本发明提供相对密度高、颗粒产生少的Fe‑Pt‑BN系溅射靶。一种Fe‑Pt‑BN系溅射靶，其在通过下述步骤进行测定的情况下，王水溶解后的残渣具有D90为5.5μm以下、小于1μm的微细粒子为35％以下的粒度分布。步骤：(1)从溅射靶切割出约4mm见方的试样片并粉碎，制备粉碎物；(2)使用网眼106μm和300μm的筛对粉碎物进行分级，采集通过300μm的筛并残留在106μm的筛上的粉末；(3)将粉末浸渍到加热至200℃的王水中，制备溶解了粉末的含残渣溶液；(4)将含残渣溶液用JIS P 3801中规定的5A的滤纸进行过滤，使滤纸上的残渣在80℃下干燥，制备残渣粉末；(5)使残渣粉末分散到含有表面活性剂的水中，制备试样溶液；(6)将试样溶液放到粒度分析仪中，测定粒度分布。
