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- [发明专利]一种高温水冷插板阀-CN202310751738.0在审
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宋敏;宋铠钰;陈林;张智明
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四川九天真空科技有限公司
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2023-06-25
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2023-09-01
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F16K3/18
- 本发明公开了一种高温水冷插板阀，包括阀体，在阀体的内部设置有阀芯组件以及冷却组件，冷却组件用于阀芯组件的降温冷却；阀芯组件包括安装框架和阀芯本体；阀芯本体固定设置在安装框架上；在阀芯本体上设置有第一连接口和第二连接口，冷却组件包括进水口和出水口，进水口、出水口、第一连接口和第二连接口组成水循环管路，用于冷却水循环。本发明适用于阀门壳体、阀芯、法兰均有水冷可适用于600℃左右的高温环境中，常用于，单晶炉、光伏设备等需要高温的真空设备中。通过本发明中的装置，能够对阀芯本体进行水冷散热，提高了阀芯本体的散热效果，使得本发明中的装置可适用于600℃左右的高温环境中，提高了阀体的适用范围。
- 一种高温水冷插板
- [实用新型]一种内加热的气动挡板阀-CN202320913338.0有效
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张毅;宋铠钰;陈林;张智明
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四川九天真空科技有限公司
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2023-04-21
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2023-08-08
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F16K1/00
- 本实用新型公开了一种内加热的气动挡板阀，包括阀体外壳、气缸、阀杆组件以及阀芯组件；气缸设置在阀体外壳的上方；在气缸的内部设置有活塞；阀杆组件包括阀杆本体、连接头、加热套管以及阀板；阀杆本体的一端与活塞固定连接；连接头的两端分别与阀杆本体的另一端以及加热套管连接；加热套管与连接头连通，用于安装加热管；阀芯组件包括第一法兰、第二法兰以及波纹管；波纹管的两端分别与第一法兰和第二法兰连接，用于阀门启闭的伸缩密封。通过本实用新型中的内加热的气动挡板阀可实现高温管路气体通过阀门时，所有部位气体均保持均匀一致的温度，拓宽了产品的适用工况范围，尤其对高温管路并对温度均匀性要求极高的半导体工况。
- 一种加热气动挡板
- [实用新型]一种阀体自加热高真空气动挡板阀-CN202320526544.6有效
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王超;宋铠钰;陈林;张智明
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四川九天真空科技有限公司
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2023-03-17
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2023-08-08
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F16K49/00
- 本实用新型公开了一种阀体自加热高真空气动挡板阀，包括气缸、上盖、阀体、阀芯组件以及加热棒；上盖设置在气缸上方，气缸下侧与阀体连接，阀体内部设置阀芯组件；加热棒包括壳体、加热丝、固定板以及通电线缆，加热丝设置在壳体内部，壳体下方与固定板连接，通电线缆安装在固定板上，固定板上设置有定位孔；阀体底部设置有圆柱孔，加热棒设置在圆柱孔中，圆柱孔旁设置有螺纹孔，螺钉穿过定位孔与螺纹孔连接将加热棒与阀体固定。在阀体底部安装加热棒，加热棒发热产生热量，阀体吸收热量后温度升高，然后阀体将热量传递给设置在阀体内的阀芯组件，使阀芯组件的温度上升并维持在某一范围内，使阀体在寒冷的情况下正常使用。
- 一种阀体加热真空气动挡板
- [发明专利]一种内加热的气动挡板阀-CN202310434671.8在审
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张毅;宋铠钰;陈林;张智明
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四川九天真空科技有限公司
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2023-04-21
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2023-07-18
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F16K1/00
- 本发明公开了一种内加热的气动挡板阀，包括阀体外壳、气缸、阀杆组件以及阀芯组件；气缸设置在阀体外壳的上方；在气缸的内部设置有活塞；阀杆组件包括阀杆本体、连接头、加热套管以及阀板；阀杆本体的一端与活塞固定连接；连接头的两端分别与阀杆本体的另一端以及加热套管连接；加热套管与连接头连通，用于安装加热管；阀芯组件包括第一法兰、第二法兰以及波纹管；波纹管的两端分别与第一法兰和第二法兰连接，用于阀门启闭的伸缩密封。通过本发明中的内加热的气动挡板阀可实现高温管路气体通过阀门时，所有部位气体均保持均匀一致的温度，拓宽了产品的适用工况范围，尤其对高温管路并对温度均匀性要求极高的半导体工况。
- 一种加热气动挡板
- [实用新型]一种半导体真空插板阀-CN202223539981.6有效
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张晓剑;胡开鹏;贾媛滢;宋铠钰;张智明;陈林
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四川九天真空科技有限公司
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2022-12-29
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2023-06-27
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F16K3/18
- 本实用新型公开了一种半导体真空插板阀，阀杆包括外阀杆与内阀杆，外阀杆套设在内阀杆的外侧且与阀体活动密封连接；内阀杆与外阀杆均与驱动装置连接；阀体的内腔位于阀杆的外侧设置有波纹管组，波纹管组一侧与阀体连接另一侧与外阀杆上的连接板连接；阀芯组件包括阀板与阀芯架，阀板不与阀体的内腔的底部接触；阀芯架内设置有运动腔，运动腔两侧设置有开口；阀板的一侧固接有连接杆，连接杆与开口活动密封连接且连接杆的一侧穿过开口位于运动腔内，连接杆位于运动腔内的一侧设置有碟簧；内阀杆的一侧位于运动腔内部；运动腔内还设置有卡板，卡板一侧与连接杆连接，另一侧与内阀杆连接。通过这种设计能够防止插板阀污染晶圆。
- 一种半导体真空插板
- [实用新型]一种阀芯运动位置调节装置-CN202223494996.5有效
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胡开鹏;宋铠钰;张智明;陈林
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四川九天真空科技有限公司
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2022-12-27
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2023-06-27
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F16K3/02
- 本实用新型公开了一种阀芯运动位置调节装置，固接在支撑架组件的两侧，在密封组件上固接有横板，调节装置包括主体与限位支撑杆，主体中部设置有限位腔，限位支撑杆一侧活动连接在限位腔内部；限位支撑杆上靠近限位腔底部的一侧固接有对开环，另一侧活动连接有限位环，其中对开环活动设置在限位腔中，限位环通过限位销与主体固定连接；对开环与限位环之间设置有弹簧且弹簧套设在限位支撑杆外侧；限位支撑杆位于限位腔外的一侧设置有顶头，顶头靠近限位环的一侧设置有第一安装槽，限位环靠近顶头的一侧设置有第二安装槽，顶头与限位环之间设置有限位块，限位块的两端分别位于第一安装槽以及第二安装槽中。通过这种结构能够控制阀芯的运动位置。
- 一种运动位置调节装置
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