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[发明专利]一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置-CN202310658725.9在审
发明人：黄遵翔;付怀友;夏礼飞;赵曾应 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及半导体匀气板生产设备领域，且公开了一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置，包括匀气板，匀气板包括第一匀气层，第一匀气层的下方固定连接有第二匀气层。清理组件、移动组件、去毛刺组件和调节组件的使用，使得设备可以对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层和第四匀气层进行开孔毛刺去除和打磨工作，进而可以提高设备的功能性，而第一传动轮、第一传动带、第一蜗轮、第二传动轮、第二螺纹杆、第四传动轮、第二传动带、第二旋转板、第三传动带、第二旋转板、第一伸缩板和第六传动轮的使用，使得设备在进行开孔毛刺去除和打磨工作的过程中，无需添加其他设备，从而可以提高设备的节能性。
一种半导体匀气板生产工艺及其毛刺去除装置

[发明专利]一种半导体零部件表面处理设备-CN202310557577.1在审
发明人：王永东;夏礼飞;黄遵翔 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体零部件表面处理设备，具体涉及半导体零件表面处理技术领域，本发明由联动夹持机构进对多个半导体零部件行夹持固定，提高装夹效率，由驱动轴驱动安装板匀速转动，从而带动多个半导体零部件运动，均匀对半导体零部件的不同角度进行喷淋冲洗，提高半导体零部件表面的清洗效率，之后滑座带动半导体零部件进入到热风风干室内，安装板仍处于转动状态，对半导体零部件旋转风干，提高半导体零部件与热风的接触速率以及均匀程度，到达热风风干室的出口末端时，安装板带动连接板转动180度，承载部在半导体零部件的上方，联动夹持机构打开使得多个半导体零部件掉落在输送带上，实现半导体零部件表面的自动化输送。
一种半导体零部件表面处理设备

[发明专利]一种酸蚀液及其应用-CN202210651260.X有效
发明人：许杰;王益宝;夏礼飞 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C23F1/16 文献下载
摘要：本发明属于电解法除外的化学法金属材料清洗及除油技术领域，涉及一种酸蚀液及其应用。针对现有技术中酸蚀液酸度过高，易导致气体扩散器等化学气相沉积工艺部件扩孔变大，不均匀性增加，寿命降低，而酸度过低导致聚集异物清洗不完全，影响终产品质量的技术问题，本申请提供一种酸蚀液，能清洁干净部件的同时，降低扩孔大小，减小不均匀性，提高使用寿命。本申请还提供了一种酸蚀液的应用，能有效清洗化学气相沉积工艺部件，缩短清洗时间。
一种酸蚀液及其应用

[发明专利]一种半导体加工用真空吸附系统及其控制方法-CN202211495744.6有效
发明人：徐方;夏礼飞;孙德付;刘露明 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种半导体加工用真空吸附系统，包括真空发生模块和工装吸附模块；真空发生模块包括空气压缩机、储气罐、受控阀和真空发生器；空气压缩机与储气罐连接，储气罐与受控阀连接，受控阀与真空发生器连接；工装吸附模块与真空发生器连接，用于在空气压缩机启动和受控阀打开时，吸附固定待加工元件；可在对待加工元件进行固定之前，启动空气压缩机向储气罐中冲入大量气体，之后可将待加工元件放置在工装吸附模块上，然后控制受控阀打开，由储气罐作为真空发生器的负压动力源，从而使得工装吸附模块能够对待加工元件进行吸附固定，从而实现对各种不同待加工元件的快捷稳定的固定。
一种半导体工用真空吸附系统及其控制方法

[发明专利]一种半导体陶瓷部件清洗装置及其清洗工艺-CN202211381875.1有效
发明人：李斐;夏礼飞;孙德付;王益宝;陈磊;张高伟 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体陶瓷部件清洗装置及其清洗工艺，装置包括：超声清洗槽、移动板、环形喷气管、弧形喷水管、电热丝，工艺包括：S1、碱液浸泡；S2、一次热水浸泡；S3、喷砂作业；S4、化学浸泡；S5、二次热水浸泡；S6、过硫酸铵浸泡；S7、三次热水浸泡；S8、混酸浸渍；S9、四次热水浸泡；S10、一次超声清洗；S11、高压冲洗；S12、二次超声精洗；S13、N2吹拭；S14、真空干燥。本发明能够代替人工对半导体陶瓷部件进行高效稳定的清洗，并能够通过多种清洗方式依次进行清洗，不需要人工参与即可完成，整体清洗效率高，操作便捷，整个过程不需要人工参与，具有较强的实用性；清洗后的半导体陶瓷件质量并不会降低，延长其使用寿命。
一种半导体陶瓷部件清洗装置及其工艺

[实用新型]一种长腔体类产品加工治具-CN202222312629.2有效
发明人：黄遵翔;夏礼飞;付怀友;赵曾应 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及治具技术领域，尤其是一种长腔体类产品加工治具，包括两个治具板，两个所述治具板分别位于长腔体产品两外侧，所述治具板沿长腔体产品长度方向设置，所述治具板沿其长度方向开设有若干个排屑孔，治具板开设有若干个位置与长腔体产品的螺纹孔对应的固定孔，治具板通过固定螺栓固定在长腔体产品外侧面，所述固定螺栓螺纹部穿过所述固定孔与所述长腔体产品的螺纹孔螺纹连接。本装置可以有效降低加工产品时腔体产品变形的的问题，起到保护产品、降低产品被划伤的可能性，同时在治具板设置排屑孔，方便结工时的排屑，通过两块治具板的灵活使用实现重复定位，加工产品侧边时取下一个治具板，使用另一侧的治具板进行定位即可。
一种长腔体类产品加工

[实用新型]一种用于定位工件的真空吸盘结构-CN202222297197.2有效
发明人：黄遵翔;夏礼飞;付怀友;赵曾应 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械加工设备技术领域，尤其是一种用于定位工件的真空吸盘结构，包括定位平台，还包括若干个定位板，所述定位平台具有负压腔、负压吸孔，所述负压吸孔连接有吸气设备，所述定位平台顶面开设有若干个与负压腔连通的阶梯孔，每个所述阶梯孔均安装有一个常闭的阀体件，所述阀体件封堵所述阶梯孔，所述定位板底面设有用于打开所述阀体件并负压吸附在定位平台上的吸附组件。本装置固定方式简单，加快整个机加工的效率，降低工人操作难度。
一种用于定位工件真空吸盘结构

[发明专利]一种光伏加热板及其加工方法-CN202211508071.3在审
发明人：孙德付;许杰;王益宝;夏礼飞 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种光伏加热板及其加工方法，该加热板，包括板体，所述板体上由外向内依次设置有外区、中区和内区，所述外区、中区和内区上均设置有加热丝，加热丝呈首尾相连的盘管形状，所述外区、中区和内区上的加热丝分别呈现不同的盘管造型；该加热板的加工方法，包括以下步骤:步骤一、对铝板进行预处理，并在铝板上进行管路加工；步骤二、对管路进行压实；步骤三、用铝条填充管路；步骤四、对焊接后的加热板进行真空抽取并达到设定的真空度；步骤五、对焊接好的加热板进行后处理，后处理完成后对产品进行检验，经检验合格后包装即可。
一种加热及其加工方法

[实用新型]一种适用于气体扩散器清洗的超声脱脂槽体-CN202221372657.7有效
发明人：许杰 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体扩散器清洁领域，具体公开了一种适用于气体扩散器清洗的超声脱脂槽体，包括清洁槽体，所述清洁槽体内设置有清洁液，所述清洁槽体内安装有超声波组件，每个所述超声波震板上设置有多个震子，所述清洁槽体的两端分别设置有进出料机构，所述进出料机构包括两个支撑框，所述支撑框的一侧竖直转动连接有控制螺杆，所述支撑框的底部设置有支撑卡板；本实用新型通过在清洁槽体内安装超声波组件，通过超声波组件对清洁液药液震动，能够持续流动交换，有效的清除油污及其他杂质，活化表面沉积物，并通过设置进出料机构，通过支撑框的上下移动，去除其孔洞中的气泡，提高清洁效率。
一种适用于气体扩散器清洗超声脱脂

[实用新型]一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置-CN202221534602.1有效
发明人：许杰;王益宝;夏礼飞 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及高压冲洗设备技术领域，尤其是一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置，包括冲洗箱，所述冲洗箱转动连接有支撑架，所述支撑架位于冲洗箱内部的一端固定安装有轴线水平设置的C形支架，所述C形支架上固定安装有若干个呈圆环形分布且喷射端指向轴线的高压喷头，所述高压喷头连接有高压水泵，所述支撑架位于冲洗箱外部的一端连接有带动其正、反转运动的动力机构，所述冲洗箱内位于所述支撑架的上方转动连接有部件悬挂架，所述部件悬挂架传动连接有旋转电机。通过本装置能够对不锈钢部件进行全方位且高效率的冲洗，降低工人劳动强度。
一种适用于刻工不锈钢部件高压冲洗装置

[发明专利]一种半导体器件电弧熔射工艺及其智能熔射装置-CN202211220394.2在审
发明人：许杰;孙德付;王益宝;夏礼飞 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体器件电弧熔射工艺及其智能熔射装置，工艺包括：S1、膜层去除；S2、喷砂作业；S3、一次高压清洗；S4、一次烘干检测；S5、熔射作业；S6、二次高压清洗；S7、二次烘干检测。装置包括：底板、加工仓、角度调节框、熔射机。本发明相比于传统的电弧熔射工艺工序少，且生产出的半导体器件质量并不会降低，同时减少了生产成本，提高了生产效率，具有较强的实用性；整体设有多种加工模块，功能齐全，能够完成多种工序，实际生产过程中不需要再对工件进行转移，减少了从业人员的劳动强度，并且整体装置联动性强，仅需少量驱动即可控制多个模块工作，自动化程度高。解决了工艺复杂，成本高，加工装置多样，人员劳动强度高的问题。
一种半导体器件电弧工艺及其智能装置

[实用新型]一种CNC加工通用工装底板-CN202221489914.5有效
发明人：许杰 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及CNC加工技术领域，尤其是一种CNC加工通用工装底板，包括安装在CNC工作平台上的支撑板、若干个连接在支撑板上用于定位待加工产品的定位螺栓，所述支撑板上开设有若干个呈矩阵式分布的第二螺纹孔，所述支撑板开设有若干个阶梯通孔，每个所述阶梯通孔对应插设有一个内六角螺钉，所述CNC工作平台的T形槽内安装有T形块，所述T形块开设有第一螺纹孔，所述内六角螺钉底端螺纹连接在所述第一螺纹孔内。本装置工装固定孔选择性增加，工装大小可根据产品，无需考虑孔距做大，设备行程内可同时安装多个工装，减少更换工装的辅助时间，简单产品可无需制作工装直接安装在此底板上，可换性强，并且支撑板的安装也简单方便。
一种 cnc 加工通用工装底板

[实用新型]一种磨床用非金属产品的工装夹具-CN202221686759.6有效
发明人：刘露明;徐方 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及磨床夹具技术领域，尤其是一种磨床用非金属产品的工装夹具，包括底支撑板，所述底支撑板上部固定安装有背支撑板，所述底支撑板上部滑动连接有能够靠近或者远离背支撑板的支撑块，所述支撑块与背支撑板之间设有铁块，所述铁块抵靠在支撑块靠近背支撑板的一面，所述铁块远离支撑块的一面与所述背支撑板楔形配合，所述铁块与底支撑板之间设有上下调节组件，调节所述铁块上下位置以改变所述支撑块与所述背支撑板的距离，所述支撑块远离背支撑板的一侧固定安装有夹头。通过此种方式调节夹头对产品的夹紧力，使用起来简单方便。
一种磨床非金属产品工装夹具

[实用新型]一种大面积面板产品专用的阳极挂具-CN202221372245.3有效
发明人：许杰 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C25D21/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及挂具技术领域，尤其是一种大面积面板产品专用的阳极挂具，包括两个挂具组件、用于悬挂挂具组件的横杆，所述挂具组件包括挂具头，所述挂具头悬挂在所述横杆上，所述挂具头固定安装有一个连接竖杆，所述挂具头包括水平杆部，所述水平杆部一端底部一体成型有短杆部，所述水平杆部另一端底部一体成型有长杆部，所述连接竖杆固定在所述长杆部上，所述长杆部内侧面设有楔形夹紧组件，所述挂具头通过所述楔形夹紧组件夹紧在所述横杆上。本装置在挂具头上设置楔形夹紧组件，悬挂的时候，提高挂具头与横杆连接的稳定性，有效降低移动槽位时面板产品晃动的程度，避免产品因晃动产生磕碰的问题。
一种大面积面板产品专用阳极

[实用新型]一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置-CN202221557039.X有效
发明人：许杰;王益宝;刘军红 -专利权人： 合肥升滕半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及超声清洗装置技术领域，尤其是一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，包括超声清洗箱，所述超声清洗箱内转动连接有轴线水平设置的圆盘支架，所述超声清洗箱外安装有带动圆盘支架缓慢转动的旋转电机，所述旋转电机连接有控制其进行反复正、反转及持续正转或者持续反转的控制开关，所述圆盘支架上安装有若干个悬挂杆，至少部分所述悬挂杆位于液位以上。本装置工作时不需要停机，整个过程连续不断，并且工人方便进行检查。
一种适用于刻工不锈钢部件超声清洗装置

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