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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]真空泵及控制装置-CN202180081850.7在审
发明人： 吉野慎一;武田昌之;宫坂直树 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供通过在泵侧进行为了抑制堆积物从工艺气体的析出所进行的配管的加热器控制以及进行堆积物的除去的沉积物捕集器的冷却控制而实现成本降低及节省空间、并且通过进行与工艺气体的状况对应的加热器控制及冷却控制而带来节能的真空泵及控制装置。在导入管(3H)的外周或内周配设有温度传感器，由该温度传感器检测到的温度信息(31)被输入到控制装置(200)。从沉积物捕集器(7)的内部检测到的温度信息(33)也被输入到控制装置(200)。在控制装置(200)中，基于被输入的温度信息(31)对加热器(4B)进行开启关闭控制，以使导入管(3H)的温度成为规定的温度值。在控制装置(200)中，基于被输入的温度信息(33)对阀(13)进行开闭控制，以使沉积物捕集器(7)的内部的温度成为规定的冷却温度值。
真空泵控制装置

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