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- [发明专利]一种磁过滤阴极弧沉装置及方法-CN202310105978.3在审
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潘高明;肖宇雄;潘建扬
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嘉兴艾钛科纳米科技有限公司
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2023-02-08
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2023-06-23
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C23C14/46
- 本发明公开了涂层沉积技术领域的一种磁过滤阴极弧沉装置及方法,包括真空箱11、离子发生机构12、过滤管、多个磁场发生器13、分离机构和沉积发生机构14,所述过滤管由竖直设置的第一直管、弯管和横向设置的第二直管卡合组成,所述分离机构设置在真空箱11内,所述分离机构用于使第一直管、弯管和第二直管分散或相互卡合;本发明采用真空箱11为设备结构提供真空环境,进一步的为第一直管、弯管和第二直管的可分离式设计提供使用基础,进一步的,使过滤管的管壁上的金属液滴增多至需要对过滤管的管壁进行清理时,能够通过分离机构使第一直管、弯管和第二直管之间相互分离,使后续对管壁的清理更加简单。
- 一种过滤阴极装置方法
- [发明专利]一种阵列孔空心阴极放电离子源-CN201811360032.7有效
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郎文昌
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嘉兴艾钛科纳米科技有限公司
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2018-11-15
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2021-01-29
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H01J27/02
- 本发明公开了一种阵列孔空心阴极放电离子源,包括基座、阳极栅网、磁体、绝缘组件、进气座、阵列孔板,其中进气座及阵列孔板为同电位的放电组件,绝缘组件将放电组件与基座之间以及阳极栅网与基座之间形成电位绝缘;阵列孔板为设置有多个阵列贯通孔的金属板,放电组件在一定真空度时产生辉光放电,放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚,多个阳极栅网装配在基座上,磁体套装在基座上,放电产生的电子在电磁场作用下与工艺气体碰撞形成阳离子,多个阳极栅网既可以吸收电子又可以加速阳离子,实现高能离子的射出。本发明利用贯通孔辉光放电过程中的空心阴极效应在电磁场作用下汇聚射出高能离子,为真空涂层工艺过程提供高能离子。
- 一种阵列空心阴极放电离子源
- [实用新型]一种球磨装置-CN201922340490.0有效
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刘伟;张莉;陈安悦;潘建扬
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嘉兴艾钛科纳米科技有限公司
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2019-12-23
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2020-09-08
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B24B27/06
- 本实用新型公开了一种球磨装置,包括底座,所述底座上设置有支撑架、轴承座和滑轨,所述支撑架上设置有电动机,所述电动机的电机轴与转轴固定连接,所述转轴上设置有第一旋转槽和第二旋转槽,所述转轴与辅助轴的一端固定连接,所述轴承座固定在底座上,所述辅助轴的另一端通过轴承与轴承座连接,所述滑轨与底座固定连接,所述滑轨上设置有滑块,所述滑块与铰链机构的一端活动连接,所述铰链机构的另一端与夹具台活动连接;本实用新型的球磨装置的转轴是可以更换的,所述转轴上设置有两种球的旋转槽,可以一次性实现两种球的旋转,并且利用滑块在滑轨上的移动实现物料的移动,从而减少轴的更换,使得球磨装置的工作方便、简单。
- 一种装置
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