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[发明专利]结晶ITO薄膜的制备方法、On‑cell型触控面板的制备方法-CN201710842690.9在审
发明人： 吕绍卿 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-09-18 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： G02F1/1343 文献下载
摘要：本发明公开了一种结晶ITO薄膜的制备方法，用于在液晶面板上制备形成结晶ITO薄膜，所述制备方法包括应用沉积工艺，在彩膜基板的背离液晶层的表面上制备形成非结晶ITO薄膜；在预设温度下，应用准分子激光退火工艺，使所述非结晶ITO薄膜晶化，获得结晶ITO薄膜。本发明还公开了一种On‑cell型触控面板的制备方法，包括制备形成触控感应电极层的步骤，具体包括应用沉积工艺，在彩膜基板的背离液晶层的表面上制备形成非结晶ITO薄膜；应用光刻工艺，将所述非结晶ITO薄膜刻蚀形成图案化的触控感应电极；在预设温度下，应用准分子激光退火工艺，使图案化的触控感应电极对应的非结晶ITO薄膜晶化形成结晶ITO薄膜。
结晶 ito 薄膜制备方法 on cell 型触控面板

[发明专利]LTPS阵列基板及内嵌式触摸屏-CN201710607834.2在审
发明人： 吕绍卿 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： G02F1/1368 文献下载
摘要：本发明提供一种LTPS阵列基板，包括玻璃基板、制备于玻璃基板表面的缓冲层、制备于缓冲层表面的栅绝缘层、制备于栅绝缘层表面的间绝缘层，间绝缘层表面形成有源极金属、漏极金属与连接源极金属的数据线，还包括位于间绝缘层之上的平坦化层；以及保护层，制备于间绝缘层表面，且覆盖源极金属、漏极金属、数据线以及触控信号连接线，平坦化层制备于保护层表面；有益效果为本发明提供的LTPS阵列基板，通过制备保护层将薄膜晶体管的源/漏极金属与平坦化层隔绝，进而保护源/漏极金属免受水汽腐蚀。
ltps 阵列内嵌式触摸屏