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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]旋转光刻机-CN201110036695.5有效
  • 袁志扬;吴小传 - 上海微电子装备有限公司
  • 2011-02-12 - 2012-08-15 - G03F7/20
  • 本发明提供一种旋转光刻机，所述旋转光刻机包括：主框架；用以承载硅片的硅片台，所述硅片台设置于所述主框架内；用以将曝光图形成像于硅片上的曝光装置，所述曝光装置与所述主框架连接；所述硅片台绕其中轴作水平旋转；所述曝光装置沿所述硅片台作水平向移动。本发明提供的旋转光刻机减小了光刻机机台尺寸，进一步的，减少了生产空间的占用，降低了生产成本。
  • 旋转光刻
  • [发明专利]平衡质量体-CN201010592538.8无效
  • 王天明;吴小传 - 上海微电子装备有限公司
  • 2010-12-16 - 2012-07-04 - F16F15/28
  • 本发明提出一种平衡质量体，用于减震台中，放置在工件台与基础框架之间用于消除工件台运动对基础框架产生的反作用力。平衡质量体包括壳体和液体，液体充满壳体中。其中所述液体的密度大于等于13.6g/cm3。本发明提出的平衡质量体，在相同质量的情况下，体积小，节约空间，节约壳体材料，节约生产成本。且高密度的液体阻尼大，可以更好的隔离振动，甚至完全隔离振动，以保证基础框架的稳定性。本发明所提供的平衡质量体还能够减少温度变化对于其自身体积的影响，降低系统误差。
  • 平衡质量
  • [发明专利]双工件台夹持机构-CN201010575399.8有效
  • 袁志扬;李巍;吴小传 - 上海微电子装备有限公司
  • 2010-12-06 - 2012-06-06 - H01L21/687
  • 本发明的双工件台夹持机构包括静夹头、设置在所述静夹头下方的动夹头、设置在所述动夹头下方的夹持装置，以及驱动所述夹持装置动作的驱动装置，所述夹持装置推动所述动夹头与所述静夹头夹紧或松开，负载通过板簧与所述动夹头固定连接，其特征在于，还包括防护结构，所述防护结构包括所述静夹头一端设有的挂钩和所述动夹头顶端设有的凸起，所述挂钩插在所述凸起内，使所述动夹头和静夹头连接在一起。本发明的双工件台夹持机构能避免被动夹持力失效时负载碰撞夹持机构。
  • 双工夹持机构
  •  1 
  • 共 4 条
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