“北京晨晶电子有限公司”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果89个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种多层掩膜层结构及其制备方法和MEMS器件-CN202010066075.5有效
发明人：梁立兴;朱京;张琳琳;裴志强 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层掩膜层结构，包括基层，以及依次层叠设置于所述基层上的至少三层掩膜层，其中第n+1掩膜层的厚度为第n掩膜层的厚度的1.2‑3倍。本发明还公开了上述多层掩膜层结构的制备方法，首先对基层进行清洗工艺和干燥工艺；然后在基层上镀覆三层或以上掩膜层，每次镀覆完成用特定的退火参数进行退火。本发明还公开了由上述多层掩膜层结构制得的MEMS器件。本发明通过多层掩膜层的多膜层间相对厚度及制备方法中各工艺过程参数设计着手，在保证多层掩膜层的抗腐蚀能力，避免发生起皮、脱层或粘附不牢固现象的同时，可以有效避免后续光刻‑刻蚀的图形定义释放刻蚀过程中极其容易出现不同图形层的串层刻蚀与侧蚀均匀性问题。
一种多层掩膜层结构及其制备方法 mems 器件

[发明专利]一种焊接密封系统及焊接密封工艺-CN202010105701.7有效
发明人：陶硕;裴志强;朱京;梁立兴;张琳琳;廖兴才 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2020-02-20 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种焊接密封系统，包括填气模块、烘烤模块、焊接模块和传送模块，能够实现器件内部小于100PPM的水汽含量，并且可以控制封装体内部气压，精度在±500Pa以内，保证回填工艺气体纯度高于99.5％，适用于储能焊密封等军工特种工艺的密封要求。焊接密封系统的四个模块之间既可以独立运行，又可以协同工作，自动化程度高，能满足量产化需求。本发明公开了一种焊接密封工艺，应用上述的焊接密封系统，能够实现低水汽、高纯度工艺气体的储能焊密封。
一种焊接密封系统工艺

[发明专利]一种陀螺仪的零偏校准方法及装置-CN202211552406.1在审
发明人：张祐齐;李娜;张永斌;汤一;张萌;王森 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种陀螺仪的零偏校准方法及装置，包括：在静态状态下，响应于零偏校准指令，计算当前使用环境下的常值零位；根据当前使用环境下的常值零位与零偏指标合格判定阈值之间的大小关系判断是否需要更新零偏补偿值；若是，则更新零偏补偿值，并在工作状态下，基于更新后的零偏补偿值对角速度测量值进行校准，得到第一类角速度输出值。本发明不需要每次都对零偏补偿值进行更新，只有在判断常值零位与上述零偏指标合格判定阈值满足一定的大小关系时，才更新零偏补偿值，节省了时间成本，提高了陀螺仪的工作效率。进一步地，上述零偏指标合格判定阈值可根据实际需求灵活设置，使得校准过程能够适用于更广泛的应用场景。
一种陀螺仪校准方法装置

[发明专利]一种振动陀螺元件、陀螺传感器及电子设备-CN202010301172.8有效
发明人：朱京;张琳琳;廖兴才;裴志强;梁立兴 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明公开了一种振动陀螺元件、陀螺传感器及电子设备，该振动陀螺元件包括：基部，包括分别设置于所述基部一端的一对驱动臂和另一端的一对检测臂；第一凹槽，开设于所述驱动臂相对应的第一表面和第二表面；所述第一凹槽的两侧槽壁沿所述驱动臂的延伸方向形成夹角C；第一电极，设置于所述第一凹槽。如此设置，可以使第一凹槽槽壁与驱动臂之间的宽度不相等，使得驱动臂工作模态应力分布更加均匀，可以保证在增加槽部结构后，能够提升驱动效率。并且，在驱动臂振动时，应变较大的部分具有更大的宽度，可以避免小的凹槽厚度在施加大的应变时发生微小扭曲等非理想形变，从而避免引入结构噪声，提高信噪比。
一种振动陀螺元件传感器电子设备

[发明专利]双轴石英微机械陀螺仪-CN202011125854.4有效
发明人：魏景辉;韩雪飞;汤一;孙正富;张永斌;廖兴才;张祐齐;武东;要彦清 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2020-10-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01C19/5783 文献下载
摘要：本发明涉及微机械陀螺仪技术领域，提供了一种双轴石英微机械陀螺仪。该双轴石英微机械陀螺仪，包括第一陀螺法兰、第一减振体、第一石英微机械表芯、第二陀螺法兰、第二减振体和第二石英微机械表芯，所述第一减振体设于所述第一陀螺法兰内，所述第一石英微机械表芯设于所述第一减振体内，所述第二减振体设于所述第二陀螺法兰内，所述第二石英微机械表芯设于所述第二减振体内，所述第一陀螺法兰的第一端与所述第二陀螺法兰的第一端连接，所述第一减振体与所述第二减振体正交垂直设置。本发明实现分别对第一石英微机表芯和第二石英微机表芯的轴向减振效果，提高减振性能。
石英微机陀螺仪

[发明专利]石英音叉陀螺电路及陀螺仪-CN202011416935.X有效
发明人：齐芳艺;汤一;张永斌;韩雪飞;张祐齐;廖兴才;王松杰 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明提供一种石英音叉陀螺电路及陀螺仪，所述石英音叉陀螺电路包括：驱动子电路、检测子电路和开关子电路；所述开关子电路分别与所述驱动子电路和所述检测子电路连接；所述开关子电路用于产生控制所述驱动子电路和所述检测子电路分时工作的控制信号；驱动子电路和检测子电路分时工作。本发明提供的石英音叉陀螺电路及陀螺仪，通过开关子电路将驱动信号和检测信号在时间空间上隔离，从而消除驱动电压信号对拾取电极的静电耦合。驱动信号加载的周期内不进行检测信号的拾取，检测的周期内不加载驱动信号，从时间上彻底错开了驱动和检测之间的静电耦合，能够将静电耦合误差彻底消除。
石英音叉陀螺电路陀螺仪

[发明专利]传感器的敏感结构、传感器、传感器制备方法-CN202310151925.5在审
发明人：吴黎明;张梦婷;舒峻峰;沈欣;张学红;王春赟;田珂珂;刘慧芳 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种传感器的敏感结构、传感器、传感器制备方法，属于传感检测技术领域，包括：经一体成型制备的线型的芯体、设置在芯体上的音叉振梁；芯体包括传感检测部、第一隔离部、第二隔离部；传感检测部包括挠性梁；第一隔离部与刚性件背离挠性梁的另一端相邻接；第二隔离部与摆件背离挠性梁的另一端相邻接；音叉振梁搭设在挠性梁的两侧；芯体材质为硅化合物。本发明通过一体成型制备材质为硅化合物的芯体，能够有效克服当采用多种材料制备时存在的热膨胀系数无法完全匹配的缺陷，且通过隔离部实现有效隔离热应力，从而提高传感器的敏感结构的全温稳定性，提高测量精度。
传感器敏感结构制备方法

[发明专利]传感器的敏感结构、传感器、传感器制备方法-CN202310151944.8在审
发明人：吴黎明;张梦婷;舒峻峰;沈欣;张学红;王春赟;田珂珂;刘慧芳 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种传感器的敏感结构、传感器、传感器制备方法，属于传感检测技术领域，包括：经一体成型制备的线型的芯体、设置在芯体上的音叉振梁、设置在芯体上的上阻尼板及下阻尼板；芯体包括传感检测部、第二隔离部；传感检测部包括位于刚性件和摆件之间的挠性梁；第二隔离部与摆件背离挠性梁的另一端相邻接；音叉振梁搭设在挠性梁的两侧；上阻尼板的固定部和下阻尼板的固定部对设于第二隔离部的两侧；上阻尼板的悬空部和下阻尼板的悬空部向摆件一侧延伸；芯体材质为硅化合物。本发明通过在芯体上设置上阻尼板及下阻尼板，有效提高摆件的气膜阻尼系数，避免摆件受到过大冲击时导致挠性梁过冲损坏的情况发生，提高敏感结构的工作寿命。
传感器敏感结构制备方法

[发明专利]晶体谐振器和晶体振荡器-CN202111582799.6在审
发明人：赵黎明;张琳琳;裴志强;谷华峰;王天宇;郄立伟;王颖;尚帅;李永增 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：本发明属于电子器件技术领域，提供一种晶体谐振器，包括石英晶片和设置在石英晶片两侧的电极组件，电极组件用于为石英晶片的工作部提供空间电场，电极组件包括第一电极组件，第一电极组件设置在石英晶片的顶部，第一电极组件的底部与石英晶片的工作部对应的位置与石英晶片的工作部的顶部之间设置有间隙，因此，第一电极组件的重量不会压在石英晶片的工作部上，消除了石英晶片的外加质量负载，可以提高本发明提供的晶体谐振器的Q值，使生产300MHz以上的高基频产品成为可能。进一步，本发明提供的晶体振荡器，具有如上所述的晶体谐振器，因此，具有与如上所述相同的优势。
晶体谐振器晶体振荡器

[发明专利]应用于传感器的应用程序和系统参数的控制方法及装置-CN202111582802.4在审
发明人：张祐齐;张永斌;汤一;韩雪飞;王松杰;张旭东;刘松;廖兴才 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G06F9/30 文献下载
摘要：本发明提供一种应用于传感器的应用程序和系统参数的控制方法及装置，所述方法包括：根据系统参数确定目标应用程序；所述系统参数存储于嵌入式内存的第一区域；所述应用程序存储于所述嵌入式内存的第二区域；加载所述系统参数，并运行所述目标应用程序。本发明通过将系统参数和应用程序进行分区存储，再通过存储的系统参数从存储的应用程序中选取目标应用程序，可以对片内单独的应用程序或系统参数的更改，实现片内系统参数和应用程序的灵活控制。
应用于传感器应用程序系统参数控制方法装置

[发明专利]电容式真空规的膜片及其电容式真空规-CN202111499248.3在审
发明人：曹文静;林立男;姜浩延;张琳琳;陶硕;廖兴才 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容式真空规的膜片及其电容式真空规，包括膜片层、抗刻蚀层和导电层，膜片层用于将真空规的内部空间分为真空空间和被测空间，所述膜片层的材质为石英材质；抗刻蚀层设置在所述膜片层远离固定电极的一端；导电层设置在所述膜片层靠近所述固定电极的一端，用于与真空规的电极柱电连接。通过石英材质制作的膜片层作为隔膜，并在膜片层位于被测空间的一端设置抗刻蚀层，有效地提高了真空规的抗刻蚀性或防腐蚀性，并提高了膜片的应力次数，从而使真空规具有精度高、抗刻蚀性、寿命长、可重复使用、稳定性好及其实际应用广的特点，有效降低了真空规的成本。
电容真空膜片及其

[发明专利]一种电容式真空规-CN202111532135.9在审
发明人：曹文静;林立男;刘旭强;张琳琳;陶硕;廖兴才 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容式真空规，涉及真空规技术领域，电容式真空规包括外壳体、内壳体、差分电路、上盖、下规体和石英晶体隔膜，石英晶体隔膜设置于第二空腔内并将第二空腔分隔为压力参考腔和测试压力腔，石英晶体隔膜的至少一侧设置有导电层，石英晶体隔膜的平面度公差不大于5mm；压力参考腔内部真空，且内部设置有电容极。通过使用平整度更高且封接过程中不易变形的石英晶体材质作为隔膜，从而确保真空规测量结果的准确性；与同等厚度的陶瓷薄膜和金属薄膜相比，由于石英晶体隔膜具有更高的硬度，即使经过长时间的使用，石英晶体隔膜恢复形变之后依旧能保持很高的平整度，且不易变形，从而使得电容式真空规具有很好的稳定性。
一种电容真空

[发明专利]全石英谐振器-CN202111564598.3在审
发明人：王天宇;张琳琳;裴志强;王颖;郄立伟;赵黎明;陶硕;谷华锋 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：本发明提供一种全石英谐振器，包括器件层、外壳层和两个电极，器件层包括振动区；所述器件层与所述外壳层相连接，所述外壳层内设有真空空腔，所述振动区位于所述真空空腔内，所述器件层和所述外壳层的材质相同；两个电极设置在所述真空空腔内、并分别位于所述振动区相对的两侧，且两个所述电极均固定在所述外壳上。将两个电极设置在外壳层上，使电极不与器件层直接接触，能够提高谐振器的Q值，并且器件层和外壳层使用同种材质制作，可以使谐振器整体的温度特性有较大提升。
石英谐振器

[发明专利]压力传感器的保温装置及其压力传感器-CN202111532108.1在审
发明人：高乐;韩雪飞;林立男;张琳琳;陶硕;刘旭强;唐嫒尧;王杰 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F16L59/04 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器的保温装置及其压力传感器，包括保温外壳，所述保温外壳罩在压力传感器的加热源外，所述保温外壳上设置有供所述压力传感器的进气管穿出的通孔，且所述保温外壳与所述加热源之间设置有空隙。通过在保温外壳和加热源之间设置空隙，以空气为主要保温材料，提高了该压力传感器的保温装置的隔热性能，有利于降低压力传感器达到所需温度的加热功耗，并且，能在不减弱保温效果的前提下，既减小了整体结构的空间体积，又降低了压力传感器的成本，同时又避免了保温材料使用寿命短的缺点。
压力传感器保温装置及其

[发明专利]一种高频阵列式晶振、加工工艺及其应用-CN202111537631.3在审
发明人：王颖;张琳琳;裴志强;赵黎明;陶硕;王天宇;郄立伟;朱京 -专利权人： 北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：本发明提供一种高频阵列式晶振、加工工艺及其应用，高频阵列式晶振包括：石英框架，石英框架上设置有Pad点；阵列晶振单元，阵列晶振单元具有多个；支撑梁，支撑梁设置于石英框架内部，用于连接相邻阵列晶振单元，或将边侧的阵列晶振单元连接于石英框架上；阵列晶振单元和支撑梁上均设置有电极，电极与Pad点相连，以完成电信号的引入引出。本发明提供的一种高频阵列式晶振、加工工艺及其应用，通过在石英框架上设置有多个阵列晶振单元，能够同时获得每一阵列晶振单元的信号检出，且相邻的阵列晶振单元之间的测试互不干扰，通过对阵列晶振单元厚度的设计，可以实现每一个晶振不同频率，大大提升了信号检测精度，缩减了检测时间。
一种高频阵列式晶振加工工艺及其应用

1
2
3
4
5
6
下一页»
尾页
共 89 条