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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]曝光装置以及物品的制造方法-CN201710375971.8有效
  • 大野文靖 - 佳能株式会社
  • 2017-05-25 - 2023-09-22 - G03F7/20
  • 本发明涉及一种曝光装置以及物品的制造方法。进行基板的扫描曝光的曝光装置具有：投影光学系统，将原版的图案投影到所述基板；以及控制部。投影光学系统包括：包含凹面镜和凸面镜在内的多个光学部件；多个调整部，为了调整凹面镜的面形状，对凹面镜的背面的多个部位施加力；以及测量部，测量所述光学部件的位置以及姿势中的至少某一个。控制部根据由测量部测量出的测量结果进行多个调整部的控制，以使得在扫描曝光的执行过程中调整凹面镜的面形状。
  • 曝光装置以及物品制造方法
  • [发明专利]曝光装置、曝光方法以及物品制造方法-CN201710728228.6有效
  • 大野文靖 - 佳能株式会社
  • 2017-08-23 - 2020-06-09 - G03F7/20
  • 本发明提供在确保装置的尺寸以及宽广的曝光区域这点上有利的曝光装置。一种曝光装置，具有以圆弧状的光对物体(1)进行照明的照明光学系统IL、以及将以圆弧状的光照明而得到的物体(1)的像投影到基板(3)的投影光学系统PO，上述曝光装置一边在规定方向上改变物体(1)与基板(3)的相对位置一边对基板(3)进行曝光，上述曝光装置的特征在于，照明光学系统IL包括狭缝(5)，该狭缝(5)设置有圆弧状的开口部，该圆弧状的开口部将光源的光整形成圆弧状的光，上述曝光装置具备：变更部，变更开口部的圆弧的曲率；以及控制部C，控制变更部，以使得根据表示投影光学系统PO的NA的信息来变更曲率。
  • 曝光装置方法以及物品制造
  • [发明专利]投影光学系统的制造方法以及器件制造方法-CN201510821421.5在审
  • 大野文靖 - 佳能株式会社
  • 2015-11-24 - 2016-06-08 - G03F7/20
  • 本发明涉及投影光学系统的制造方法以及器件制造方法。提供能够充分确保投影光学系统的成像性能的调整范围的投影光学系统。一种投影光学系统的制造方法，具有：通过对包括具备驱动部的可动光学部件的多个光学部件进行组合配置来组装投影光学系统的工序；通过利用驱动部使可动光学部件移动来调整投影光学系统的工序；取得使驱动部移动到根据其驱动范围决定的规定的位置的状态下的投影光学系统的像差的信息的工序；根据取得的像差的信息对加工用光学部件的表面进行加工的工序；以及将加工了的加工用光学部件装入到投影光学系统的工序，还具有使驱动部移动到根据所述驱动范围决定的规定的位置的工序。
  • 投影光学系统制造方法以及器件
  •  1 
  • 共 3 条
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