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[发明专利]一种用于芯片套刻系统的大视场远心光学成像系统-CN202310892167.2在审
发明人：刘志平;王军华 -专利权人： 奈米科学仪器设备（上海）有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于芯片套刻系统的大视场远心光学成像系统，涉及光学成像系统技术领域；包括光阑、第一分光棱镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第二分光棱镜和像面，光阑、第一分光棱镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第二分光棱镜和像面沿光轴从物侧到像侧依次设置。一种用于芯片套刻系统的大视场远心光学成像系统，具有视场角大，物距远，物方远心度高，畸变低等优点；入射面和出射面装载有匹配多个功能接口的分光棱镜，可以同时满足光源照明、自聚焦及高分辨成像等功能。
一种用于芯片系统视场光学成像

[发明专利]一种基于多焦点环带透镜的光学镜片定中定位装置及方法-CN202310745555.8在审
发明人：刘志平;王军华 -专利权人： 奈米科学仪器设备（上海）有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多焦点环带透镜的光学镜片定中定位装置及方法，本装置由自准直仪、多焦点环带透镜、精密五维调整架、待测透镜组、镜座、调平调心装置、空气轴承、位移传感器、大理石框架、图像显示系统、定中定位测量分析系统组成，将镜座安装在空气轴承的调心调平装置上，并通过位移传感器调至镜座的中心轴和空气轴承的中心轴重合，镜片上表面的球心位于多焦点环带透镜的焦点附近，不需调节多焦点环带透镜的位置就可以实现镜片的快速定中，大幅缩减高精度镜片的装调时间；通过图像处理与显示系统分析十字分化丝的边缘扩散函数，从而计算出镜片的轴向装配误差，本发明解决了光学镜片定中定位精度低、装配效率低的问题。
一种基于焦点环带透镜光学镜片定位装置方法

[发明专利]一种基于多层多色环形光源的芯片外观检测装置及方法-CN202310646190.3在审
发明人：刘志平 -专利权人： 奈米科学仪器设备（上海）有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多层多色环形光源的芯片外观检测装置及方法，涉及芯片外观光学检测中的缺陷检测技术领域。为了解决现有芯片外观光学检测中的照明波长单一或波段过宽，照明角度有限导致的芯片外观图像质量较差、检测精度低的问题；一种基于多层多色环形光源的芯片外观检测装置，包括显微成像系统、多层多色环形光源、白光光源、光源控制模块、图像处理分析模块、图像采集模块、精密调整台和分光片；通过光源控制模块驱动多层多色环形光源和白光光源，实现不同光强、不同波长、不同角度的编码光照射，图像采集模块对经过显微成像系统放大后的样品图像进行数据采集，图像处理分析模块对图像进行识别和分析，提高了芯片外观检测的精度。
一种基于多层多色环形光源芯片外观检测装置方法