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[发明专利]一种超纯氧化亚氮的制备方法-CN202211689288.9有效
发明人：秦远望 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C01B21/22 文献下载
摘要：本发明涉及氧化亚氮制备工艺技术领域，公开了一种超纯氧化亚氮的制备方法；该方法包括以下制备步骤：（1）将硝酸铵与水融化制成液体硝酸铵；（2）将液体硝酸铵加热分解制得混合气体；（3）将混合气体冷却并除水制得一次精制气体；（4）将干燥混合气体经过预洗和碱洗制成二次精制气体；（5）将二次精制气体进行吸附纯化和超纯化制成超纯氧化亚氮气体，超纯化的装置为玻纤纳米硝化纤维膜；（6）将超纯氧化亚氮气体液化装罐存储制得超纯氧化亚氮；该方法工艺简单、效率高且能够制备得到纯度为99.999％的氧化亚氮；该方法还采用了玻纤纳米硝化纤维膜，该膜抗压性高且能够特异性的透过氧化亚氮气体。
一种氧化亚氮制备方法

[发明专利]一种6N级氧化亚氮的精馏装置及精馏方法-CN202211714098.8有效
发明人：秦远望 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明涉及氧化亚氮制备技术领域，为解决现有技术下氧化亚氮纯度较低，不能达到半导体工业电子气体标准的问题，公开了一种6N级氧化亚氮的精馏装置，所述精馏装置包括依次相连的纯化器、液化器和精馏塔；精馏塔侧面设有进液口，底部设有出液口，顶部设有带排空阀的排空管道；精馏塔的进液口和出液口分别与换热器通过管道相连。本发明还公开了一种使用上述装置的6N级氧化亚氮的精馏方法。本发明可有效地除去氧化亚氮粗品中的H2O、CO2、N2、H2、NO、CO、O2、Ar等杂质，使得以上组分在精馏得到的氧化亚氮产品中含量均保持在10ppb及以下，由本发明得到的氧化亚氮纯度可满足半导体工业电子气体的要求。
一种氧化亚氮精馏装置方法

[发明专利]一种利用高纯六氟乙烷进行半导体刻蚀的方法-CN202210330977.4有效
发明人：甘华平;王战思;秦远望;李涛;孟恒 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明涉及半导体器件领域，公开了一种利用高纯六氟乙烷进行半导体刻蚀的方法，包括以下步骤：将六氟乙烷原料气进行干燥后，将干燥气通入具有特殊结构的吸附器中进行吸附除杂，再依次进行液化和精馏提纯，获得高纯六氟乙烷；将含有高纯六氟乙烷的刻蚀气体形成等离子体后，对覆盖有图案化掩膜的半导体基底进行干法刻蚀。本发明采用具有特殊结构的吸附器对六氟乙烷干燥气进行吸附除杂，能够提高干燥气在吸附器中分布的均匀性，从而提高吸附除杂的效果，有利于获得更高纯度的六氟乙烷，进而减小六氟乙烷中的杂质对半导体器件性能的影响；同时，本发明中的吸附器还能提高再生气体分布的均匀性，从而缩短分子筛的再生周期，提高再生质量。
一种利用高纯乙烷进行半导体刻蚀方法

[发明专利]一种氧化亚氮中痕量杂质含量的测定方法-CN202310176496.7在审
发明人：季曼曼;秦远望;孟祥丁 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01N27/626 文献下载
摘要：本发明涉及分析检测领域，尤其涉及一种氧化亚氮中痕量杂质含量的测定方法。本发明提供的氧化亚氮中痕量杂质含量的测定方法，使用溶液吸收法，能够通过洗气瓶中的吸收液进行吸收和富集，使用质谱仪来直接测定样品中相应元素的含量。解决了现有技术中存在的检测方法不容易对金属杂质的含量准确定量的问题，提高了检测精度，降低了检测成本。
一种氧化亚氮痕量杂质含量测定方法

[发明专利]一种甲硅烷-氢气混合气的充装方法及其应用-CN202110505719.0有效
发明人：甘华平;秦远望;李涛;陈跃 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： F17C5/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种用于制备半导体多晶硅的甲硅烷‑氢气混合气的充装方法及其应用，该充装方法中采用充装系统进行甲硅烷和氢气的混配充装，具体包括：分别对甲硅烷和经改性分子筛吸附除杂的氢气进行纯度检测，检测合格后，采用惰性气体对管路进行抽真空置换，将甲硅烷充装到混合气储罐内，再次对管路进行抽真空置换，再将经改性分子筛吸附除杂的氢气充装到混合气储罐内，获得甲硅烷‑氢气混合气；所述改性分子筛为负载有氧化钙的分子筛。采用本发明的充装方法，能够防止管路中的空气影响混合气纯度，并利用改性分子筛提高除杂效率，更大限度地降低甲硅烷、氢气混合气中的杂质含量。
一种硅烷氢气混合方法及其应用

[发明专利]一种高纯一氧化氮的制备方法及其在半导体制程中的应用-CN202210005384.0有效
发明人：甘华平;秦远望;王战思;李涛 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： C01B21/24 文献下载
摘要：本发明涉及一氧化氮气体纯化技术领域，公开了一种高纯一氧化氮的制备方法及其在半导体制程中的应用。该制备方法包括以下步骤：将一氧化氮原料气从下部通入FeSO4吸附塔内，在塔内形成向上的涡流，并将FeSO4溶液经由螺旋状喷淋管从螺旋喷嘴喷入FeSO4吸附塔内，FeSO4吸附塔内设有磁场强度从上到下递增的梯度磁场，获得吸附液；将吸附液升温后，通入NO解吸塔中进行解吸，解吸出的气体从塔顶通入深冷冷凝器中，再通入硅胶吸附塔中，进行硅胶吸附处理。本发明采用具有特殊结构的FeSO4吸附塔对原料气中的NO进行吸收，能够减少NO的歧化，并促进FeSO4溶液将NO从原料气中分离出来，有利于获得更高纯度的高纯一氧化氮。
一种高纯一氧化氮制备方法及其半导体中的应用

[发明专利]八氟环丁烷的纯化系统及其纯化方法-CN202010884681.8有效
发明人：甘华平;李涛;孙争光;秦远望 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C07C17/389 文献下载
摘要：本发明提供了一种八氟环丁烷的纯化系统，属于化工技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本八氟环丁烷的纯化系统包括机架，所述机架上依次串连连接有干燥吸附器一、压缩机、冷凝器、精馏塔、合格产品罐和干燥吸附器二，上述干燥吸附器一上具有用于与粗产品相连通的进口，所述干燥吸附器二上具有用于与成品存储处相连接的出口。本八氟环丁烷的纯化系统稳定性高。
八氟环丁烷纯化系统及其方法

[发明专利]六氟乙烷的纯化系统及其纯化方法-CN202010894077.3有效
发明人：孙争光;秦远望;甘华平;李涛 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C07C17/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种六氟乙烷的纯化系统及其纯化方法，属于化工领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本六氟乙烷的纯化系统包括机架，还包括依次串联在一起并连接在机架上的一次干燥吸附器、压缩机、冷凝器、一号精馏塔、二号精馏塔和二次干燥吸附器，上述一次干燥吸附器处具有与其内腔相通的进口管，上述二次干燥吸附器处具有与其内腔相连通的出口管，还包括一回流管，上述回流管的一端与进口管连通，回流管与上述一号精馏塔和二号精馏塔的塔底相连通。本六氟乙烷的纯化方法包括以下步骤：A、预处理；B、气化；C、一次精馏；D、二次精馏；E、干燥。本六氟乙烷的纯化系统成本比较低，本纯化方法操作简便。
乙烷纯化系统及其方法

[发明专利]氧化亚氮预洗水的回收利用方法-CN201911031639.5有效
发明人：甘华平;秦远望;丁维刚;马问 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C02F9/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化亚氮预洗水的回收利用方法，属于化工技术领域。它解决了现有技术存在着成本高的问题。本氧化亚氮预洗水的回收利用方法包括以下步骤：A、准备：氧化亚氮经预洗后，经预洗处理的预洗水中含有硝酸铵以及硝酸根离子B、调节PH值：将高纯氨气混合在预洗水中，氨气与预洗水中的硝酸中和生成硝酸铵，将硝酸铵分离后得到一次处理原液；C、电渗析膜堆浓缩：采用若干电渗析膜形成膜堆浓缩的方式对一次处理原液进行处理，处理后得到净水与废水；D、回用、排放：将膜浓缩后得到的净水输送至氧化亚氮制备的投料处，净水与氧化亚氮原料按照设定配比后投入投料处，膜浓缩后的废水由于氨氮含量达到排放标准，将废水直接排放。本氧化亚氮预洗水的回收利用方法成本低。
氧化亚氮预洗水回收利用方法

[实用新型]精馏塔与冷凝器的连接机构-CN202021870950.7有效
发明人：李涛;孙争光;秦远望;甘华平 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B01D3/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种精馏塔与冷凝器的连接机构，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本精馏塔与冷凝器的连接机构位于精馏塔与冷凝器之间，包括定位环、定位座、连杆和锁杆，上述定位环套在精馏塔上且两者紧配合连接，冷凝器固连在定位座一侧，上述锁杆可拆卸连接在定位座上，上述连杆内端与锁杆连接，连杆外端与定位环螺纹连接。本精馏塔与冷凝器的连接机构稳定性高。
精馏塔冷凝器连接机构

[实用新型]精馏塔的塔底集液结构-CN202021871662.3有效
发明人：甘华平;李涛;孙争光;秦远望 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B01D3/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种精馏塔的塔底集液结构，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本精馏塔的塔底集液结构连接在塔体底部处，包括圆锥筒状的外筒体和内筒体，上述外筒体上端尺寸大于其下端尺寸，上述内筒体上端尺寸小于其下端尺寸，上述内筒体下端固连在外筒体下端处且在两者的连接处具有若干贯穿的出液孔，上述内筒体上端位于外筒体内且在内筒体上端处连接有将其封闭的端盖。本精馏塔的塔底集液结构稳定性高。
精馏塔塔底集液结构

[实用新型]卧式精馏塔-CN202021871673.1有效
发明人：秦远望;甘华平;李涛;孙争光 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种卧式精馏塔，属于机械技术领域。它解决了现有卧式精馏塔的问题。本卧式精馏塔包括呈筒状且水平设置的塔体，还包括底板、固定座、活动座、驱动组件和导向件，上述固定座固连在底板一端处，上述驱动组件连接在底板的另一端处且活动座与驱动组件连接，上述导向件位于活动座与底板之间，塔体的一端连接在固定座上，塔体的另一端连接在活动座上，在导向件的作用下驱动件组件能带动活动座沿底板平移。本卧式精馏塔稳定性高。
卧式精馏塔

[实用新型]用于精馏塔新型支架-CN202021871785.7有效
发明人：孙争光;秦远望;甘华平;李涛 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于精馏塔新型支架，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本用于精馏塔新型支架包括底座、定位板、连接柱、固定板、活动板和锁定结构，上述定位板位于底座上部，上述连接柱下端固连在底座上，连接柱上端固连在底座上，上述固定板固连在定位板上部，上述活动板连接在定位板上，上述锁定结构位于活动板与连接柱之间，在锁定结构的作用下能使活动板与底座之间形成定位。本用于精馏塔新型支架稳定性高。
用于精馏塔新型支架

[实用新型]精馏塔系统中的支架的连接机构-CN202021871867.1有效
发明人：李涛;孙争光;秦远望;甘华平 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B01D3/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种精馏塔系统中的支架的连接机构，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本精馏塔系统中的支架的连接机构位于相邻两支架之间，包括连接筒、缓冲块和锁杆，上述支架侧部具有凸出的连接段，上述缓冲块位于连接筒内，相邻两处理单元中两个连接段分别连接在连接筒两端处，上述锁杆穿设在连接筒和连接段上将连接段与连接筒锁定连接。本精馏塔系统中的支架的连接机构稳定性高。
精馏塔系统中的支架连接机构

[实用新型]八氟环丁烷钢瓶的模块化输送装置-CN202021863272.1有效
发明人：李涛;孙争光;秦远望;甘华平 -专利权人： 宿州伊维特新材料有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： B65G41/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种八氟环丁烷钢瓶的模块化输送装置，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本八氟环丁烷钢瓶的模块化输送装置包括机架、定位板和若干输送单元，上述定位板固连在机架上，上述输送单元下部可拆卸的连接在定位板上，上述输送单元上部伸出定位板，若干输送单元沿定位板的长度方向均布设置，若干输送单元上部形成用于稳定输送物料的输送部。本八氟环丁烷钢瓶的模块化输送装置稳定性高。
八氟环丁烷钢瓶模块化输送装置

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