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[发明专利]一种离子源的安装装置-CN201910969392.5有效
发明人： 周华佗 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01J9/18 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种离子源的安装装置，离子源包括起弧室的一开口侧设有一阴极电极，阴极电极一端具有开口，灯丝位于开口内并与阴极电极保持一定间距，阴极电极自起弧室的开口侧向内突出，安装装置包括：阴极夹，用于固定阴极电极；两个灯丝夹，分别用于固定灯丝的两端于起弧室外，以使灯丝与阴极电极保持间距；绝缘盘，绝缘盘的正面具有一第一定位结构，阴极夹的一端固定于第一定位结构上；绝缘盘的背面具有一第二定位结构，两个灯丝夹的一端固定于第二定位结构上。有益效果：减少灯丝的安装时间，并且能够防止螺钉松动或受热变形造成的灯丝偏移；便于调节阴极电极和灯丝的位置，从而保证其间距。
一种离子源安装装置

[发明专利]一种操作便捷的中药饮片制作装置-CN201810097698.1有效
发明人： 周华佗;梁楠 -专利权人：佛山市彬康药业有限公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： A61J3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种操作便捷的中药饮片制作装置，包括固定架和可竖向滑动的压杆，固定架上有与压杆同轴设置的刀架，压杆上有螺旋设置的凸轮槽，刀架上有推杆，推杆置于凸轮槽内；刀架上有圆周分布的多个水平刀片，固定架上有圆周分布的多个出料孔和多个进料孔，出料孔置于水平刀片下方，进料孔置于水平刀片上方；固定架上有多个进料筒，进料筒的内孔与进料孔一一同轴连通，进料筒的中部有与进料筒的内孔同轴设置且内径相等的环形圈，进料筒上设有与环形圈匹配的水平滑槽，环形圈可滑动地置于水平滑槽内，环形圈上有向压杆方向滑动贯穿进料筒的直杆，压杆上有与进料筒一一对应的多个伸缩杆，伸缩杆的一端铰接在压杆上，伸缩杆的另一端铰接在直杆上。
一种操作便捷中药饮片制作装置