专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于工件的静电夹持的系统和方法-CN201580049625.X在审
  • 爱德华·麦金太尔;坦·源 - 艾克塞利斯科技公司
  • 2015-09-17 - 2017-08-18 - H01L21/683
  • 一种用于将工件夹持到静电夹具(ESC)的系统和方法包括将第一工件放置在ESC的表面上,并且将第一组夹持参数施加到ESC,其中用第一夹持力将第一工件夹持到ESC的表面。确定工件到ESC的夹持程度,并且基于工艺配方停止将第一组夹持参数施加到ESC。在停止将第一组夹持参数施加到ESC之后,将第二组夹持参数施加到ESC,并且当工件到ESC的夹持程度小于或近似等于阈值夹持值时,在将第二组夹持参数施加到ESC的同时,从ESC的表面移除工件ESC。在从ESC的表面移除工件之后,再停止到ESC的第二组夹持参数。
  • 用于工件静电夹持系统方法

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