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- [实用新型]一种试管自动进样装置及试管传送系统-CN202120958955.3有效
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邹兴海;顾真;孙东丰
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上海捷程医学科技有限公司
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2021-05-07
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2021-12-10
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G01N35/10
- 本实用新型属于医疗物流设备领域,公开了一种试管自动进样装置及试管传送系统,试管自动进样装置包括机架、输送机构和转向推送机构,机架的一侧设有投放箱;输送机构设置于机架内,输送机构包括输送件和多个承载件,多个承载件间隔设置在输送件上,用于将投放箱内的试管依次输送到机架的上方;转向推送机构包括转动件、摄像头和推杆,转动件用于接收承载件上的试管并带动试管转动,摄像头识别转动件接收的试管方向,推杆将转动件上的试管推出。本实用新型采用输送件和承载件的配合实现进样,输送件的运行速度快,不仅可提高试管的进样效率,而且体积小,成本低,转动件直接根据摄像头识别出的试管方向带动试管转动,效率较高,且出错概率低。
- 一种试管自动装置传送系统
- [发明专利]一种流速测量装置-CN201110387196.0无效
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童宇波;孙东丰
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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2011-11-29
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2013-06-05
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G01P5/00
- 本发明属于半导体设备领域,具体地说是一种利用光纤传感器检测液体流速的流速测量装置,适用于精准控制液体流速的设备,尤其适用半导体制程中化学药剂的精确供应,包括浮子流量计,所述浮子流量计相对应的两侧分别安装有光纤传感器,所述两侧的光纤传感器分别与控制系统电连接;液体由所述浮子流量计的进液端口进入玻璃管内,由出液端口流出,所述玻璃管中的浮子通过上下两端产生差压形成的上升力向上浮动至光纤传感器的安装位置,阻挡两侧的光纤传感器的信号,所述信号送至控制系统。本发明利用光纤传感器照射浮子流量计中的浮子,通过检测浮子在浮子流量计中的上下位置,达到控制化学药剂流量的目的,结构简单,控制方便。
- 一种流速测量装置
- [发明专利]一种化学品泄漏自动检测回收装置-CN201110332739.9无效
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孙东丰
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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2011-10-27
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2013-05-08
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G01M3/02
- 本发明涉及化学品异常泄漏的处理设备,具体地说是一种化学品泄漏自动检测回收装置,包括漏液收集盒、漏液中转TANK、电动阀、化学品回收TANK及PUMP,其中漏液收集盒下部设有漏斗,该漏头的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中转TANK中;所述PUMP的进口通过进液管路与漏液中转TANK相连通,PUMP的出口通过排液管路与化学品回收TANK相连通;在漏液中转TANK及化学品回收TANK的内部分别安装有中转TANK传感器及回收TANK液位传感器,所述PUMP与中转TANK传感器电连接。本发明利用PUMP与电动阀及中转TANK传感器的配合,实现了对意外泄漏的化学品进行自动回收,防止对操作人员造成人身伤害。
- 一种化学品泄漏自动检测回收装置
- [实用新型]吸附晶片装置-CN201020633791.9有效
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孙东丰
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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2010-11-30
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2011-06-15
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H01L21/683
- 本实用新型涉及半导体领域,具体为一种吸附晶片装置,应用于半导体制程中对晶片吸附传递,解决现有技术中存在的晶片传递过程中,吸附晶片不牢固等问题。该装置设有机械手指、吸附槽,吸附槽与真空孔连通,吸附槽与真空孔均嵌入机械手指表面,真空孔与机械手指内的真空通道连接,晶片放在机械手指上。以单孔吸真空的方式吸附力量小,加上厂务真空管路及设备真空管路有衰减,影响真空吸附晶片的稳定传递。本实用新型装置设有透气孔、E字吸附槽,通过设于真空孔旁连接的E字吸附槽加大对晶片的真空吸附力,同时增加透气孔可减小晶片与手指接触的阻力,可增大真空吸附力,增加晶片传递稳定性。
- 吸附晶片装置
- [发明专利]多种化学品药液分离、重复使用装置-CN200810230102.7有效
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徐春旭;孙东丰
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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2008-12-24
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2010-06-30
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C23F1/46
- 本发明是应用于半导体制程中刻蚀部分针对多种化学药液再回收利用的技术,具体为一种多种化学品药液分离、重复使用装置,可将多种化学药液分离,再将回收的化学药液配比成可重复使用的浓度,实现再利用,该技术可大大减少刻蚀过程中化学药液的浪费。该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐,导向电机与一段管路连接,管路上端与药液杯连通,管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应;回收液罐与再生液罐的入口通过管路相连,再生液罐的出口插设有管路,该管路另一端至药液杯上方,与晶片对应。本发明通过不同药液的回收切换装置,使化学品根据显影液归于不同的回收容器化学药液灌中。
- 多种化学品药液分离重复使用装置
- [实用新型]多种化学品药液分离、重复使用装置-CN200820232008.0无效
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徐春旭;孙东丰
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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2008-12-24
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2009-10-21
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C23F1/46
- 本实用新型是应用于半导体制程中刻蚀部分针对多种化学药液再回收利用的技术,具体为一种多种化学品药液分离、重复使用装置,可将多种化学药液分离,再将回收的化学药液配比成可重复使用的浓度,实现再利用,该技术可大大减少刻蚀过程中化学药液的浪费。该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐,导向电机与一段管路连接,管路上端与药液杯连通,管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应;回收液罐与再生液罐的入口通过管路相连,再生液罐的出口插设有管路,该管路另一端至药液杯上方,与晶片对应。本实用新型通过不同药液的回收切换装置,使化学品根据显影液归于不同的回收容器化学药液灌中。
- 多种化学品药液分离重复使用装置
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