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[发明专利]基材搬运手、基材搬运装置及基材搬运方法-CN202280006749.X在审
发明人：金光日;卢芝焕;金兑炅 -专利权人：韩华株式会社
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B66F9/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种搬运手、包括该搬运手的基材搬运装置及利用该基材搬运装置的基材搬运方法。根据本发明的一实施例的搬运手作为从相对装置接收基材或将基材传送到所述相对装置的搬运手，包括：手体；手驱动电机，设置于所述手体的一侧；导向部，随所述手驱动电机而移动；推动件，设置于所述导向部的一侧以对所述基材加压；及夹持部，设置于所述手体的另一侧以保持所述基材的位置，其中，若所述手驱动电机操作，则所述导向部移动的同时所述推动件和所述夹持部联动地操作。
基材搬运装置方法

[发明专利]基材搬运手、基材搬运装置及基材搬运方法-CN202280006765.9在审
发明人：金光日;卢芝焕;金东贤;金兑炅 -专利权人：韩华株式会社
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B66F9/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种基材搬运装置及利用该基材搬运装置的基材搬运方法。根据本发明一实施例的基材搬运装置作为从相对装置接收基材或者将基材传送到所述相对装置的装置，包括：无人搬运车，沿着预定路径移动；本体，设置在所述无人搬运车上；及搬运手，设置于所述本体的内部且至少一部分向所述本体的外部突出，装载或卸载所述基材，并且在一侧设有定位传感器，所述定位传感器检测设置在所述相对装置上的标记以确认与所述相对装置的位置差，其中，根据所述定位传感器所确认的位置差而校正所述搬运手的位置。
基材搬运装置方法