析出物。由于含有过氧化氢、无机酸、酸性有机酸、中性有机酸、胺化合物和过氧化氢分解抑制剂的包含铜层和钼层的多层膜用蚀刻液不含有唑化合物，因此在与过氧化氢之间不生成反应物，蚀刻液中不产生析出物。而且，蚀刻后的边缘的截面形状能够制成优选的正锥形状。进而，由于也不含有磷化合物、氟化合物，因此在废弃时环境负担也轻。
多层蚀刻浓缩方法

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