专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种无氟清洗剂、其制备方法及应用-CN202310699251.2在审
  • 张爱强;陈婷;马克·奈舍;卢聪杰;罗松松;赖委舜 - 嘉庚创新实验室
  • 2022-01-17 - 2023-09-12 - C11D7/32
  • 本发明提供了一种无氟清洗剂、其制备方法及应用,所述无氟清洗剂为水性清洗剂;所述无氟清洗剂包括水、有机溶剂与胺类化合物;所述有机溶剂的质量为无氟清洗剂质量的15%~85%;所述胺类化合物的质量为无氟清洗剂质量的5%~50%;还包括腐蚀抑制剂、酸与醇类化合物中的一种或多种。与现有技术相比,本发明提供的无氟清洗剂通过特定的胺类化合物与腐蚀抑制剂、酸及醇中的一种或多种协同作用在不含有氟元素的情况下也具有较好的清洗能力,同时还可降低清洗液对金属的腐蚀,防止对基底介质产生破坏,提高清洗后晶圆的耐候性。与现有同类产品比,本发明提供的无氟清洗剂具有降低清洗温度、清洗时间以及更高性价比等明显优势。
  • 一种无氟清洗剂制备方法应用
  • [发明专利]一种无氟清洗剂、其制备方法及应用-CN202210048666.9有效
  • 张爱强;陈婷;马克·奈舍;卢聪杰;罗松松;赖委舜 - 嘉庚创新实验室
  • 2022-01-17 - 2023-07-04 - C11D1/22
  • 本发明提供了一种无氟清洗剂,所述无氟清洗剂为水性清洗剂;所述无氟清洗剂包括水、有机溶剂与胺类化合物;所述有机溶剂的质量为无氟清洗剂质量的15%~85%;所述胺类化合物的质量为无氟清洗剂质量的5%~50%;还包括腐蚀抑制剂、酸与醇类化合物中的一种或多种。与现有技术相比,本发明提供的无氟清洗剂通过特定的胺类化合物与腐蚀抑制剂、酸及醇中的一种或多种协同作用在不含有氟元素的情况下也具有较好的清洗能力,同时还可降低清洗液对金属的腐蚀,防止对基底介质产生破坏,提高清洗后晶圆的耐候性。与现有同类产品比,本发明提供的无氟清洗剂具有降低清洗温度、清洗时间以及更高性价比等明显优势。
  • 一种无氟清洗剂制备方法应用

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