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[发明专利]一种晶圆真空吸附方法以及载台外围浮动式真空供给结构-CN202310572849.5在审
发明人：黄欣;郑隆结;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆加工领域，尤其是涉及一种晶圆真空吸附方法以及载台外围浮动式真空供给结构。晶圆载台运动至晶圆交接位置，此时通过驱动机构驱动浮动配气块与对接块进行对接，由于浮动配气块连通大流量抽气系统，大流量抽气系统依次通过浮动配气块、对接块、抽气通道使载台表面进行大流量抽气，在载台表面形成瞬时的较大的负压，使有部分翘曲的晶圆被平整的贴合在晶圆载台表面，再通过载台吸附系统建立真空，将晶圆吸附在晶圆载台上表面；当载台吸附系统成空建立真空后，浮动配气块与对接块进行脱离，晶圆载台带着晶圆运动，大流量抽气系统不随晶圆载台运动，无需在载台的拖链上布置大流量抽气系统的真空管道，使晶圆载台的结构简单。
一种真空吸附方法以及外围浮动供给结构

[实用新型]点胶阀清胶机构-CN202223399778.3有效
发明人：赵明明;郑隆结;孙会民 -专利权人：柯尔微电子装备（厦门）有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B05B15/50 文献下载
摘要：本申请提出了一种点胶阀清胶机构，包括针阀清胶单元、喷射阀清胶单元、撞针阀清胶单元和酒精泵；针阀清胶单元包括夹持机构、第一清理料带、第一酒精滴定阀、泡胶盒和喷胶盒，第一清理料带依次经过第一酒精滴定阀和夹持机构的夹持通道，泡胶盒用于盛放酒精，喷胶盒用于回收针阀排出的残胶；喷射阀清胶单元包括擦胶头、第二清理料带和第二酒精滴定阀，第二清理料带依次经过第二酒精滴定阀和擦胶头的平整表面；撞针阀清胶单元包括毛刷、驱动电机和清洁槽，毛刷容置于清洁槽中，毛刷与驱动电机耦接并在驱动电机的驱动下旋转；酒精泵分别与第一酒精滴定阀和第二酒精滴定阀连通，能够对多种点胶阀进行自动清洁，使用方便且清洁效率高。
点胶阀清胶机构

[发明专利]单体合成工序副产高沸物的脱色方法-CN202310705806.X在审
发明人：杨凤磊;周磊;陈学江;陈立军;王占亮;张宗炜;窦洪亮;辛海亮;马颖;冯建强;肖振坤;孙会民;李斌;郑春义 -专利权人：唐山三友硅业有限责任公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B01D15/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种单体合成工序副产高沸物的脱色方法，涉及有机硅副产物处理技术领域。本发明中脱色砂与凹凸棒吸附白土配合使用，能显著降低高沸物色度，并且通过控制馏出物沸点将剩余色度彻底去除，使高沸物彻底无色化。尤其是凹凸棒吸附白土的使用，它具有独特的层链状晶体结构和十分细小的棒状或纤维状晶体形态，因其特殊的结构，可优先吸附极性分子及金属络合物，并且没有传统白土的返酸和回色现象。一方面，减少了对高沸裂解催化剂毒害作用，有效提高高沸转化效率；另一方面，将对安全和环境造成隐患的副产物转化成有经济价值的产品，减少液体废弃物排放，减轻环保压力。
单体合成工序副产高沸物脱色方法

[发明专利]一种可自动切换模块镜组的光学检测模组-CN202310571879.4在审
发明人：黄欣;郑隆结;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G03B17/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种可自动切换模块镜组的光学检测模组，涉及设觉检测技术，包括依次设置的相机组件、镜组组件和物镜组件，所述镜组组件和物镜组件之间设置有模块镜组切换组件，所述模块镜组切换组件设置有多个模块镜组，所述模块镜组均设置有用于和所述镜组组件对接的镜组接口和用于和所述物镜组件对接的物镜接口；所述模块镜组切换组件还包括将其中一个模块镜组切换至所述物镜组件和所述镜组组件所在检测光路的驱动机构，模块镜组切换组件能够实现模块镜组的自动切换，使相机能够实现不同图像的采集，完成多项检测项目。
一种自动切换模块光学检测模组

[实用新型]一种抽真空除胶装置-CN202222846015.2有效
发明人：郑隆结;赵明明;孙会民 -专利权人：柯尔微电子装备（厦门）有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B05B15/55 文献下载
摘要：本申请所公开的一种抽真空除胶装置，包括：针阀、除胶部、真空部、支撑部；所述针阀可拆卸的连接于所述除胶部；所述除胶部放置于所述支撑部上；所述真空部与所述除胶部密封连接；所述除胶部内设有一可上下位移的钢球，当装置工作时，钢珠向上位移，针头处残胶在气流带动下，沿导流管流向压力箱内表面底部，当装置停止工作时，钢球下落，汇集在压力箱内表面底部的残胶在重力作用下，流入设置在压力箱正下方的收集盒内。通过该方法不仅可实现胶水的重复使用、避免浪费，更能节约耗材，提高经济效益。
一种真空装置

[发明专利]一种晶粒的全自动倒膜镭射一体设备及使用方法-CN202310467865.8有效
发明人：吴祖生;郑隆结;孙会民 -专利权人：柯尔微电子装备（厦门）有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶粒的全自动倒膜镭射一体设备及使用方法，该设备包括EFEM前端传输模块、铁圈倒膜模块、镭射模块、萃盘输送模块以及晶粒夹取模块。所述铁圈倒膜模块包括拔模夹爪、铁圈移动模块以及冲压模块，所述拔模夹爪用于夹取铁圈，所述铁圈上设置有UV膜，所述冲压模块用于控制铁圈朝向晶圆方向进行冲压以使晶粒粘着在UV膜上，所述铁圈移动模块用于将铁圈移出压合位。晶粒夹取模块用于将晶粒从铁圈倒膜模块转移至镭射模块以及将晶粒从镭射模块转移至萃盘上。本申请将产品的制作流程整合到一台设备上，通过设备内部的搬运实现了产品的传递，尽量避免了人员的手动作业，实现了便利的同时节省了时间与成本，简化生产流程提高生产效率。
一种晶粒全自动镭射一体设备使用方法

[发明专利]一种高速多头芯片分选装置-CN202211351586.7有效
发明人：赵明明;郑隆结;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种高速多头芯片分选装置，包括电磁阀组件、真空压力表、相机定位组件、行程调整组件、旋转取晶置晶单元和防护外罩，旋转取晶置晶单元包括直驱电机、芯片拾取机构和驱动组件，旋转取晶置晶单元上设置有18个芯片拾取机构，设定两个工位的位置分别为取晶位和置晶位，进行芯片分选工作时，行程调整组件设置在取晶位上方，带动取晶位的芯片拾取机构下压，驱动组件带动芯片拾取机构做升降运动，电磁阀组件控制进行芯片的拾取和放置，利用真空表头进行信号的回传，相机定位组件芯片进行定位拍照，便于下一次拾晶和置晶动作的顺利进行，本申请的芯片分选装置分选效率高、洁净度高，取晶平台和置晶平台可上下层设置，占用空间小。
一种高速多头芯片分选装置

[发明专利]一种组合舱段的加工方法-CN202211722513.4在审
发明人：金先兵;赵李萍;于庆;刘敬;马刚;曹芳林;张亚媛;杨欣;骆金虎;孙会民 -专利权人：湖北三江航天红阳机电有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种组合舱段的加工方法，属于大型组合件舱段机械加工技术领域，该加工方法用于加工具有依次连接的三个舱段的组合舱段，该加工方法包括：分别初步加工三个舱段毛坯，获得三个加工壳体；预装配三个所述加工壳体，获得组合壳体；精加工所述组合壳体至设计尺寸，获得组合舱段。本发明将组合舱段的各舱段先分别各自初步加工且外型面有加工剩余切削量，再将三个加工壳体预装配后精加工外型面，保证了组合舱段外形的一致性，无台阶，表观质量好；同时将三个加工壳体预装配后作为整体精加工，还可以保证整体的加工精度。
一种组合加工方法

[实用新型]一种可快速更换晶圆检测载台的固定装置-CN202223245809.X有效
发明人：陈豪凌;胡俊林;郑隆结;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：公开了一种可快速更换晶圆检测载台的固定装置，包括真空吸附平台、Z轴微调模组和底座，真空吸附平台通过真空槽与晶圆检测载台紧密贴合，具体是，外接的真空气源通过真空槽内分布的吸附孔施加真空负压，对晶圆检测载台产生吸附力，真空吸附平台下方的三个Z轴微调模组用于调节整组机构的平面度，使得晶圆检测载台的平面度能够适应检测镜组的精度要求，控制外接真空气源进行真空负压施加或者切断，便可轻易实现晶圆检测载台快速更换。本实用新型公开的可快速更换晶圆检测载台的固定装置能够快速更换晶圆检测载台、操作简单、易于实施，且更换晶圆检测载台的过程对平面度的影响极小，有效降低更换载台和调试平面度的时间，提高了工作效率。
一种快速更换检测固定装置

[外观设计]晶圆检测设备-CN202230226663.0有效
发明人：胡俊林;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆检测设备。2.本外观设计产品的用途：用于检测晶圆外观缺陷。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
检测设备

[实用新型]一种高洁净度高速芯片拾取机构-CN202222885051.X有效
发明人：赵明明;郑隆结;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：公开了一种高洁净度高速芯片拾取机构，包括驱动组件和拾取组件，驱动组件包括伺服电机、凸轮单元和压头单元，伺服电机带动凸轮单元转动从而带动压头单元升降，压头单元进一步带动拾取组件在垂直方向上进行升降运动，拾取组件包括吸嘴单元和弹性单元，弹性单元用于缓冲，能够调节拾取组件整体下压的力度，吸嘴单元通过精密滚珠滑组进行导向，提高了芯片拾取的效率，驱动组件和拾取组件外部设置有防护外罩，避免运动部位受油雾、粉尘等杂质的影响，使得拾取工作能够顺利进行。本申请的高洁净度高速芯片拾取机构，具有洁净度高，下压速度快，稳定性高，拾取力度可调等优点，且吸嘴杆和吸嘴以可拆卸的方式设置，易于换型。
一种洁净高速芯片拾取机构

[实用新型]一种可吸附翘曲的晶圆平整装置-CN202223082669.9有效
发明人：黄欣;郑隆结;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：公开了一种可吸附翘曲的晶圆平整装置，包括晶圆载台和负压组件，晶圆载台的吸附面上的第一吸附孔和第二吸附孔分别与负压组件中的两个气流通道连通，吸附面上的沟槽呈若干个圆环状沟槽圈排布，多个第一吸附孔和多个第二吸附孔分别沿与晶圆载台同心的圆周等间距排布，第一吸附孔和第二吸附孔分别与沟槽形成第一吸附区域和第二吸附区域，导流板外接的大流量电磁阀动作时，通过气流通道到达吸附孔对晶圆载台上固定的晶圆进行真空吸附，从而消除晶圆产品的翘曲。本申请的晶圆平整装置能够有效覆盖产品翘曲形变，利用真空吸附的方式增加了晶圆表面的平整度，不受其他外力影响，且能够适应不同寸别晶圆的翘曲消除需求，能够广泛适用于晶圆加工的场景。
一种吸附平整装置

[实用新型]一种芯片五面检测装置-CN202221450259.2有效
发明人：赵明明;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：公开了一种芯片五面检测装置，包括底板、底面检测模组、左右侧检测模组和前后侧检测模组，待检测芯片在垂直方向上依次放入三组检测模组中，在水平方向上完成芯片五个面的检测成像，左右侧检测模组和前后侧检测模组包括双光路合流模块和检测镜组模块，芯片的两个表面在双光路合流模块中完成双光路的汇合和转像，沿着水平光路方向进入检测镜组模块，在相机上形成一张待处理的图片；底面检测模组包括转角同轴光源和底面检测镜组模块，三组检测镜组模块可位移地设置在水平光路方向上，使用三组检测系统完成芯片五个面的检测模块化的设计可以有效的节省空间，提高效率和降低成本，同时能够适应不同尺寸芯片的检测需求。
一种芯片检测装置

[实用新型]一种偏心θ轴晶圆补正平台-CN202222190869.X有效
发明人：赵明明;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：公开了一种偏心θ轴晶圆补正平台，包括底板、悬臂座、多个XYθ轴导向机构、驱动机构、旋转组件和载具组件，悬臂座、XYθ轴导向机构和驱动机构固定设置在底板上，载具组件可旋转地设置在悬臂座的悬臂上，驱动机构与其中一个XYθ轴导向机构连接以推动载具组件转动，载具组件沿着旋转组件的圆心旋转从而实现了对晶圆位置的补正，其余XYθ轴导向机构能跟着旋转作微量位移，保证了载具组件的平滑转动，旋转组件作为旋转中心，使得旋转中心与载具中心偏心设置，调节范围广，提高了补正的精确性，载具组件下方可以设置晶圆拾取机构，使得定位平台便于嵌入生产设备，选用伺服电机降低了成本，本平台具有成本低，便于嵌入生产设备的特点，适应了实际生产的需求。
一种偏心轴晶圆补正平台

[外观设计]晶圆上下料设备-CN202230226781.1有效
发明人：胡俊林;陈豪凌;孙会民 -专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆上下料设备。2.本外观设计产品的用途：用于自动上下料晶圆。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
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