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[发明专利]液体循环装置-CN201811244515.0有效
发明人： 寺尾裕介 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：在更换液体时抑制向容器内过量补充液体的情况。一种液体循环装置，其特征在于，包括：容器(31)，其贮存药液；蚀刻装置(20)，其利用药液来处理基板(10)；第一泵(41)，其将容器(31)内的药液供给至蚀刻装置(20)；第二泵(42)，其将蚀刻装置(20)用过的药液供给至容器(31)；液位传感器(53)，其检测到容器(31)内的药液的液位变得低于预先规定的高度，弹簧(33)，其通过随着容器(31)内的药液的量减少，使容器(31)上升，从而抑制容器(31)内的药液的液位低于液位传感器(53)。
液体循环装置

[发明专利]液体容器装置-CN201910615704.2在审
发明人： 寺尾裕介 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2019-07-09 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：提供能够均匀保持液体的温度的液体容器装置。液体容器装置包括：贮存用配管，其包括使从所述工作设备回收的液体流入的流入口、及使液体朝向所述工作设备流出的流出口，通过从所述流入口连接到所述流出口而能够贮存液体；液温调整器，设置在所述贮存用配管上，将所述贮存用配管内的液体的温度调整到特定的温度；泵，设置在所述流出口，用于将所述液体送出至所述工作设备；供给阀，为了将从所述泵送出的液体中的至少一部分供给给所述工作设备，通过自身开闭来调整供给给所述工作设备的液体的流量；回流管，用于从所述泵和所述供给阀之间连接到所述贮存用配管的所述流入口侧的部分，并将从所述供给阀未送出的液体送回至所述贮存用配管。
工作设备贮存配管供给阀流出口流入口液体容器装置送出温度调整调整器回流管泵送开闭液温流出回收