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[发明专利]直流溅射方法及直流溅射装置-CN202210795406.8在审
发明人： 周张琪;李志华 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供一种直流溅射方法及直流溅射装置，包括：对置于直流溅射装置中的板执行直流溅射工艺，执行直流溅射工艺时通过监测溅射电流是否大于设定电流以判定直流溅射工艺是否发生电弧放电，设定电流大于直流溅射工艺的标准电流；若发生电弧放电则发出异常信号，并响应于异常信号而切断直流电源以进行熄弧处理，并于预定时间后再继续执行直流溅射工艺。本发明中，通过在直流溅射工艺中监测溅射电流是否大于设定电流以判定该直流溅射工艺是否发生电弧放电，若发生电弧放电即切断直流电源进行熄弧处理，从而减少电弧放电对靶材或基板等的危害，进而减少基板上因电弧放电引起的缺陷，相比于其他方法，不仅操作简单，且具有较高的效率。
直流溅射方法装置

[发明专利]一种服务于不动产登记的数据组织与统计模型的构建方法-CN201810697586.X在审
发明人：虞昌彬;董玉鹏;黄绍华;周张琪;袁海波;周继业;吴春岐;薛涛;王晨;张毅;刘玉 -专利权人：浙江大学宁波理工学院
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： G06F17/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种服务于不动产登记的数据组织与统计模型的构建方法，该方法为：构建服务于不动产统一登记的总体数据模型；构建服务于不动产统一登记的登记数据组织模块；构建服务于不动产统一登记的时空数据统计模块；构建服务于不动产统一登记的数据分析与预测模块，该数据分析与预测模块通过影响因子IF来表现。通过构建一种数据组织与统计模型，采用数学中的元组“键(key)‑值(value)的配对”构造与时空分析(Spatio‑temporal Analysis)基本方法，对登记数据的组织、统计、分析，并在一定程度上进行预测，服务于我国正在全面铺开的不动产统一确权登记工作。
构建数据组织统计模型服务不动产登记登记数据数据分析预测模块统一时空分析时空数据数据模型统计模块影响因子元组配对数学预测表现分析统计