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- [实用新型]晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构-CN202022358857.4有效
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史紫柔;吴浚宇
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宸沅国际股份有限公司
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2020-10-21
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2021-08-10
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B01F15/02
- 本实用新型公开一种晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，设于晶圆研磨液混搅机台的混搅筒底穿出搅拌泵的晶圆研磨液出料口管接开关阀下方，由一阀底垫、数限位螺丝，及一固定架所构成，其中固定架底端固设于晶圆研磨液混搅机台内底板对应位置，而阀底垫对应开关阀底部透伸出的数个固定螺杆位置开设数个螺孔，以锁固开关阀于阀底垫顶面，另于固定架顶壁开设数个锁接孔，而阀底垫对应数个锁接孔处开设数个沿出料口接管延伸方向拉长的长槽透孔，于每一长槽透孔中插设一限位螺丝，使限位螺丝头凸露出长槽透孔顶，且限位螺丝杆端以适当紧度锁入对应的锁接孔中。本申请能受阻力微移缓冲吸收晶圆研磨液出料流经开关阀及开关阀周围管道时产生的管路侧力冲击。
- 研磨液混搅筒出料缓冲结构
- [实用新型]晶圆研磨液混搅筒入料端的浮动套头-CN202022358998.6有效
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史紫柔;吴浚宇
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宸沅国际股份有限公司
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2020-10-21
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2021-08-10
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B01F15/02
- 本实用新型公开一种晶圆研磨液混搅筒入料端的浮动套头，由一管外套帽及一入料口榇环所组成，其中管外套帽中央形成紧密包夹原料输送管的夹管环，于夹管环顶向外围平展伸出防尘环板，从防尘环板外围向下凸出侧挡环，于夹管环与侧挡环之间形成环凹空间，入料口榇环外壁紧密黏固晶圆研磨液混搅筒的入料口，且小于侧挡环内壁，至于入料口榇环内壁大于夹管环外壁，并为内螺旋形状，整个入料口榇环凸出入料口顶缘，并于临近入料口外的管身外束管外套帽，使管外套帽高过入料口榇环，且将整个入料口榇环包容于环凹空间下端产生防尘遮护。解决了晶圆研磨液混搅筒的原料输送管与入料口之间，仰赖无空隙塞头套接无法防止侧向力引发原料输送精准度失准的缺失。
- 研磨液混搅筒入料端浮动套头
- [实用新型]液态物回收再利用结构-CN201520860811.9有效
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吴濬宇;曾义能
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宸沅国际股份有限公司
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2015-11-02
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2016-03-30
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B24B57/00
- 本实用新型公开了一种液态物回收再利用结构，包含一第一储存槽、一第二储存槽、一入料单元、一混合槽、一输送装置、多个控制阀，第一储存槽底部注入液态物，可直接排除第一储存槽下方管路内的空气，避免管路内混有空气而影响液态物定量的比例浓度；多余液态物可预存于第二储存槽，以回收再利用；输送装置可为真空吸引器(Aspirators)，在液态物由第一储存槽底部注入的同时，输送装置利用虹吸作用将第二储存槽内的回收液态物注入第一储存槽。使本实用新型具有环保、节省成本、液态物不会混有空气，而不会影响液态物定量的比例浓度，输送装置可为真空吸引器而无须电能、降低损坏率，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用的多种功效。
- 液态回收再利用结构
- [实用新型]晶圆研磨液管路式超音波震匀设备-CN201320797191.X有效
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吴濬宇;曾义能
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宸沅国际股份有限公司
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2013-12-03
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2014-07-23
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B01F11/02
- 一种晶圆研磨液管路式超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为由至少一槽管体层竖设包围的封闭筒件，而封闭筒件内部中央的槽管体为上端横伸出出液管下端横伸出入液管，且管底端封闭的竖直震匀槽管，使入液管由下端通入竖直震匀槽管内空间，而出液管由上端通入竖直震匀槽管内空间，使晶圆研磨原液加水经入液管进入竖直震匀槽管内空间，竖直震匀槽管顶端管口架框套塞一单频超音波震荡头，且使单频超音波震荡头发震端固接一传导棒，棒端垂伸入竖直震匀槽管内空间。本实用新型比现有叶片搅匀晶圆研磨液设备，能更震散细粒相溶混合、提高混匀质量，且能更快更节省混匀预定晶圆研磨稀释液时间。
- 研磨管路超音波设备
- [实用新型]晶圆研磨液投入式超音波震匀设备-CN201320783076.7有效
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吴濬宇;曾义能
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宸沅国际股份有限公司
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2013-12-02
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2014-07-09
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B01F11/02
- 一种晶圆研磨液投入式超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为由至少一槽体层层竖设包围的封闭筒件，而封闭筒件内部中央的槽体为下端横伸出供液管，顶端形成透空槽口的震匀槽，使出液管由下端通入震匀槽内空间，而由透空槽口将研磨原液加水投入震匀槽内空间，震匀槽底隔设置入至少一只超音波震荡头的超音波音源室，且使各超音波震荡头发震端紧贴超音波音源室隔开震匀槽内空间的分隔壁，让各超音波震荡头发出的超音波穿透分隔壁传入震匀槽内空间。本实用新型比现有叶片搅匀晶圆研磨液设备，能更震散细粒相溶混合、提高混匀质量，且能更快更节省混匀预定晶圆研磨稀释液时间。
- 研磨投入超音波设备
- [实用新型]晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构-CN201320397889.2有效
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吴濬宇
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宸沅国际股份有限公司
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2013-07-05
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2014-04-02
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B01F5/04
- 一种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，对晶圆研磨原液加水搅拌成供应研磨晶圆用的预定稀释晶圆研磨液过程前管路的储存槽，此储存槽底所设的喷流搅拌机制进行结构改进，使喷流搅拌机制的动力泵不直接叠接分水盘，再由分水盘塞封储存槽底透孔，使动力泵出入口分别接管连通分水盘对应端，再由分水盘塞封该槽底透孔，于动力泵入口通往分水盘的接管临近中段位置，设置维修控制阀，并于动力泵出口叉分通往分水盘的接管临近中段位置，设置回流搅拌控制阀，使动力泵外挂横伸出该槽底外围。本实用新型维持原喷流搅拌机制良好拌匀少沉积晶圆研磨液的性能外，还能避免漏液滴入动力泵内造成异常，其动力泵外挂横伸出容装晶圆研磨液储存槽底，使维修更方便。
- 研磨喷流搅拌改进结构
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