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[发明专利]用于沉积金属氮化物的方法及装置-CN202080023276.5有效
发明人：朱明伟;杨子浩;奈格·B·帕蒂班德拉;卢多维克·戈代;曹勇;丹尼尔·李·迪尔;陈哲擘 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：通过以下步骤来在工件上形成包括金属氮化物层的结构：在将所述工件安置在包括金属靶的腔室中之前，通过将氮气及惰性气体以第一流率比流动到所述腔室中，及在所述腔室中点燃等离子体，来预调节所述腔室；在所述预调节步骤之后将所述腔室排气；在所述预调节步骤之后将所述工件安置在所述腔室中的工件支撑件上；及通过将氮气及所述惰性气体以第二流率比流动到所述腔室中，及在所述腔室中点燃等离子体，来在所述腔室中的所述工件上执行金属氮化物层的物理气相沉积。所述第二流率比小于所述第一流率比。
用于沉积金属氮化物方法装置

[发明专利]用于微装置的传送的系统和方法-CN202210839127.7在审
发明人：朱明伟;斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;付博义;胡·T·额;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L25/075 文献下载
摘要：一种用于在基板上定位微装置的设备包括：一个或更多个支撑件，所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板；粘合剂分配器，所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上；传送装置，所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板；和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器，以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔，选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置，使得传送表面在供体基板上接合粘合剂，造成所选择的微装置粘附至传送表面，且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。
用于装置传送系统方法

[发明专利]用于微装置的传送的系统和方法-CN201780037396.9有效
发明人：朱明伟;斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;付博义;胡·T·额;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L25/075 文献下载
摘要：一种用于在基板上定位微装置的设备包括：一个或更多个支撑件，所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板；粘合剂分配器，所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上；传送装置，所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板；和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器，以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔，选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置，使得传送表面在供体基板上接合粘合剂，造成所选择的微装置粘附至传送表面，且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。
用于装置传送系统方法

[发明专利]用于沉积高品质PVD膜的方法-CN202080074677.3在审
发明人：杨子浩;朱明伟;奈格·B·帕蒂班德拉;曹勇;张书锚;陈哲擘;陆勤;丹尼尔·李·迪尔;唐先敏 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本文所述的实施方式包括用于在控制基板的弓形弯曲和材料层的表面粗糙度的同时在基板上沉积材料层的方法。调整当沉积材料层时施加至基板的偏压以控制基板的弓形弯曲。在材料层上执行轰击工艺以改善材料层的表面粗糙度。偏压和轰击工艺改善材料层的均匀性，且减少由基板的弓形弯曲造成的材料层破裂的发生。
用于沉积品质 pvd 方法

[发明专利]抛光垫的增材制造-CN202080069546.6在审
发明人：骆英东;斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;阿什温·穆鲁加潘·乔卡林加姆;张代化;乌马·斯利德哈尔;丹尼尔·雷德菲尔德;拉杰夫·巴贾;奈格·B·帕蒂班德拉;胡·T·额;苏达卡尔·马杜苏达南 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：用于抛光垫的增材制造的配方、系统与方法。配方包括单体、分散剂与纳米颗粒。制备配方的方法包括以下步骤：将是聚酯衍生物的分散剂添加至单体、将金属‑氧化物纳米颗粒添加至单体并使具有纳米颗粒与分散剂的单体接受声波处理以将纳米颗粒分散在单体中。
抛光制造

[发明专利]用于积层制造的以旋转多边形及多光束在相同路径上进行的能量传递-CN201880034854.8有效
发明人：杰弗里·L·富兰克林;胡·T·额;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B29C64/264 文献下载
摘要：一种积层制造设备，包含：平台；分配器，用于输送多个进料层；一或更多个光源，被配置为发射第一光束与第二光束；以及多边形束扫描器，包含可旋转镜，可旋转镜具有多个反射面以将第一光束与第二光束重定向为朝向平台，以传递能量至进料最上层。镜被定位并能被旋转而使得多个反射面中的每一面的运动使第一光束在最上层上沿着第一路径扫描，并使第二光束跟随第一光束沿着第一路径扫描。
用于制造旋转多边形光束相同路径进行能量传递

[发明专利]发光装置的颜色转换层-CN202080037795.7在审
发明人：斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;骆英东;张代化;胡·T·额;朱明伟;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C08F20/10 文献下载
摘要：光可固化组合物包括纳米材料、一种或多种(甲基)丙烯酸酯单体和光引发剂，该纳米材料被选择为响应于在紫外或可见光范围内的第二波长带中的辐射的吸收而发射在可见光范围内的第一波长带中的辐射，该光引发剂响应于第二波长带中的辐射的吸收而引发一种或多种(甲基)丙烯酸酯单体的聚合。第二波长带不同于第一波长带。发光装置包括多个发光二极管和与表面接触的固化的光可固化组合物，通过该表面从每个发光二极管发射在紫外或可见光范围内的第一波长带中的辐射。
发光装置颜色转换

[发明专利]由打印工艺形成的阴离子抛光垫-CN202080027320.X在审
发明人：乌马·斯利德哈尔;斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;阿什温·乔卡林格;骆英东;丹尼尔·雷德菲尔德;拉杰夫·巴贾;奈格·B·帕蒂班德拉;胡·T·额;苏达卡尔·马杜苏达南 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-03-10 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：提供了抛光制品以及制造在抛光工艺及清洁工艺中使用的抛光制品的方法。更具体而言，本文披露的实施方式涉及具有可调性质(诸如亲水性及zeta电位)的复合抛光制品。由UV可固化丙烯酸化学试剂构成的3D打印的化学机械平坦化(CMP)垫通常本质上是疏水的。此种疏水行为影响基于磨料的抛光浆料(诸如基于二氧化铈的浆料)的润湿性质。然而，为了增加平坦化及移除速率同时减少缺陷，亲水垫是较佳的。此外，在不同pH值下，期望垫的zeta电位(Zp)可在宽的条件范围中调谐。本公开内容的实施方式包括用阴离子添加剂来增加亲水性及调谐垫的Zp的方法以及使用这些方法产生的垫。
打印工艺形成阴离子抛光

[发明专利]用于沉积具有超导膜的多层器件的方法及装置-CN202080023267.6在审
发明人：朱明伟;杨子浩;奈格·B·帕蒂班德拉;卢多维克·戈代;曹勇;丹尼尔·李·迪尔;陈哲擘 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：一种物理气相沉积系统包括：腔室；三个用于靶的靶支撑件；可动屏蔽物，定位为具有穿过所述可动屏蔽物的开口；工件支撑件，用来将工件固持在所述腔室中；气体供应器，用来向所述腔室输送氮气及惰性气体；电源；及控制器。所述控制器被配置为：移动所述屏蔽物以轮流将所述开口定位成与每个靶相邻，及在每个靶处，使所述电源施加足以在所述腔室中点燃等离子体的电力，以分别造成沉积缓冲层、在所述缓冲层上沉积第一材料的器件层、及沉积覆盖层，所述第一材料是在超过8°K的温度下适合用作超导体的金属氮化物。
用于沉积具有超导多层器件方法装置

[发明专利]用于增材制造系统的打印头模块的阵列-CN201680052198.5有效
发明人：胡·T·额;拉阿南·柴海威;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-15 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B29C64/209 文献下载
摘要：一种增材制造系统包括：工作台，具有顶表面以用于支撑要制造的物体；支撑结构；致动器，耦接至工作台或支撑结构中的至少一者以形成在这两者之间的沿着平行于顶表面的第一轴线的相对运动；多个打印头，安装在支撑结构上；以及能量源。每个打印头包括分配器以用于在工作台上方输送进料的多个连续的层。打印头沿着垂直于第一轴线的第二轴线而间隔开，使得在沿着第一轴线的运动期间，多个打印头在沿着第一轴线的多个平行狭条中分配进料。能量源经构造以熔融进料的至少一部分。
用于制造系统打印头模块阵列

[发明专利]在增材制造中的材料分配和压实-CN201680035969.X有效
发明人：胡·T·额;奈格·B·帕蒂班德拉;阿耶·M·乔希;阿莎瓦尼·塔马尔;卡斯拉曼·克里沙南 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-06-17 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：一种用于形成零件的增材制造设备包括支撑件、用于在支撑件上或支撑件上的下层上输送第一颗粒层的第一分配器、用于将第二颗粒输送至第一颗粒层上以使得第二颗粒渗入第一颗粒层的第二分配器、用于熔融第一颗粒与第二颗粒以形成零件的熔融层的能量源，及耦接至所述第一分配器、第二分配器和能量源的控制器。
制造中的材料分配

[发明专利]光学堆叠沉积与机载计量-CN201980088226.2在审
发明人：朱明伟;杨子浩;奈格·B·帕蒂班德拉;丹尼尔·迪尔;曹勇;曾为民;郑仁婧;爱德华·布迪亚图;S·K·古鲁萨米;托德·伊根;尼兰詹·R·哈斯基瓦莱 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种用于形成具有均匀且精确的层的光学堆叠的方法和设备。用于形成光学堆叠的处理工具在封闭环境中包括第一移送腔室、机载计量单元和第二移送腔室。第一多个处理腔室耦接至第一移送腔室或第二移送腔室。机载计量单元设置在第一移送腔室和第二移送腔室之间。机载计量单元被配置为测量光学堆叠的各个层的一种或多种光学性质，而不将各层暴露于周围环境。
光学堆叠沉积机载计量

[发明专利]先进抛光垫配方-CN201980058001.2在审
发明人：斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;安基特·沃拉;付博义;文卡特·哈里哈兰;马尤·山村;马里奥·科内乔;伊戈尔·艾布拉姆森;杨莫;丹尼尔·雷德菲尔德;拉杰夫·巴贾;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C08F265/06 文献下载
摘要：提供了制造在抛光工艺中使用的抛光制品的方法及配方。在一个实现方式中，提供一种UV可固化树脂前驱物组合物。UV可固化树脂前驱物包含前驱物配方。前驱物配方包含第一树脂前驱物成分，该第一树脂前驱物成分包含半结晶辐射可固化寡聚材料，其中半结晶辐射可固化寡聚材料选自半结晶脂肪族聚酯氨基甲酸酯丙烯酸酯、半结晶脂肪族聚碳酸酯氨基甲酸酯丙烯酸酯、半结晶脂肪族聚醚氨基甲酸酯丙烯酸酯、或上述的组合。前驱物配方进一步包含第二树脂前驱物成分，该第二树脂前驱物成分包含单官能或多官能丙烯酸酯单体。树脂前驱物配方进一步包含光引发剂，其中前驱物配方具有一黏度，该黏度赋能分配前驱物配方以通过增材制造工艺形成抛光制品的一部分。
先进抛光配方

[发明专利]用于增材制造的粉末输送-CN201680054098.6有效
发明人：胡·T·额;拉阿南·Y·柴海威;奈格·B·帕蒂班德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-09-15 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： B29C64/321 文献下载
摘要：一种设备包括工作台和覆盖工作台的分配系统。分配系统包括粉末源。分配系统进一步包括在工作台的顶表面上方延伸的粉末运输机、沿着粉末运输机的纵向轴线共轴地布置的环、和沿着管的长度延伸的盖板。粉末运输机经构造以从粉末源接收粉末。粉末运输机经构造以移动粉末。环形成环绕粉末运输机以容纳粉末的管。每个同心环包括环开口。每个环经构造为可独立地旋转。盖板包括盖板开口。当环开口和盖板开口对准时，粉末通过环开口和盖板开口从管分配。
用于制造粉末输送

[发明专利]用于制造装置的方法和设备-CN201710165989.5有效
发明人：朱明伟;奈格·B·帕蒂班德拉;汪荣军;维韦卡·阿格拉沃尔;阿纳塔·苏比玛尼;丹尼尔·L·迪尔;唐先明 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-07-01 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本文所述的本发明的实施方式一般涉及用于形成高品质缓冲层和III‑V族层的设备和方法，所述缓冲层和III‑V族层用来形成有用的半导体装置，如电源装置、发光二极管(light emitting diode；LED)、激光二极管(laser diode；LD)或其它有用装置。本发明的实施方式还可包括用于形成高品质缓冲层、III‑V族层和电极层的设备和方法，所述缓冲层、III‑V族层和电极层用来形成有用的半导体装置。在一些实施方式中，设备和方法包括使用一或多个群集工具，所述群集工具具有一或多个物理气相沉积(physical vapor deposition；PVD)腔室，所述腔室适于在多个基板的表面上同时沉积高品质氮化铝(AlN)缓冲层，所述缓冲层具有较高的结晶取向。
用于制造装置方法设备

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