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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种基于双光子吸收效应的光学定位及加工方法-CN201910981089.7有效
发明人：顾忠泽;丁海波;顾洪成;卫孟萧 -专利权人：东南大学
申请日： 2019-10-16 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双光子吸收效应的光学定位及加工方法，包含以下步骤：(1)向目标器件表面及内部灌注光刻胶；(2)通过激光逐点扫描目标器件及光刻胶部分，同步获取扫描范围内各点的荧光信号；(3)根据平移台扫描范围及相应位置采集的荧光信号，建立三维坐标系来区分目标器件和光刻胶；(4)根据建立的目标器件和光刻胶的荧光图像，确定目标加工区域并实施双光子聚合加工；(5)将目标器件连光刻胶一起浸入显影液中，去除未聚合的光刻胶，完成加工。本发明以双光子吸收效应为基础，实现微纳米精度的光学成像和增材制造；针对目标器件和材料，通过同一套扫描控制系统，实现高精度定位和原位加工，提高了装配精度和加工效率。
一种基于光子吸收效应光学定位加工方法

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