专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种测量装置及方法-CN201010618424.6有效
  • 唐广繁;韩良华 - 上海微电子装备有限公司
  • 2010-12-30 - 2012-07-11 - G01B11/00
  • 本发明提供一种长行程工件台测量装置及方法,应用在第一方向和第二方向上互相垂直的两套测量系统,通过所述测量系统中的移动干涉仪与工件台反射镜分别监控测量工件台沿着该第一或第二方向的移动位置,通过所述测量系统中的固定干涉仪与干涉仪反射镜补偿所述移动干涉仪与工件台反射镜对工件台移动位置测量的误差,避免大尺寸长条形反射镜的加工制造困难,实现工件台长行程位置高精度测量。
  • 一种测量装置方法
  • [发明专利]精密调整装置-CN201010575235.5有效
  • 唐广繁;赵正龙 - 上海微电子装备有限公司
  • 2010-12-06 - 2012-06-06 - G03F7/20
  • 本发明提出一种精密调整装置,用于调整硅片的位置。精密调整装置包括垂向调整模块。垂向调整模块自下至上依次包括调节座、夹紧螺套、运动柱和调节螺套。调节座固定于基座上,调节座具有外锥面段和贯通槽,贯通槽沿垂向设置并贯穿外锥面段。夹紧螺套与调节座旋合,夹紧螺套具有内锥面段,内锥面段与外锥面段贴合。运动柱沿垂向可移动地贯穿调节座和夹紧螺套,调节螺套设置在运动柱外部并与运动柱螺纹连接。本发明所提供的精密调整装置适于在水平向和垂向上调整硅片。在垂向调整过程中,通过螺纹结构实现垂向调节,稳定性佳,精度高。垂向调整结束后,通过锥面干涉实现夹紧移动柱,结构简洁,操作容易。
  • 精密调整装置
  • [发明专利]同步升降部件以及同步升降和水平移动机构-CN201010575782.3无效
  • 唐广繁;韩良华 - 上海微电子装备有限公司
  • 2010-12-06 - 2012-06-06 - B66F11/00
  • 本发明涉及同步升降部件以及同步升降和水平移动机构,同步升降部件包括可伸缩的升降单元、手柄、齿轮箱和传动轴;所述传动轴的两端通过所述齿轮箱与所述升降单元啮合连接;所述手柄设置在所述升降单元的一端,所述手柄的转动拉伸或收缩与所述手柄连接的升降单元,该升降单元的拉伸或收缩运动通过由所述齿轮箱和传动轴构成的传动单元传递给另一升降单元,实现两个升降单元的同步上升或下降。本发明的同步升降部件以及同步升降和水平移动机构利用两个齿轮箱和传动轴构成的传动单元实现了两个升降单元的同步性,保证了提升过程的平稳性;本发明的同步升降部件以及同步升降和水平移动机构采用纯机械结构实现物件提升,且各部件结构简单,成本低。
  • 同步升降部件以及水平移动机构

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