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- [发明专利]一种硅片加工用洗烘一体化装置-CN202310557675.5在审
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余江湖;郑松;刘君
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安徽晶天新能源科技有限责任公司
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2023-05-16
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2023-08-08
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H01L21/67
- 本发明涉及硅片洗烘领域,尤其涉及一种硅片加工用洗烘一体化装置。技术问题:在清洗的过程中,因为超声波对体积过小的颗粒去除效果差,而导致硅片需要多次进行超声波清洗的问题。技术方案:一种硅片加工用洗烘一体化装置,蓄水支撑组件、烘干组件、工作组件、清洗组件和硅晶圆片;蓄水支撑组件外侧固接有烘干组件;烘干组件内侧安装有工作组件。本发明通过将液体喷淋在硅晶圆片的表面,通过溶解作用来溶解硅晶圆片表面的沾污,同时结合转动的硅晶圆片来使得整个装置既有化学清洗、流体力学清洗的优点,又有高压擦洗的优点,从而可以在一定程度上降低洗烘工艺所需要耗费的时间,进而可以大幅度提高整个装置的使用便利性。
- 一种硅片工用一体化装置
- [实用新型]一种硅片烘干的翻转夹紧机构-CN202222838229.5有效
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余江湖;郑松;刘君
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安徽晶天新能源科技有限责任公司
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2022-10-26
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2023-03-24
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F26B25/18
- 本实用新型公开了一种硅片烘干的翻转夹紧机构,涉及夹紧机构技术领域,该夹紧机构旨在解决现有技术下夹紧机构无法起到控制翻转夹持的作用,也不能对硅片起到调节防滑稳固夹持的技术问题,该夹紧机构包括夹紧稳定底板、安装在夹紧稳定底板上的调整升降组件、连接于调整升降组件的控制翻转组件;控制翻转组件外侧设置有前后调节夹紧组件,前后调节夹紧组件外侧设置有侧面防滑夹持组件,控制翻转组件内部设置有横向的翻转驱动电机,前后调节夹紧组件内部设置有调节控制横板,该夹紧机构通过控制翻转组件可以对硅片起到控制翻转夹持作用,而通过前后调节夹紧组件和侧面防滑夹持组件可以对硅片起到调节防滑稳固夹持效果。
- 一种硅片烘干翻转夹紧机构
- [实用新型]一种可调节的硅片加工夹具-CN202223184835.6有效
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郑松
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安徽晶天新能源科技有限责任公司
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2022-11-29
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2023-03-14
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种可调节的硅片加工夹具,涉及硅片加工领域,该加工夹具旨在解决现在的硅片双面加工时需要从夹持机具上取下手动翻面,使用不方便的技术问题,该加工夹具包括端承台、设置于端承台中间的回转台、设置于回转台上方的后背板、设置于后背板后侧的调控电机,后背板前侧设置有平衡梁,后背板前端左右对称安装有纵向的导轨,导轨前端安装有线性电机,平衡梁上下两端对称安装有垂直油缸,平衡梁前端设置有夹持片,夹持片安装于与其相邻的垂直油缸的液压执行元件顶端,该加工夹具采用调控电机可以带动夹具在竖直平面内进行度的旋转,在对硅片稳定夹持的同时控制硅片翻面或调整倾斜角度以应对不同的加工设备,使用灵活方便。
- 一种调节硅片加工夹具
- [实用新型]一种防松动的硅片脱胶架-CN202223184695.2有效
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郑松
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安徽晶天新能源科技有限责任公司
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2022-11-29
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2023-03-07
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种防松动的硅片脱胶架,涉及硅片脱胶架技术领域,为解决现有的硅片脱胶架,为框架定位,形成内部限位,随着不断的滑动,导致内部硅片排列发生松动,使得相互碰撞,影响硅片的质量的问题。本实用新型包括温热罐,温热罐的中间设有硅片脱胶架,硅片脱胶架包括转动过滤组件,转动过滤组件为转动筛,转动筛的中间设有旋转端,旋转端的外侧设有限位组件,限位组件设有多组,多组限位组件环绕旋转端的外侧设置,两组限位组件的之间设有隔断组件,通过多组限位组件环绕旋转端的外侧设置,根据硅片的大小,通过定位孔安装不同的托盘,便于硅片脱落,通过转动筛进行保护与限位,保障硅片的质量。
- 一种松动硅片脱胶
- [实用新型]一种硅片表面清洗烘干装置-CN202222624175.2有效
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余江湖;郑松;刘君
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安徽晶天新能源科技有限责任公司
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2022-09-29
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2023-02-24
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B08B3/04
- 本实用新型公开了一种硅片表面清洗烘干装置,涉及硅片加工技术领域,该装置旨在解决现有技术下无法将硅片分散开来,硅片在清洗过程中容易堆积在一起,导致堆积在内部的硅片无法清理到位的技术问题。该装置包括储水罐、设置于储水罐上侧的清洗罐、设置于清洗罐上侧的顶盖、设置于顶盖上侧的烘干组件、设置于清洗罐内侧的清洗组件;其中,储水罐和清洗罐左侧设有连接水管,连接水管末端设有水泵,储水罐前侧设有进水口,储水罐右侧设有出水口,出水口上侧设有排污口,储水罐内侧设有过滤网。该装置通过清洗组件的设置,可以在清洗过程中对硅片进行搅拌,将硅片分散开来,从而避免硅片堆积在一起而存在一定的卫生死角。
- 一种硅片表面清洗烘干装置
- [实用新型]一种自动下料的硅片生产用烘干装置-CN202120703144.9有效
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刘君;余江湖;郑松
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安徽晶天新能源科技有限责任公司
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2021-04-07
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2021-11-26
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F26B15/18
- 本实用新型公开了一种自动下料的硅片生产用烘干装置,包括底板,所述底板前后两侧均设置有滑槽,所述滑槽内侧活动连接有连接架,另一所述连接架固定连接于底板左端前后两侧,所述连接架上端之间活动连接有传动轴,所述传动轴外侧设置有传动带,所述底板前后两端均固定连接有连接座,所述连接座设置于滑槽左侧,所述连接座内侧螺纹连接有调节架,所述调节架上端之间活动连接有烘干床。该自动下料的硅片生产用烘干装置,烘干床设置在传动带之间对输送过程中的硅片进行加热烘干工作,在调节架的旋转操作下控制烘干床与上部的距离,改变受热温度,手动移动加热管至出风口前,鼓风机和加热管的双重工作下,采用热风方式对向前输送的硅片进行风干。
- 一种自动硅片生产烘干装置
- [发明专利]一种硅片生产用超声波清洗机-CN201910743796.2有效
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余江湖;刘君;郑松
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安徽晶天新能源科技有限责任公司
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2019-08-13
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2021-04-06
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B08B3/12
- 本发明公开了一种硅片生产用超声波清洗机,包括机身,所述机身的一侧外壁上嵌入有电控面板,且机身相邻于电控面板的一侧外壁上通过螺栓固定连接有电机,所述电机的一端通过转轴转动连接有转筒,所述转筒的一侧外壁上通过铰链转动连接有筒盖,且转筒相邻于筒盖的一侧外壁上设置有密封盒,该硅片生产用超声波清洗机,通过转动式的转筒可以在硅片超声波清洗提供额外的水流冲击力,一方面保证水流的振动均匀的接触硅片表面,提高清洗的效果和均匀性,另一方面可以将硅片清洗后的液体通过高速的离心力甩出转筒,减少转筒内的杂质含量,为后续二次清洗提供洁净的环境,减少后续清洗液中杂质的再次附着,提高清洗的洁净程度。
- 一种硅片生产超声波清洗
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