专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种管路连接结构-CN202321088297.2有效
  • 姜岩松;陈胜华;王冲 - 宁波润华全芯微电子设备有限公司
  • 2023-05-05 - 2023-10-10 - F16L43/02
  • 本实用新型提供一种管路连接结构。管路连接结构包括:第一管路,第一管路设有限位柱,限位柱相对于第一管路的表面凸出;第一连接件,第一连接件包括限位槽,限位柱位于限位槽内,第一连接件套接于第一管路外,第一连接件可相对于第一管路轴向滑动和周向滑动;第二连接件,第二连接件可与第一连接件配合连接;第二管路,第二管路与第二连接件配合连接;其中,限位柱可在限位槽内移动,以控制第一连接件与第二连接件之间的连接状态。本实用新型解决的问题是:相关技术中的风道管路结构无法快速地拆卸安装,影响检修效率。
  • 一种管路连接结构
  • [实用新型]一种用于检测匀胶气液分离收集装置的检测装置-CN202320968022.1有效
  • 李朋;姜岩松;周鹏;陈胜华 - 宁波润华全芯微电子设备有限公司
  • 2023-04-24 - 2023-09-22 - G01M13/00
  • 本实用新型提供一种用于检测匀胶气液分离收集装置的检测装置。气液分离收集装置包括收集装置本体和收集装置顶板,收集装置顶板与收集装置本体配合连接,收集装置顶板包括圆弧面,检测装置包括:圆弧面配合部,圆弧面配合部可与圆弧面配合;第一连接件和第二连接件,圆弧面配合部的相对两端分别与第一连接件和第二连接件配合连接;第一升降检测部和第二升降检测部,第一升降检测部与第一连接件配合连接,第二升降检测部与第二连接件配合连接,第一升降检测部和第二升降检测部的结构相同。本实用新型解决的问题是:相关技术中的技术方案无法在气液分离收集装置安装之后检测其安装精度。
  • 一种用于检测匀胶气液分离收集装置
  • [发明专利]一种显影液流速控制装置和方法-CN202310606182.6在审
  • 姜岩松;杜帅;陈胜华 - 宁波润华全芯微电子设备有限公司
  • 2023-05-26 - 2023-08-15 - G03F7/30
  • 本发明提供了一种显影液流速控制装置和方法,显影液流速控制装置包括:显影液管路,包括并行设置的第一通道和第二通道,第一通道和第二通道之间连通有内径不同的流速调节通道,流速调节通道朝向第二通道的开口为第一开口;多个通断机构,每个第一开口对应一个通断机构,通断机构包括:壳体,设有活塞运动通道以及连通活塞运动通道至少一侧的导气管路;活塞组件,在活塞运动通道内轴向滑动,活塞组件与第一开口匹配;顶针组件,设于活塞组件远离第一开口的一侧,顶针组件在活塞运动通道内轴向滑动并对活塞组件进行限位。本发明解决了显影液管路不便于灵活调节显影液流速的问题。
  • 一种显影液流速控制装置方法
  • [发明专利]一种用于涂胶单元的气液分离收集装置-CN202310465738.4在审
  • 王冲;姜岩松;陈胜华 - 宁波润华全芯微电子设备有限公司
  • 2023-04-24 - 2023-08-04 - B05C11/10
  • 本发明提供了一种用于涂胶单元的气液分离收集装置。收集装置包括:底座,底座包括第一壁和第二壁;第一分隔板;第二分隔板,第二分隔板与第二壁配合连接,第一分隔板与第二分隔板夹设形成第一通道,第一通道与容纳槽连通;第三分隔板,第三分隔板与第二分隔板配合连接,第二分隔板与第三分隔板夹设形成第二通道,第二通道与容纳槽连通;其中,第一壁包围形成容纳空间,容纳空间用于放置晶圆和承载座,晶圆匀胶产生的废液通过第一通道进入容纳槽,晶圆匀胶产生的废气通过第二通道进入容纳槽。本发明解决的问题是:相关技术中的技术方案无法将匀胶过程中的废气废液进行有效地分离收集。
  • 一种用于涂胶单元分离收集装置

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