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[发明专利]半导体器件及其制造方法-CN200610008597.X无效
发明人：须贺原和之;中川直纪;园淳弘;由良信介;山吉一司 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2006-02-17 - 公布日： 2006-08-23 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：目的在于提供一种激光照射的重叠部分能够不被人的眼睛识别的半导体器件及其制作方法。一种半导体器件的制作方法包括：第1扫描步骤，利用照射面是矩形的脉冲形发振的激光，对形成在绝缘体上的非晶半导体膜，在与上述照射面的长度方向交叉的方向上一边扫描一边照射，形成第1多晶半导体膜；以及第2扫描步骤，在上述第1多晶半导体膜上重叠照射面的一部分，并且利用上述激光对与上述第1多晶半导体膜相邻的非晶半导体膜，在与上述照射面的长度方向交叉的方向上一边扫描一边照射，形成第2多晶半导体膜，其特征在于：上述激光的波长范围是390nm到640nm，上述非晶半导体膜的膜厚度大于等于60nm且小于等于100nm。
半导体器件及其制造方法

[发明专利]波长转换方法、波长转换激光器以及激光束机械加工设备-CN200410047604.8有效
发明人：小岛哲夫;今野进;西前顺一;由良信介;森川和敏;园淳弘;佐藤行雄 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2004-05-26 - 公布日： 2005-05-25 - 主分类号： G02F1/37 文献下载
摘要：为了使用于进行波长转换的非线性光学晶体、通过使基本激光束沿一个方向传播来对基本激光束进行波长转换，使随机偏振的基本激光束按顺序穿过串联的、用于进行波长转换的两个非线性光学晶体，从而产生波长已经转换的激光束，其偏振方向彼此相差45度到90度。提供了用于进行波长转换的两个非线性光学晶体，以便当相对于激光束的光轴的方向观察时，各晶体的晶体方向轴相差45度到90度。
波长转换方法激光器以及激光束机械加工设备