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[发明专利]涂覆基板的方法以及涂覆系统-CN201710492256.2有效
发明人：达伦·索斯沃斯;奥马尔·法赫尔 -专利权人：苏斯微技术光刻有限公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：描述了用涂覆材料，具体用涂料或光刻胶，涂覆基板(12)的方法，其中所述方法中提供所述基板(12)。将所述涂覆材料施加到基板(12)的上侧(22)。产生气流，所述气流从基板(12)的下侧(18)引导到基板(12)的上侧(22)，其中气流防止在基板(12)的上侧(22)的边缘(26)形成涂覆材料的珠粒或通过气流去除先前存在的珠粒。此外，还描述了涂覆系统(10)。
涂覆基板方法以及系统

[发明专利]用于将涂层施加到基板的方法与设备-CN201610217781.9有效
发明人： 奥马尔·法赫尔 -专利权人：苏斯微技术光刻有限公司
申请日： 2016-04-08 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及用于将涂层施加到基板(3)的设备，其包括：计量设备(5)，通过计量设备可以将涂覆流体(2)以射流施加到基板(3)；以及溶剂分配器(10)，其以使预定量的溶剂(14)配送到计量设备(5)的前端的此种方式偏心地布置并且朝向计量设备(5)的前端的侧面。本发明还涉及用于通过根据上述权利要求中任一项所述的设备将涂层施加到基板(3)的方法，其中，在施加涂覆流体(2)以前，以溶剂(14)与位于计量设备(5)的前端的涂覆流体(2)接触的此种方式使预定量的溶剂(14)与计量设备(5)的前端接触，并且，在等待时间以后，涂覆流体(2)随后通过计量设备(5)施加到基板(3)。
用于涂层施加到基板方法设备

[发明专利]用于固化施加到基板的光刻胶的至少一部分的方法与设备-CN201610232636.8在审
发明人： 奥马尔·法赫尔;迪特里希·滕尼斯 -专利权人：苏斯微技术光刻有限公司
申请日： 2016-04-14 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明涉及用于至少部分地固化施加到基板(14)的光刻胶(12)的方法，其中执行以下步骤。将涂覆有光刻胶(12)的基板(14)布置在支撑件(16)上。光刻胶(12)经受适当的温度以使光刻胶(12)固化第一预定时间段。在经过第一预定时间段以后，基板(14)被从支撑件(16)提升、旋转、重新布置在支撑件(16)上并且经受适当温度以使光刻胶(12)固化第二预定时间段。本发明还涉及用于固化施加到基板(14)的光刻胶(12)的至少一部分的设备，其包括：室(20)；支撑件(16)，其布置在室(20)中并且基板(14)可以布置在所述支撑件上；以及用于在光刻胶(12)的固化的第一阶段与第二阶段之间旋转基板(14)的设备(22)。
用于固化施加到基板光刻至少一部分方法设备