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[实用新型]一种高温感应提纯炉用保温盖起吊装置-CN202320947881.2有效
发明人： 周岳兵;杨毅成;胡祥龙;戴煜 -专利权人：湖南顶立科技股份有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B66C1/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高温感应提纯炉用保温盖起吊装置，保温盖上具有贯穿其上的吊装孔，保温盖包括石墨板和铺设于石墨板上的保温碳毡，高温感应提纯炉用保温盖起吊装置吊具包括：第一套筒、拉杆、第二套筒和展收架，控制第一套筒和拉杆相对滑动，能够控制支架收缩以穿过吊装孔或展开以吊装保温盖；展开状态时，第二套筒的上部抵接第一套筒的下部，且支架与第一套筒垂直，收起状态时，支架与第一套筒平行。与现有技术相比，本实用新型成本低，且起吊时，由于支架作用于石墨板上，不会引起保温碳毡变形，还具有起吊方便，吊装效率高的优点。
一种高温感应提纯保温起吊装置

[实用新型]一种热电偶拔插装置及高温炉-CN202320986858.4有效
发明人： 周岳兵;杨毅成;魏巍;胡祥龙 -专利权人：湖南顶立科技股份有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热电偶拔插装置，热电偶的两端分别为驱动端和测温端，热电偶拔插装置包括电动推杆，热电偶拔插装置还包括气氛保护套、导向座和隔离套，热电偶贯穿气氛保护套且与气氛保护套滑动相连，电动推杆与驱动端相连；气氛保护套与热电偶之间设有密封件。本实用新型还公开了一种高温炉，包括如上述的热电偶拔插装置。与现有技术相比，本实用新型的热电偶拔插装置以电动推杆为动力，动作更平稳，且速度可调，可避免热电偶过热损坏，在高温区设置有隔离套，使热电偶不与高温区的反应物直接接触，延长了热电偶的使用寿命，还可确保热电偶插拔过程中，不破坏设备内工作气氛。
一种热电偶装置高温

[发明专利]一种中频感应加热炉自适应调频方法及系统-CN202011466007.4有效
发明人：周瑶;胡祥龙;戴煜;周岳兵 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H05B6/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种中频感应加热炉自适应调频方法及系统，通过具有至少两个补偿电容的补偿电容组，可以在当前补偿电容需要调整时，改变为其他补偿电容或者当前补偿电容自身调整，得到调整补偿电容的调整电容值与负载等效电阻值及电感值得到的调整频率值等于预设频率值，避免了单个补偿电容不满足频率需求的情况下，中频感应加热炉无法使用的情况。方法包括：获取中频感应加热炉的负载等效电阻值、电感值及预设频率值；根据负载等效电阻值、电感值及预设频率值，判断补偿电容组中的当前补偿电容是否需要调整；当当前补偿电容需要调整时，进行电容调整，得到调整补偿电容，使得调整电容值与负载等效电阻值及电感值得到的调整频率值等于预设频率值。
一种中频感应加热炉自适应调频方法系统

[发明专利]一种气相沉积设备-CN202210983453.5在审
发明人：戴煜;胡祥龙;周岳兵;魏巍 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种气相沉积设备，包括沉积室，沉积室围成反应腔，沉积室内设有将反应腔分隔为上腔和下腔的多层导气组件，多层导气组件上设有导气过气孔，沉积反应室的顶部设有与上腔连通的排气组件，沉积反应室的底部设有与下腔连通的进气组件，下腔内设有旋转料台；旋转料台上设置有料台过气孔，旋转料台的上方为工作区，进气组件包括：底部主进气管、由内到外依次环绕底部主进气管设置的底部辅助进气管和侧部补进气管，底部主进气管的顶端和底部辅助进气管的顶端分别伸入下腔内且位于旋转料台的下方。本发明旨在解决现有气相沉积设备的沉积室内的气流均匀性不佳，无法保证产品表面沉积的均匀性的技术问题。
一种沉积设备

[发明专利]一种气相沉积装置-CN202011528221.8有效
发明人：胡祥龙;周岳兵;戴煜;许鹏;王艳艳 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本申请公开一种气相沉积装置，包括，壳体、料盘、传动轴组件以及驱动装置，其中，所述料盘设置在所述壳体的内腔，所述料盘用于承载工件；传动轴组件设置在所述料盘下方，与所述料盘连接；驱动装置设置在所述壳体外部，与所述传动轴组件远离所述料盘的一端连接，所述驱动装置被配置为：带动所述传动轴组件转动的同时使得所述传动轴组件沿轴向方向移动。本申请提供的气相沉积装置，相较于现有技术而言，可以提高工件表面沉积厚度的均匀性，提高工件表面质量。
一种沉积装置

[发明专利]一种沉积设备的工艺气源输入装置及其使用方法-CN202210983375.9在审
发明人：戴煜;胡祥龙;周岳兵;魏巍;肖乐 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种沉积设备的工艺气源输入装置及其使用方法，所述沉积设备的工艺气源输入装置包括气瓶和工艺气体输入组件，所述工艺气体输入组件包括储液罐、蒸发罐和混合罐，所述储液罐上设有储液进料管和储液出料管，所述蒸发罐上设有蒸发进料管和蒸发出料管，所述混合罐上设有：第一混合进料管、第二混合进料管和混合出料管；所述气瓶依次经第一开关组件与所述储液进料管连通，所述储液出料管依次经第二开关组件与所述蒸发进料管连通；所述蒸发出料管依次经第五开关阀、气体质量流量控制器与所述第一混合进料管连通；所述混合出料管经第七开关阀通入沉积反应室。与现有技术相比，采用本发明可实现工艺气体输入量的精准控制。
一种沉积设备工艺输入装置及其使用方法

[实用新型]一种高精度控温的沉积系统-CN202222244881.4有效
发明人：胡祥龙;戴煜;周岳兵;魏巍;肖乐;王艳艳 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度控温的沉积系统，沉积系统包括从内到外的沉积室、石墨坩埚、保温模块和外壳，石墨坩埚和保温模块间设置的加热器，还包括测温装置，所述石墨坩埚、保温模块和外壳的对应位置均设有孔，用于所述测温装置的插入；所述测温装置包括感温元件和热电偶，所述感温元件安装在所述石墨坩埚的孔中，所述热电偶从所述外壳、保温模块的孔中穿过后，所述热电偶的测量端与感温元件的一端接触，所述感温元件的另一端进入所述沉积室。本实用新型解决了沉积炉内温度的测量精确性有待提高的问题。
一种高精度沉积系统

[发明专利]一种应用于气相沉积设备的压力调控装置及其方法-CN202211056621.2在审
发明人：胡祥龙;戴煜;周岳兵;魏巍 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于气相沉积设备的压力调控装置及其方法，包括主进气调压管路、负载进气调压管路、主路阀门、旁路调节阀和真空计，沉积炉的进气口连接主进气调压管路，沉积炉的出气口通过主路阀门连接真空泵组，旁路调节阀连接所述主路阀门的两侧，负载进气调压管路连接所述主路阀门的进气口，所述主进气调压管路和负载进气调压管路均连接工艺进气端，沉积炉设有测量沉积炉内气压的真空计。本发明解决了沉积炉内工艺压力的长期稳定和精确可控的问题。
一种应用于沉积设备压力调控装置及其方法

[发明专利]一种高精度控温的沉积系统及其测温方法-CN202211026391.5在审
发明人：胡祥龙;戴煜;周岳兵;魏巍;肖乐;王艳艳 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度控温的沉积系统及其测温方法，沉积系统包括从内到外的沉积室、石墨坩埚、保温模块和外壳，石墨坩埚和保温模块间设置的加热器，还包括测温装置，所述石墨坩埚、保温模块和外壳的对应位置均设有孔，用于所述测温装置的插入；所述测温装置包括感温元件和热电偶，所述感温元件安装在所述石墨坩埚的孔中，所述热电偶从所述外壳、保温模块的孔中穿过后，所述热电偶的测量端与感温元件的一端接触，所述感温元件的另一端进入所述沉积室。本发明解决了沉积炉内温度的测量精确性有待提高的问题，并避免温度滞后的现象。
一种高精度沉积系统及其测温方法

[发明专利]一种真空保障及尾气处理集成系统及其使用方法-CN202211028836.3在审
发明人：戴煜;胡祥龙;周岳兵;魏巍;王艳艳 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空保障及尾气处理集成系统，其用于对炉体抽真空和对由炉体排出的尾气进行处理，包括抽真空装置和尾气处理装置；抽真空装置包括一级罗茨泵和二级罗茨泵，二级罗茨泵的一端与炉体相连，一级罗茨泵的一端分别连接有机械泵和液环泵；抽真空装置还包括安装于循环管道上且用于为液环泵降温的冷却循环系统。本发明还公开了一种真空保障及尾气处理集成系统，包括炉内压力控制方法和尾气处理方法。与现有技术相比，本发明将抽真空装置和尾气处理装置集成在一起，用于对炉体抽真空和对由炉体排出的尾气进行处理，能同时保证抽真空和尾气处理的效果和效率，保证排出的尾气满足环保的要求。
一种真空保障尾气处理集成系统及其使用方法

[发明专利]一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备-CN202011466959.6有效
发明人：胡祥龙;成双泉;周岳兵;周瑶 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C16/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备，MTS流量测量只需要利用MTS储罐外的电子称、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。方法包括：控制器通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度；控制器通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出；控制器通过电子称检测得到当前MTS流量；控制器计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值；控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。
一种 mts 工艺流量自动控制方法设备

[发明专利]一种气相沉积设备-CN202111494613.1在审
发明人：胡祥龙;周岳兵;王涛;张博;张昊;朱申;魏巍 -专利权人：航天特种材料及工艺技术研究所
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请公开了一种气相沉积设备，其特征在于，包括：壳体(1)，以及设置在所述壳体(1)内的沉积室(2)，所述沉积室(2)内还设有用于承托工件的料盘(3)，所述料盘(3)下方设有传动轴(4)，所述传动轴(4)远离所述料盘(3)的一侧伸出所述壳体(1)外侧与动力源连接，用于带动所述料盘(3)转动；所述料盘(3)还设有多个通孔(31)；所述沉积室(2)设有至少两个进气通道(21)。本申请提供的气相沉积设备，从沉积室不同的位置引入工艺气体，配合料盘的转动，使得位于料盘上的工件随之转动，均匀地接触由进气通道进入的工艺气体，从而保证工件各处沉积厚度的均匀性。
一种沉积设备

[实用新型]一种氮化硼气相沉积设备-CN202023121948.2有效
发明人：胡祥龙;周岳兵;戴煜;胡高健;王艳艳 -专利权人：湖南中科顶立技术创新研究院有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型涉及到一种氮化硼气相沉积设备，包括壳体，以及相互独立的第一导气管和第二导气管，所述第一导气管和所述第二导气管均与所述壳体的内腔相通；所述第一导气管用于传输BCl3气体，所述第二导气管用于传输NH3气体，所述第一导气管的外壁缠绕有加热带。该设备设计合理，能够有效维持氮化硼沉积过程中反应气体输送的稳定性，确保工件表面氮化硼的沉积质量，使工件的气相沉积生产工艺过程更加稳定可靠。
一种氮化硼气相沉积设备

[发明专利]一种气流旋转均匀的气相沉积装置-CN202011528145.0在审
发明人： 周岳兵;胡祥龙;戴煜;王艳艳 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种气流旋转均匀的气相沉积装置，包括用于进行气相沉积的反应釜以及与反应釜连通的进气通道和排气通道；反应釜内设有沉积室，沉积室的空腔是与反应釜同轴的圆柱体，沉积室与反应釜的壁之间依次设有发热体和炉胆保温层，沉积室内设有料盘，料盘通过料盘支撑柱连接在沉积室的底部；排气通道设在沉积室的顶部；料盘上均匀设有通气孔；进气通道包括奇数管道，每路管道包括进气口和进气管，进气口设置在反应釜的底部，进气口围绕着反应釜底面圆心呈对称分布，进气管在水平方向上与反应釜水平横截面呈10‑20°，进气管在竖直方向上呈40‑50°。用本发明的气相沉积装置制得的产品外观性状好，成品率高。
一种气流旋转均匀沉积装置

[实用新型]一种化学气相沉积装置-CN201922237894.7有效
发明人：胡祥龙;黄启忠;蔡昌海;周岳兵;刘庆敖 -专利权人：中南大学;湖南顶立科技有限公司;安徽弘昌新材料有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学气相沉积装置，包括：壳体，壳体内设置有沉积腔；置料板，置料板设置在沉积腔内，用于放置需要气相沉积的衬底；感应线圈，感应线圈设置在沉积腔内部且位于置料板下方，感应线圈用于产生感应磁场。本实用新型的化学气相沉积装置，根据多元耦合场沉积法的原理设计了一种化学气相沉积装置，主要用于板状件的化学气相沉积，感应线圈在电流的作用下产生变化的感应磁场通过置料板，使置料板产生感应电流发热，热量传递给衬底形成沉积所需要的温度。因为衬底处于感应磁场中，感应磁场吸引碳氢化合物裂解产生的自由基等粒子向衬底运动，增加了自由基等粒子与沉积表面的碰撞几率，从而使沉积速率得到了极大的提高。
一种化学沉积装置

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