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[发明专利]成膜装置及其清洗方法-CN201610131296.X有效
发明人：金建熙;安晟伯;金玧焕;全珍 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2016-03-09 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种成膜装置及其清洗方法，其中成膜装置包括：工艺腔室；平台，提供于工艺腔室内，并且支撑基板；垫板，具有与所述平台对向的第一面、及与所述第一面相反的第二面，并且所述第一面提供有靶材；磁场形成部，提供于所述垫板的所述第二面；及保护体，提供于所述工艺腔室内，覆盖除了提供有所述基板的区域之外的区域的至少一部分。所述平台、所述垫板、及所述保护体中的至少一个包括母材及提供于所述母材的表面且含有锌的熔射膜。
装置及其清洗方法

[发明专利]三球销式等速节-CN200680010645.7有效
发明人：赵政炫;金大焕;李仁尚;朴正植;安晟伯;辛承晚;姜焕范 -专利权人：威亚株式会社
申请日： 2006-06-28 - 公布日： 2008-05-28 - 主分类号： F16D3/202 文献下载
摘要：一种三球销式等速节，包括：三柱槽壳，具有三条轨道槽，该三条轨道槽被限定在沿圆周向三等分三柱槽壳的位置上，并沿径向延伸；三销架，具有三个多面体耳轴，该三个多面体耳轴凸出地形成于沿圆周向三等分三销架的位置上，以分别插入三销槽壳的轨道槽，且每个该多面体耳轴具有至少两个多边形表面；内滚子，每个该内滚子的圆周内表面具有用于环绕多面体耳轴的曲面轮廓；多个滚针，装配到每个内滚子的圆周外表面；以及外滚子，每个该外滚子形成为通过滚针旋转，以在内滚子的轴向上运动，并在沿三柱槽壳导轨面的轨道槽的轴向上运动。
三球销式等速