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[发明专利]一种TiAlWN涂层及其制备方法与应用-CN202210599330.1有效
发明人：吴正涛;何晓韬;叶榕礼;王启民 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种TiAlWN涂层及其制备方法与应用，该TiAlWN涂层为纳米层状结构；纳米层状结构的单层厚度为2.5nm‑6nm；TiAlWN涂层的Ti原子百分比为7％～25％，Al原子百分比为12％～30％，W原子百分比为6％～20％，N原子百分比为40％～65％；TiAlWN涂层的N/(Ti+Al+W)原子数比值为1.03～1.30。本发明提供了一种高硬度、高韧性、抗高温氧化、耐磨、切削性能优异的低应力TiAlWN涂层；该TiAlWN涂层通过同时利用磁控溅射WTi靶材或W靶材，和电弧蒸发AlTi靶材的复合沉积方法制备得到；该TiAlWN涂层可广泛应用于金属表面处理或金属加工中。
一种 tialwn 涂层及其制备方法应用

[发明专利]一种TiCN涂层及其制备方法与应用-CN202210598245.3在审
发明人：吴正涛;丁文博;叶榕礼;王启民 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种TiCN涂层及其制备方法与应用，该TiCN涂层的组元含量Ti/(Ti+C+N)原子比为35％～65％，C/(C+N)原子比为20％～70％；TiCN涂层的磨损率为1×10‑16m3/(N·m)‑13×10‑16m3/(N·m)。本发明提供的TiCN涂层硬度和弹性模量高，膜基结合强，摩擦系数小，磨损率低，具有优异的力学性能；该TiCN涂层的制备方法可通过调节共溅射Ti靶材功率或复合沉积金属靶材电流密度，从而调节Ti含量，继而实现对TiCN涂层中C、N含量的可控调节，且不引入H元素，该制备方法简单高效，可进行工业化生产；本发明提供的TiCN涂层可广泛应用于金属表面处理或金属加工中。
一种 ticn 涂层及其制备方法应用

[发明专利]一种阴极电弧蒸发制备低残余应力、长切削寿命涂层的制备方法-CN202111590494.X在审
发明人：吴正涛;叶榕礼;王启民;李海庆 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明涉及物理气相沉积涂层及其制备方法技术领域，且公开了一种阴极电弧蒸发制备低残余应力、长切削寿命涂层的制备方法，包括以下步骤：步骤一、将基体进行机械研磨、抛光、清洗处理；步骤二、使用阴极电弧蒸发电源，于基体前电弧蒸发金属靶材，采用加载高低交替变化偏压或通入N2分压高低交替变化的气氛的方法，沉积制备氮化物涂层。
一种阴极电弧蒸发制备残余应力切削寿命涂层方法

[发明专利]一种Ti-B-N纳米复合涂层及其制备方法-CN202111195151.3在审
发明人：吴正涛;叶榕礼;王启民;李海庆 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种Ti‑B‑N纳米复合涂层及其制备方法，涉及过渡金属硼氮化物涂层的制备方法领域。本发明提供了一种Ti‑B‑N纳米复合涂层的制备方法，包括如下步骤：(1)将基体进行机械研磨、抛光、清洗处理；(2)使用高功率脉冲磁控电源，在基体上溅射TiB2靶，得到Ti‑B‑N纳米复合涂层。本发明通过控制脉冲宽度、N2的体积流量，采用HiPIMS制备得到硬度高、且具有nc‑TiN、nc‑TiB2纳米复合结构的TiBx涂层。
一种 ti 纳米复合涂层及其制备方法